FOUP 도어 개방 영역에 국지적 보호 공기 흐름을 마련하는 방법은 무엇입니까?

FOUP 도어 개방 영역은 웨이퍼가 닫힌 컨테이너에서 장비로 들어가는 핵심 인터페이스입니다. 도어가 열리면 컨테이너 내부가 장비 환경과 연결되어 외부 공기, 컨테이너 외부 표면의 파티클, 도어 움직임 등이 웨이퍼에 영향을 미칠 수 있다. 주변 공기가 민감한 경로로 직접 유입되는 것을 방지하기 위해 개구부, 웨이퍼 픽업 및 배치, 인접한 운송 위치를 국부적인 보호 공기 흐름으로 덮어야 합니다.

보호 방법은 특정 콘센트 표면의 등급 라벨에만 의존할 수 없습니다. 개구부 구조, 도어 이동, 웨이퍼 경로 및 인접 위치를 모두 함께 확인해야 합니다.

문을 열면 기류 경계가 변경됩니다.

FOUP가 도어를 열면 도어 본체 움직임, 인터페이스 간격 및 내부 메커니즘 동작으로 인해 로컬 공기 흐름 경계가 변경됩니다. 원래 닫혀 있던 용기가 개봉된 후, 내부 환경은 장비 환경과 연결되어 공기 흐름이 개구부를 통해 들어오거나 나갈 수 있습니다.

확인해야 할 사항:

• 문을 열었을 때 풍향이 안정적인가요?

• 인터페이스에 역류가 있는지 여부

• 도어의 움직임이 보호 공기 흐름을 방해하는지 여부

• 개구부 주변에 입자가 축적되어 있습니까?

열린 상태에서 공기 흐름의 변화는 다음을 참조하십시오. 폐쇄된 장비 공간에 깨끗한 공기 공급을 계획하는 방법은 무엇입니까? , 공기 흐름 경로에 대한 개구부의 영향을 이해합니다. 컨테이너에서 장비까지 웨이퍼 노광 공정은 다음을 참고하세요. 웨이퍼 핸들링 스테이션은 노출 중에 먼지를 어떻게 줄일 수 있나요? , 먼저 노출 기간을 보정합니다.

보호 공기 흐름은 개구부와 접근 경로를 덮어야 합니다.

국소 보호의 목표는 깨끗한 공기가 개구부, 웨이퍼 제거 위치 및 전송 시작점을 덮을 수 있도록 하는 것입니다. 보호 범위가 충분하지 않으면 웨이퍼가 컨테이너에서 나온 후 약한 보호 영역을 통과할 수 있습니다.

확인해야 할 사항:

• 개구부가 공기 공급 범위 내에 있는지 여부

• 필름을 촬영한 위치에 보호 공기 흐름이 있는지 여부

• 컨테이너에서 장치 내부까지의 웨이퍼의 첫 번째 경로가 덮여 있는지 여부;

• 보호 중단이 있는지 여부.

EFEM 내부 전송 경로의 적용 범위 방법은 다음을 참조하십시오. EFEM 내부 청정 보호는 웨이퍼 이송 경로를 어떻게 덮나요? , 경로 보호에 대한 아이디어를 이해하십시오.

측면 솔기를 통해 배경 공기가 유입되는 것을 방지합니다.

일반적으로 FOUP와 장치 인터페이스 사이에는 측면 솔기와 연결 부품이 있습니다. 이러한 틈은 배경 공기가 유입되는 통로 역할을 할 수 있습니다.

검사 중에는 다음 사항에 주의해야 합니다.

• 인터페이스 주변의 밀봉 상태;

• 측면 솔기를 통해 유입되는 공기 흐름이 있는지 여부

• 인터페이스의 압력차는 안정적입니까?

• 문을 열면 틈새가 늘어나나요?

측면 솔기를 통해 배경 공기가 유입되면 국부적인 보호 공기 흐름이 희석되거나 편향될 수 있습니다. 인터페이스 씰링 검사 방법은 다음을 참조하십시오. 청소 장비가 승인될 때 무엇을 확인해야 합니까? , 설치 상태 확인 아이디어를 이해합니다.

도어 본체의 움직임과 공기 흐름 방향의 관계

도어 개방 방향과 속도는 국부적인 공기 흐름에 영향을 미칩니다. 도어가 빠르게 움직이면 순간적인 공기 흐름 방해가 발생하여 입자가 웨이퍼 경로로 유입될 수 있습니다.

