웨이퍼 버퍼 영역에는 지속적으로 깨끗한 공기 공급이 필요한가요?

웨이퍼 버퍼는 웨이퍼가 장비 내에서 대기하고 임시로 보관되는 장소입니다. 장비가 가동 중일 때 웨이퍼는 다음 공정에 들어가기 전까지 일정 시간 동안 여기에 머물 수 있습니다. 장비가 다운되거나 대기 중인 동안에도 웨이퍼가 버퍼에 남아 있을 수도 있습니다.

완충지역에 지속적인 청정공기 공급이 필요한지 여부를 일반화할 수는 없습니다. 판단은 웨이퍼 노출 상태, 체류 시간, 인클로저 경계 및 복구 요구 사항을 기반으로 이루어져야 합니다. 장비가 일시적으로 작동하지 않는다고 해서 공기 보호가 중지될 수 있다는 의미는 아닙니다.

먼저 웨이퍼의 노광 상태를 확인합니다.

지속적인 공기 공급이 필요한지 여부를 결정하려면 먼저 웨이퍼가 버퍼 영역에 노출되어 있는지 확인하십시오.

• 웨이퍼가 밀폐된 용기에 담겨 있는지 여부

• 용기에 필터 또는 밀봉 구조가 있는지 여부

• 웨이퍼 표면이 장치 내부 환경에 직접 노출되는지 여부

• 노출 영역 및 노출 시간.

웨이퍼를 밀폐된 용기에 넣고 용기 밀봉이 효과적인 경우 지속적인 공기 공급의 필요성이 낮아질 수 있습니다. 웨이퍼가 장비 내부 환경에 직접 노출되는 경우 일반적으로 지속적인 보호가 필요합니다. 웨이퍼 로딩, 언로딩 및 픽 앤 플레이스 프로세스의 보호 요구 사항은 다음을 참조하십시오. 웨이퍼 핸들링 스테이션은 노출 중에 먼지를 어떻게 줄일 수 있나요? , 노출된 링크에 대한 보호 고려 사항을 이해하세요.

체류 시간은 보호 요구에 영향을 미칩니다

버퍼 영역에서 웨이퍼의 체류 시간은 입자 정착 가능성에 직접적인 영향을 미칩니다. 체류 기간이 길어질수록 지속적인 보호의 필요성이 커집니다.

심사할 때 다음 사항을 확인해야 합니다.

• 정상 작동 중에 웨이퍼가 버퍼에 머무는 시간;

• 대기 및 셧다운 중에 웨이퍼가 버퍼 영역에 남아 있는지 여부

• 최대 체류 기간은 얼마입니까?

• 머무는 동안 환경이 안정적인지.

체류시간이 길면 공기 공급을 잠시 중단하더라도 입자가 침전될 수 있습니다. 관련 고려사항은 다음을 참조하세요. 웨이퍼 버퍼 영역에는 지속적으로 깨끗한 공기 공급이 필요한가요? 노출조건 분석에서는 체류시간도 판정에 포함된다.

대기상태에서도 여전히 오염입력이 있을 수 있습니다.

장비가 대기 중일 때 메커니즘은 움직이지 않지만 오염 입력이 반드시 사라지는 것은 아닙니다.

• 배경 입자는 틈을 통해 들어갈 수 있습니다.

• 입자는 인접한 장비나 직원 활동에 의해 유입될 수 있습니다.

• 장비 내부의 잔여 입자가 다시 부유될 수 있습니다.

• 온도와 습도의 변화는 표면 상태에 영향을 미칠 수 있습니다.

공기 공급이 중단되면 완충 영역의 공기 흐름 경계가 변경되어 원래의 보호 범위가 더 이상 유효하지 않을 수 있습니다. 대기 상태의 보호 요구 사항은 다음을 참조하세요. 폐쇄된 장비 공간에 깨끗한 공기 공급을 계획하는 방법은 무엇입니까? , 개구부와 틈이 공기 흐름에 미치는 영향을 이해합니다.

부하감소는 현황검증 대상

프로젝트가 공기 공급량을 줄이거나 대기 중에 공기 공급을 중단하려는 경우 직접 종료하는 대신 상태 확인을 거쳐야 합니다.

확인 내용에는 다음이 포함되어야 합니다.

• 대기 상태 동안 버퍼 영역의 세부적인 변화.

