에칭 장비 주변을 정화하는 동안 공정 배기를 방지하는 방법은 무엇입니까?

에칭 공정에는 입자, 부식성 가스 또는 방출 제어가 필요한 기타 물질이 포함될 수 있는 공정 배기 가스가 동반되는 경우가 많습니다. 동시에 장비 주변에 깨끗한 공기가 공급되는 경우 두 세트의 공기 흐름을 조정해야 합니다. 깨끗한 공기 공급은 배기 가스 수집을 방해할 수 없으며 배기 가스는 오염 물질을 깨끗한 공기 공급 입구로 가져올 수 없습니다.

깨끗한 공기의 공급과 공정 배기의 관계를 적절하게 처리하는 것은 에칭 장비 주변을 정화하기 위한 전제 조건입니다. 다음은 지역 경계, 공기 흡입구 위치, 공기 공급 및 배기 균형 및 연결 상태 측면에서 시작됩니다.

깨끗한 보호 구역과 배기 구역을 구별하십시오.

에칭 장비 주변에는 일반적으로 두 가지 유형의 영역이 있습니다.

• 청정보호구역 : 웨이퍼 이송, 로딩, 유지보수 등 국소적인 청정도가 요구되는 장소

• 배기 영역: 공정 배기, 진공 펌프 배기 및 유지보수 배기를 포집하여 배출해야 하는 위치입니다.

두 가지 유형의 영역에 대한 기류 목표는 서로 다릅니다. 깨끗한 공기 공급은 민감한 장소를 보호해야 하며, 배기는 오염 물질을 포집하여 배출해야 합니다. 설계 시 두 유형의 영역 사이의 경계를 먼저 명확하게 정의하여 두 세트의 공기 흐름이 서로 간섭하지 않도록 해야 합니다.

위험 물질이 포함된 경우 깨끗한 공기 공급은 전용 배기, 격리 또는 안전 보호를 대체할 수 없습니다. 관련 공기 흐름 계획을 참조할 수 있습니다. 폐쇄된 장비 공간에 깨끗한 공기 공급을 계획하는 방법은 무엇입니까? , 캐비티 내부의 공기 흐름 조직을 이해합니다.

EFU 공기 흡입구 위치는 배기 가스의 영향을 피해야 합니다.

장치 측 EFU의 공기 흡입구 위치에 따라 흡입하는 공기가 결정됩니다. 공기 흡입구가 배기구나 배기 확산 구역에 가까우면 오염 물질이 흡입되어 보호 구역으로 보내질 수 있습니다.

공기 흡입구 위치를 선택할 때 다음을 확인해야 합니다.

• 공기 흡입구가 배출구에서 멀리 떨어져 있는지 여부;

• 공기 흡입구가 배기 확산 경로의 하류에 있는지 여부

• 공기 흡입구 주변에 국지적 오염원이 있는지 여부

• 독립적인 공기 흡입 또는 전처리가 필요한지 여부.

재순환에 적합하도록 주변 공기를 기본으로 사용하는 대신 필요한 경우 독립적인 공기 공급원을 사용하십시오. EFU 구성은 다음을 참조할 수 있습니다. EFU 장비측 팬 필터 유닛은 공간 및 공기 흡입구 조건에 따라 구조를 선택합니다.

깨끗한 공기 공급이 배기가스 포집을 방해해서는 안 됩니다.

깨끗한 공기가 배기 포집 구역으로 불어오면 공기 흐름의 방향이 바뀌어 오염 물질이 빠져나가거나 포집 효율이 떨어질 수 있습니다.

검사 중에 다음 사항을 확인해야 합니다.

• 공기 공급 방향이 배기구를 가리키는지 여부

• 공급 공기가 배기 수집 영역에서 교차 흐름을 형성하는지 여부

• 공기 공급량이 너무 커서 배기 공기 흐름을 방해하는지 여부

• 배기 트랩의 위치를 ​​조정해야 합니까?

배기가스 포집과 청정공기 공급의 관계는 다음을 참고하세요. 공정 장비 가동 후 청정도가 떨어지면 어떻게 해야 하나요? , 배기 변화가 공기 흐름에 미치는 영향을 이해합니다.

오염 역흡입 조사

오염 역류는 배기 영역의 공기 흐름이 깨끗한 공기 공급 장치나 장비 내부로 다시 흡입되는 것을 의미합니다. 증상은 배기가 시작된 후 장비 내부 또는 보호 구역의 입자가 증가하는 것입니다.

심사할 때 다음 사항을 확인해야 합니다.

• 배기 시작 전후의 보호 영역 입자 변화;

• EFU 공기 흡입구의 위치가 배기가스의 영향을 받는지 여부

• 장비 내부의 압력차가 변하는지 여부

• 배기와 보충 공기의 균형이 맞는지 여부.

