웨이퍼 핸들링 스테이션은 노출 중에 먼지를 어떻게 줄일 수 있나요?

웨이퍼 로딩 스테이션은 웨이퍼가 제어된 컨테이너에서 장비 내부로 이송되는 전환 영역입니다. 이 단계에서는 웨이퍼를 FOUP 등의 용기에서 꺼내어 클램핑하여 이송한 후 장비 내부로 투입합니다. 노출 시간은 짧지만 보호 조치가 이루어지지 않은 경우 파티클이 웨이퍼 표면에 정착될 수 있습니다.

떨어지는 먼지에 대한 노출을 줄이려면 직원, 자재 및 기관 소스를 제어하면서 깨끗한 공기로 개구부, 클램핑 및 이송 영역을 덮어야 합니다. 웨이퍼가 제어된 위치에 있고 로딩 도크의 고정 지점에 초점을 맞출 수 없을 때까지 보호는 계속되어야 합니다.

먼저 노출 기간을 명확하게 정의하십시오.

로딩 및 언로딩 스테이션에서 웨이퍼의 노출 기간은 일반적으로 다음을 포함합니다:

• 컨테이너가 문을 여는 순간;

• 로봇 팔 따기 및 클램핑;

• 컨테이너에서 장비 내부로 웨이퍼를 운반합니다.

• 기다리고 인계합니다.

노출 조건과 위험은 각 기간마다 다릅니다. 노출 기간을 먼저 보정한 다음 보호 범위를 결정해야 합니다. FOUP 도어 개방 영역의 보호 배치에 대해서는 다음을 참조하십시오. FOUP 도어 개방 영역에 국지적 보호 공기 흐름을 마련하는 방법은 무엇입니까? , 개구부에 대한 로컬 보호 방법에 대해 알아보세요.

개구부 위치는 입자가 들어가는 주요 경로입니다.

용기를 개봉하면 개구부가 외부 환경과 연결되어 입자가 개구부를 통해 유입될 수 있습니다. 보호 공기 흐름은 외부 공기의 유입을 줄이기 위해 개구부를 덮어야 합니다.

확인해야 할 사항:

• 개구부가 공기 공급 범위 내에 있는지 여부

• 개구부에 국소적인 보호 공기 흐름이 있는지 여부

• 개구부의 방향이 오염원을 향하고 있습니까?

• 개구부 주변에 입자가 축적되어 있습니까?

개구부 경계의 공기 흐름 조직에 대해서는 다음을 참조하십시오. 폐쇄된 장비 공간에 깨끗한 공기 공급을 계획하는 방법은 무엇입니까? , 열린 상태에서의 공기 흐름 관리를 이해합니다.

클램핑 및 이송 영역의 공기 흐름 범위

로봇이 웨이퍼를 잡으면 클램프와 암이 국부적인 공기 흐름을 변경합니다. 이송 과정에서 웨이퍼는 다양한 위치를 통과하며 보호 공기 흐름이 웨이퍼를 계속 덮는지 여부가 중요합니다.

확인해야 할 사항:

• 클램핑 위치가 공기 공급 범위 내에 있는지 여부;

• 매니퓰레이터의 움직임으로 인해 공기 공급이 차단되는지 여부

• 웨이퍼가 통과하는 경로가 전체적으로 보호되는지 여부

• 인수 장소의 공기 흐름은 안정적입니까?

매니퓰레이터가 공기 흐름에 미치는 영향에 대해서는 다음을 참조하십시오. 웨이퍼 핸들링 로봇을 공기 흐름 검증에 어떻게 통합할 수 있습니까? , 모션 중인 확인 방법에 대해 알아보세요.

노출 시간 제어

노출 시간이 길어질수록 입자가 침전될 확률이 높아집니다. 노출 시간을 줄이면 먼지 낙진 위험이 줄어듭니다.

고려하다:

• 조작기 이동 속도를 최적화합니다.

• 대기 및 거주 시간을 줄입니다.

• 불필요하게 반복적인 작업을 피하세요.

• 열린 위치에서 웨이퍼의 체류 시간을 단축합니다.

노출 시간 조절과 기류 보호를 동시에 수행해야 합니다. 보호 공기 흐름이 불충분한 경우 시간을 단축해도 위험을 줄일 수 있을 뿐 위험을 제거할 수는 없습니다.

인력 및 기관 소스 통제

입자는 적재 및 하역 스테이션 근처의 인간 활동 및 메커니즘 움직임에 의해 생성될 수 있습니다. 다음 소스를 제어해야 합니다.

• 개구부 주위를 걷는 사람들을 줄입니다.

• 메커니즘의 윤활 및 마모 상태를 확인하십시오.

• 민감한 장소 근처에서는 유지보수나 청소를 수행하지 마십시오.

• 재료와 도구의 배치를 제어합니다.

직원 활동이 공기 흐름에 미치는 영향은 다음을 참조하세요. 암을 작동하면 작업대로의 공기 공급이 어떻게 방해됩니까? , 모션 간섭 문제를 해결하는 방법을 알아보세요.

