¿Cómo evitar el escape del proceso durante la purificación alrededor del equipo de grabado?

Los procesos de grabado suelen ir acompañados de escapes del proceso, que pueden contener partículas, gases corrosivos u otras sustancias que requieren emisiones controladas. Si hay un suministro de aire limpio alrededor del equipo al mismo tiempo, los dos conjuntos de flujos de aire deben coordinarse: el suministro de aire limpio no puede interferir con la recolección de gases de escape y los gases de escape no pueden llevar contaminantes a la entrada del suministro de aire limpio.

Manejar adecuadamente la relación entre el suministro de aire limpio y el escape del proceso es un requisito previo para purificar el entorno del equipo de grabado. A continuación se partirá de los siguientes aspectos: demarcación regional, posición de entrada de aire, equilibrio de suministro y escape de aire y estado de vinculación.

Distinguir entre zona de protección limpia y zona de escape.

Generalmente hay dos tipos de áreas alrededor del equipo de grabado:

• Zona de protección limpia: ubicaciones que requieren limpieza local, como transferencia, carga y mantenimiento de obleas;

• Área de escape: Lugares donde es necesario capturar y descargar el escape del proceso, el escape de la bomba de vacío y el escape de mantenimiento.

Los objetivos de flujo de aire para los dos tipos de áreas son diferentes. El suministro de aire limpio debe proteger los lugares sensibles y el escape debe capturar los contaminantes y descargarlos. Al diseñar, primero se deben definir claramente los límites entre los dos tipos de áreas para evitar que los dos conjuntos de flujos de aire interfieran entre sí.

Cuando se trata de materiales peligrosos, el suministro de aire limpio no puede reemplazar el escape dedicado, el aislamiento o la protección de seguridad. Se puede consultar la planificación del flujo de aire relacionada ¿Cómo planificar el suministro de aire limpio para las cavidades cerradas de los equipos? , para comprender la organización del flujo de aire dentro de la cavidad.

La posición de entrada de aire de la EFU debe evitar la influencia de los gases de escape.

La posición de entrada de aire de la EFU en el lado del dispositivo determina qué aire inhala. Si la entrada de aire está cerca de la salida de escape o del área de difusión de escape, los contaminantes pueden ser aspirados y luego enviados al área protegida.

Al seleccionar la ubicación de la entrada de aire, debe confirmar:

• Si la entrada de aire está lejos de la salida de escape;

• Si la entrada de aire está aguas abajo de la ruta de difusión del escape;

• Si existen fuentes de contaminación locales alrededor de la entrada de aire;

• Si se requiere entrada de aire independiente o pretratamiento.

Utilice fuentes de aire independientes cuando sea necesario en lugar de utilizar de forma predeterminada el aire ambiental cercano, ya que es adecuado para la recirculación. La configuración de EFU puede referirse a La unidad de filtrado de ventilador del lado del equipo EFU selecciona una estructura según las condiciones del espacio y la entrada de aire.

El suministro de aire limpio no debe interferir con la captura de gases de escape.

Si el aire limpio sopla al área de recolección de gases de escape, la dirección del flujo de aire puede cambiar, lo que provoca que se escapen contaminantes o que disminuya la eficiencia de recolección.

Durante la inspección, debe confirmar:

• Si la dirección del suministro de aire apunta al puerto de escape;

• Si el aire de suministro forma un flujo cruzado en el área de recolección de gases de escape;

• Si el volumen de suministro de aire es demasiado grande, lo que altera el flujo de aire de escape;

• ¿Es necesario ajustar la posición de la trampa de escape?

Para conocer la relación entre la recolección de gases de escape y el suministro de aire limpio, consulte ¿Qué debo hacer si la limpieza del equipo de proceso disminuye después de su inicio? , para comprender el impacto de los cambios de escape en el flujo de aire.

Investigación de contaminación por succión inversa.

Contracorriente de contaminación significa que el flujo de aire en el área de escape se reinhala hacia el suministro de aire limpio o dentro del equipo. El síntoma es que luego de iniciado el escape, aumentan las partículas dentro del equipo o en el área protegida.

Al juzgar, debes comprobar:

• Cambios de partículas en el área de protección antes y después del inicio del escape;

• Si la posición de la entrada de aire de la EFU se ve afectada por el escape;

• Si cambia la diferencia de presión dentro del equipo;

• Si el aire de escape y el suplementario están equilibrados.