• 바람이 멈춘 후 입자 회복 추세;

• 다시 시작 시 그레인 변경;

• 웨이퍼 표면 상태가 영향을 받는지 여부.

바람 정지가 웨이퍼 상태에 영향을 미치지 않는다는 것이 확인된 경우에만 부하 감소 작동 모드를 채택할 수 있습니다. 복구 확인 및 상태 확인은 다음을 참고하세요. 승인 중에는 어떤 장비가 작동되어야 합니까? , 다양한 작동 상태에서의 검증 요구 사항을 이해하십시오.

복구 및 재시작 처리

대기 모드에서 활성 모드로 복귀할 때, 캐시 영역은 공기 흐름 재설정 과정을 거칠 수 있습니다. 확인해야 할 사항:

• 공기 공급이 복원된 후 공기 흐름이 안정적인지 확인하십시오.

• 복구 시간이 프로세스 요구 사항을 충족하는지 여부

• 웨이퍼 제거를 지연시킬 필요가 있는지 여부

• 비정상 종료 후 처리 절차.

검증을 고정된 대기 시간으로 대체하기보다는 중단 후 처리에 대한 명확한 요구 사항이 있어야 합니다.

국지적 공기 공급 및 전체 기계 공기 흐름 조정

완충 구역의 국지적 공기 공급은 장비의 전체 ​​공기 흐름의 일부입니다. 지속적인 공기 공급은 전체 기계의 공기 흐름과 조화를 이루어야 합니다.

• 완충지역의 공기공급이 인접지역에 영향을 미치는지 여부

• 대기 상태에서 전체 기계의 공기 흐름이 어떻게 작동하는지;

• 지역 공기 공급을 독립적으로 제어해야 하는지 여부

• 장비의 시작 및 정지와 연결하는 방법.

장비 끝 부분의 부분 보호 기능은 다음과 결합될 수 있습니다. EFU 장비 끝단 팬 필터 장치의 구조는 완충 영역 공간 및 공기 공급 요구 사항에 따라 선택됩니다. 장비 내부의 전반적인 공기 흐름에 대해서는 다음을 참조하십시오. 장비측 EFU와 룸측 FFU는 어떻게 노동을 분담하나요 ? 장비 측과 룸 측 간의 제어 업무 분담을 이해합니다.

프로젝트 판단 예

특정 프로젝트의 버퍼 영역에 있는 웨이퍼가 노출되어 대기 중에 공기 공급이 중단됩니다. 생산을 재개한 후 웨이퍼 표면에 파티클이 있는 것으로 확인됐다. 조사를 통해 입자가 대기 중에 안정되었음을 확인했습니다. 조정 방법 : 대기 중에는 저속 급기를 유지하고, 재개 전 입자 상태를 확인하십시오. 조정 후 웨이퍼 표면 상태는 안정적입니다.

또 다른 프로젝트 캐시 웨이퍼는 효과적으로 밀봉된 밀폐 용기에 배치됩니다. 평가 결과, 대기 시 공기공급량을 줄일 수 있음을 확인하였다. 조정 방법: 대기 모드를 설정하고 용기 밀봉 및 체류 시간을 기준으로 웨이퍼 상태를 확인합니다. 조정 후에는 에너지 소비가 줄어들고 웨이퍼 상태에는 영향이 없습니다.

이 두 가지 상황은 완충 구역에 지속적인 공기 공급이 필요한지 여부가 노출 상태, 체류 시간 및 인클로저 경계에 따라 달라지며 결정하기 전에 확인해야 함을 보여줍니다.

선정 및 합격심사 핵심사항

Aili 산업용 장비 지원 지원

웨이퍼 버퍼 영역에 지속적인 공기 공급이 필요한지 여부는 웨이퍼 노출 상태, 체류 시간 및 인클로저 경계에 따라 달라집니다. Aili Industrial은 팬, 모터, 필터, 제어 시스템 및 전체 기계 조립 링크에 대한 협업 기능을 갖추고 있습니다. 캐시 영역의 노출 조건, 장비 작동 모드 및 복구 요구 사항을 기반으로 공기 공급 구성, 대기 모드 및 연결 논리를 확인할 수 있으며, 전면적으로 공기 공급을 차단하거나 하루 종일 최대 부하로 실행하는 것보다 지속적인 공기 공급, 저속 작동 또는 구역 제어가 실제 프로세스에 더 적합한지 판단하는 데 도움을 줍니다.