보호는 이전이 끝날 때까지 연장되어야 합니다.

보호는 로딩 도크의 고정된 한 지점만을 덮어서는 안 됩니다. 웨이퍼가 컨테이너에서 제거되고 이송 경로를 통해 장비에 들어간 후에는 웨이퍼가 제어된 위치에 들어갈 때까지 보호가 계속되어야 합니다.

확인해야 할 사항:

• 이송 경로의 중간 위치가 보호되는지 여부;

• 핸드오버 지점이 기류 적용 범위 내에 있는지 여부

• 장비 내부 출입구가 부분적으로 보호되어 있는지 여부

• 보호 중단이 있는지 여부.

EFEM 내의 전송 경로 보호에 대해서는 다음을 참조하십시오. EFEM 내부 청정 보호는 웨이퍼 이송 경로를 어떻게 덮나요? , 경로 적용 방법을 이해합니다.

공기 공급 구성 및 여과 수준

적재 및 하역 스테이션의 국지적 보호는 장비측 EFU로 구성할 수 있으며 공간 및 공기 공급 요구 사항에 따라 구조를 선택할 수 있습니다. 여과 수준은 웨이퍼 민감도에 따라 결정되어야 합니다.

장비 측 지원을 참조하십시오 EFU 장비 엔드 팬 필터 장치 , 여과 수준을 이해할 수 있습니다. HEPA 대 ULPA 필터 , 효율성, 크기 및 설치 씰을 확인하십시오. 방 배경 공기 공급을 참조하십시오 FFU 청정 공기 공급 제품 , 둘 사이의 노동 분업 논리는 장치측 EFU와 룸 FFU 간의 업무 분담에 대해 자세히 설명합니다.

커버리지 로딩 및 언로딩 주기의 동적 검증

적재 및 하역 스테이션의 검증은 단순한 정적 테스트가 아닌 실제 적재 및 하역 주기 중에 수행되어야 합니다. 확인 내용에는 다음이 포함되어야 합니다.

• 문을 열 때 공기 흐름 및 입자;

• 필름 제거 및 클램핑 중 공기 흐름;

• 전달 경로의 각 위치에서의 입자 상태.

• 핸드오버 위치의 보호 효과;

• 동적 조건에서의 복구 시간.

샘플링 지점의 위치는 공기 공급 포트 바로 아래가 아닌 웨이퍼가 통과하는 실제 위치를 포함해야 합니다. 관련 방법은 다음에서 찾을 수 있습니다. 샘플링 지점을 공기 공급 출구 바로 아래에 위치시킬 수 없는 이유는 무엇입니까? 그리고 작업 높이의 변화가 감지 위치에 어떤 영향을 미치나요?。

프로젝트 판단 예

특정 로딩 및 언로딩 스테이션에서 먼지가 웨이퍼에 떨어지는 경우가 있습니다. 조사 결과 로봇이 웨이퍼를 픽업할 때 공기 공급이 차단되었으며, 클램핑 위치에서 웨이퍼가 약한 보호 영역에 있었던 것으로 나타났습니다. 조정 방법: 클램핑 위치가 공기 흐름 범위 내에 있도록 공기 공급 방향을 조정하십시오. 조정 후에는 먼지가 줄어듭니다.

또 다른 프로젝트에서는 도어를 열 때 웨이퍼 표면에 입자가 있는 것을 보여주었습니다. 조사 결과, 개구부에서 공기 흐름이 역류되고 외부 공기가 유입되는 것으로 나타났습니다. 조정 방법: 개구부의 국부적 보호 공기 흐름을 증가시키고 도어 개방 순서를 최적화합니다. 조정 후 문을 열면 파티클이 감소합니다.

이 두 가지 상황은 웨이퍼 로딩 및 언로딩 스테이션의 먼지를 줄이기 위해 개구부, 클램핑 및 이송 영역을 덮어야 하며 웨이퍼가 제어된 위치에 들어갈 때까지 보호가 계속되어야 함을 보여줍니다.

선정 및 합격심사 핵심사항

Aili 산업용 장비 지원 지원

웨이퍼 로딩 및 언로딩 스테이션의 먼지 제어에는 개구부, 클램핑 및 이송 영역을 덮어야 합니다. Aili Industrial은 팬, 모터, 필터, 제어 시스템 및 전체 기계 조립 링크에 대한 협업 기능을 갖추고 있습니다. 웨이퍼 로딩 및 언로딩 경로, 로봇 이동 및 장비 공간을 기반으로 EFU 구성, 공기 공급 방향, 여과 수준 및 보호 범위를 확인할 수 있어 로딩 및 언로딩 플랫폼의 고정 지점에만 초점을 맞추는 것이 아니라 이송 프로세스의 주요 위치로 로컬 보호를 확장하는 데 도움이 됩니다. 장비 패키지를 볼 수 있습니다. EFU 장비 엔드 팬 필터 장치는 필터 패키지를 참조하십시오. HEPA 및 ULPA 필터 , 실내 공기 공급을 참조하세요. FFU 청정 공기 공급 제품。