Para obtener ideas para solucionar problemas de succión inversa de contaminación, consulte ¿Cómo distinguir la contaminación externa e interna cuando las partículas exceden el estándar? , obtenga información sobre los métodos de diferenciación de fuentes.

Equilibrio de suministro y escape de aire y diferencia de presión del equipo.

Es necesario equilibrar el suministro y escape de aire del equipo de grabado. Si el volumen de escape es mayor que el volumen de aire de suministro, se puede formar una presión negativa dentro del equipo, aspirando el aire circundante de los espacios. Si el volumen de suministro de aire limpio es demasiado grande, puede interferir con la recolección de gases de escape.

Necesidad de confirmar:

• Dirección de la diferencia de presión dentro del equipo;

• Si el volumen de escape y el volumen de aire suplementario están equilibrados;

• ¿Es estable la diferencia de presión al cambiar el aire de escape?

• Si el flujo de aire es controlable cuando la puerta de mantenimiento está abierta.

Para calcular el equilibrio del volumen de aire, consulte ¿Cómo convertir el área limpia en demanda de suministro de aire? , comprenda el método de combinación del volumen de suministro de aire y el volumen de aire de escape.

La conexión de suministro y escape de aire requiere señales claras

La conmutación del escape cambiará la presión interna del equipo y se debe confirmar la lógica del enlace:

• ¿Cómo responde el suministro de aire limpio cuando se inicia el escape?

• Cómo actuar con el equipo cuando hay una falla en el escape;

• Cómo cambiar el suministro de aire y el escape en estado de mantenimiento;

• Procedimientos de alarma y manejo en situaciones anormales.

La lógica de vinculación debe especificarse en el plan en lugar de ajustarse temporalmente en el sitio. Para obtener instrucciones sobre los métodos de control, consulte ¿Cómo dividen su trabajo las EFU del lado del equipo y las FFU del lado de la habitación ? Comprender la división del trabajo de control entre el lado del equipo y el lado de la habitación.

La verificación debe cubrir los estados de funcionamiento, espera y mantenimiento.

La verificación de la purificación alrededor del equipo de grabado debe abarcar diferentes estados operativos:

• Funcionamiento normal: el escape del proceso y el suministro de aire limpio funcionan al mismo tiempo;

• Estado de espera: la parte de escape está funcionando o parada;

• Estado de mantenimiento: El dispositivo está encendido y las operaciones de mantenimiento están en curso.

Las condiciones del flujo de aire son diferentes en diferentes estados y los resultados de la verificación deben registrarse por separado. Para determinar el estado operativo del equipo durante la aceptación, consulte ¿Qué equipo debería estar en funcionamiento durante la aceptación?。

Ejemplo de juicio de proyecto

Después de que se inició el escape de cierto equipo de grabado, las partículas internas aumentaron. La investigación encontró que la entrada de aire de la EFU estaba ubicada aguas abajo de la ruta de difusión del escape y se inhalaba contaminación. Método de ajuste: ajuste la posición de entrada de aire de la EFU para mantenerla alejada del rango de influencia del escape. Las partículas cayeron después del ajuste.

En otro proyecto, el suministro de aire limpio llega al puerto de recolección de gases de escape y la eficiencia del escape disminuye. Método de ajuste: ajuste la dirección del suministro de aire y el volumen de aire para reducir la interferencia con el flujo de aire de escape. Después del ajuste, la recogida de aire de escape volvió a la normalidad.

Estas dos situaciones ilustran que la purificación alrededor del equipo de grabado debe considerar tanto la protección de la limpieza como la captura de gases de escape para evitar que los dos conjuntos de flujos de aire interfieran entre sí.

Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

Soporte de soporte para equipos industriales de Aili.

La purificación alrededor de los equipos de grabado requiere el tratamiento simultáneo de dos tipos de flujo de aire: suministro de aire limpio y escape del proceso. Aili Industrial tiene capacidades colaborativas en ventiladores, motores, filtros, sistemas de control y montaje completo de máquinas. Puede verificar la posición de entrada de aire de la EFU, la dirección del suministro de aire, el equilibrio del volumen de aire y la lógica de conexión según la posición de escape del equipo, los requisitos de protección limpia y las condiciones del espacio para ayudar a reducir la contaminación por succión y la interferencia del flujo de aire. Se puede ver el soporte lateral del dispositivo. Unidad de filtro de ventilador final del equipo EFU , consulte el paquete de filtros. Filtros HEPA y ULPA , consulte el suministro de aire ambiente. Productos de suministro de aire limpio FFU。