오염 역흡입에 대한 문제 해결 아이디어는 다음을 참조하십시오. 입자가 기준치를 초과하는 경우 외부 오염과 내부 오염을 어떻게 구별합니까? , 소스 차별화 방법에 대해 알아보세요.

급배기 밸런스 및 장비 압력차

에칭 장비의 공기 공급과 배기는 균형을 이루어야 합니다. 배기량이 공급 공기량보다 크면 장치 내부에 부압이 형성되어 틈에서 주변 공기를 빨아들이는 경우가 있습니다. 청정공기 공급량이 너무 크면 배기가스 포집을 방해할 수 있습니다.

확인해야 할 사항:

• 장비 내부의 압력차 방향;

• 배기량과 보충공기량의 균형이 맞는지 여부

• 배기 공기를 전환할 때 압력차가 안정적입니까?

• 유지보수 도어가 열려 있을 때 공기 흐름을 제어할 수 있는지 여부.

풍량 균형 계산은 다음을 참조하십시오. 청정지역 면적을 공기공급 수요로 어떻게 환산하나요? , 공급 공기량과 배기 공기량의 매칭 방법을 이해합니다.

공기 공급 및 배기 연결에는 명확한 신호가 필요합니다.

배기 전환은 장비의 내부 압력을 변경하므로 연결 논리를 확인해야 합니다.

• 배기가 시작되면 깨끗한 공기 공급이 어떻게 반응합니까?

• 배기 장치 고장 시 장비 처리 방법

• 유지보수 상태에서 급배기 전환 방법

• 비정상적인 상황에서의 경보 및 처리 절차.

연계 로직은 현장에서 일시적으로 조정하기보다는 계획에 명시해야 합니다. 제어 방법에 대한 지침은 다음을 참조하십시오. 장비측 EFU와 룸측 FFU는 어떻게 노동을 분담하나요 ? 장비 측과 룸 측 간의 제어 업무 분담을 이해합니다.

검증에는 실행, 대기 및 유지 관리 상태가 포함되어야 합니다.

에칭 장비 주변의 정화 검증에는 다양한 작동 상태가 포함되어야 합니다.

• 정상 작동: 공정 배기와 청정 공기 공급이 동시에 작동합니다.

• 대기 상태: 배기 부분이 실행 중이거나 정지되었습니다.

• 유지 관리 상태: 장치가 켜져 있고 유지 관리 작업이 진행 중입니다.

주마다 기류 조건이 다르므로 검증 결과를 별도로 기록해야 합니다. 인수 중 장비의 작동 상태를 확인하려면 다음을 참조하십시오. 승인 중에는 어떤 장비가 작동되어야 합니까?。

프로젝트 판단 예

특정 에칭 장비의 배기가 시작된 후 내부 입자가 증가했습니다. 조사 결과 EFU 공기 흡입구가 배기 확산 경로 하류에 위치해 오염물질을 흡입한 것으로 드러났다. 조정 방법: EFU 공기 흡입구 위치를 조정하여 배기 영향 범위에서 멀리 떨어지도록 하십시오. 조정 후 입자가 떨어졌습니다.

또 다른 프로젝트에서는 깨끗한 공기 공급이 배기 수집 포트로 불어 배기 효율이 감소합니다. 조정 방법: 공기 공급 방향과 공기량을 조정하여 배기 공기 흐름에 대한 간섭을 줄입니다. 조정 후 배기 공기 수집이 정상으로 돌아왔습니다.

이 두 상황은 에칭 장비 주변의 정화 시 두 세트의 공기 흐름이 서로 간섭하는 것을 방지하기 위해 청결 보호와 배기 가스 포집을 모두 고려해야 함을 보여줍니다.

선정 및 합격심사 핵심사항

Aili 산업용 장비 지원 지원

에칭 장비 주변의 정화에는 깨끗한 공기 공급과 공정 배기라는 두 가지 유형의 공기 흐름을 동시에 처리해야 합니다. Aili Industrial은 팬, 모터, 필터, 제어 시스템 및 전체 기계 조립 분야에서 협업 기능을 갖추고 있습니다. 장비의 배기 위치, 청정 보호 요구 사항 및 공간 조건을 기반으로 EFU 공기 흡입구 위치, 공기 공급 방향, 공기량 균형 및 연결 논리를 확인하여 오염 역흡입 및 공기 흐름 간섭을 줄이는 데 도움이 됩니다. 장비 패키지를 볼 수 있습니다. EFU 장비 엔드 팬 필터 장치는 필터 패키지를 참조하십시오. HEPA 및 ULPA 필터 , 실내 공기 공급을 참조하세요. FFU 청정 공기 공급 제품。