고려해야 할 사항:

• 도어 개방 방향이 웨이퍼 경로를 향하는지 여부;

• 문 열림 속도로 인해 기류 변동이 발생하는지 여부

• 문이 공기 공급을 차단하는지 여부;

• 도어 개방 타이밍이 웨이퍼 제거 작업과 조화를 이루는지 여부.

도어 바디 움직임과 공기 흐름의 조정은 다음을 참조하십시오. 웨이퍼 핸들링 로봇을 공기 흐름 검증에 어떻게 통합할 수 있습니까? , 모션 중인 검증 방법을 이해하십시오.

FOUP의 실제 구조에 따른 보호방식 확인

다양한 FOUP 구조와 인터페이스 형태가 다르므로 실제 상황에 따라 보호 방법을 확인해야 합니다. 표준 인터페이스 치수에 따라서만 설계되었으며 도어 구조, 밀봉 방법 및 연결 위치의 차이는 무시될 수 있습니다.

확인 내용에는 다음이 포함되어야 합니다.

• FOUP 모델 및 인터페이스 크기

• 문구조 및 개방방법;

• 인터페이스 밀봉 및 연결 형태;

• 컨테이너 내 웨이퍼의 배치 위치;

• 필름 촬영 메커니즘과 인터페이스 간의 협력.

국지적 공기 공급과 전체 기계 공기 흐름 사이의 관계

FOUP 도어 개방 영역의 국지적 보호는 장비의 전체 ​​공기 흐름의 일부입니다. 국지적 공기 공급은 EFEM의 내부 공기 흐름과 충돌할 수 없으며 로딩 인터페이스의 압력 차 관계에 영향을 줄 수도 없습니다.

확인해야 할 사항:

• 로컬 공기 공급 방향이 EFEM 내부 공기 공급 방향과 일치합니까?

• 로컬 보호가 인터페이스 압력 차이에 영향을 미치는지 여부

• 복귀 공기 경로가 국부적인 공기 흐름 배출을 지원하는지 여부

• 독립적인 제어 또는 연결이 필요한지 여부.

EFU는 일반적으로 장비 끝 부분의 부분 보호에 사용되며, 적재 끝 공간 및 공기 공급 요구 사항에 따라 구조를 선택할 수 있습니다. 장비 내부의 전반적인 공기 흐름에 대해서는 다음을 참조하십시오. 장비측 EFU와 룸측 FFU는 어떻게 노동을 분담하나요 ? 장비 측과 룸 측 간의 제어 업무 분담을 이해합니다.

동적 검증에는 도어 열기 및 픽 앤 플레이스 프로세스가 포함됩니다.

FOUP 도어 개방 영역에 대한 검증은 단순한 정적 테스트가 아닌 실제 도어 개방, 픽업 및 배치 프로세스 중에 수행되어야 합니다. 확인 내용에는 다음이 포함되어야 합니다.

• 문을 여는 순간의 공기 흐름 및 입자 변화;

• 필름 제거 위치의 공기 흐름 범위;

• 웨이퍼가 컨테이너를 떠난 후의 경로 입자 상태입니다.

• 도어 본체가 닫힌 후의 복구 상황;

• 동적 조건에서의 반복성.

샘플링 지점의 위치는 공기 공급 포트 바로 아래가 아닌 웨이퍼가 통과하는 실제 위치를 포함해야 합니다. 샘플링 방법은 다음을 참조할 수 있습니다. 샘플링 지점을 공기 공급 출구 바로 아래에 위치시킬 수 없는 이유는 무엇입니까? , 높이 선택을 참조하세요. 작업 높이의 변화는 감지 위치에 어떤 영향을 줍니까?。

프로젝트 판단 예

특정 프로젝트에서 FOUP를 열었을 때 웨이퍼 표면에 간헐적으로 파티클이 나타났습니다. 조사 결과 배경 공기가 인터페이스의 측면 이음매로 유입되고 도어가 열릴 때 입자가 필름 경로로 유입되는 것으로 나타났습니다. 조정 방법: 인터페이스 씰을 개선하고, 국소 보호 공기 흐름 방향을 조정하고, 개구부와 필름 제거 위치를 덮습니다. 조정 후 문을 열면 파티클이 감소합니다.

또 다른 프로젝트에서는 도어 본체가 움직일 때 공기 흐름이 크게 변동했습니다. 조정 방법: 도어 열림 속도와 타이밍을 조정하여 웨이퍼 제거와 도어 이동을 조정하고 국지적인 공기 공급 방향을 확인합니다. 조정 후 공기 흐름 안정성이 향상되었습니다.

이 두 가지 상황은 FOUP 도어 개방 영역의 부분적 보호가 개방, 픽 앤 플레이스 경로 및 인터페이스 간격을 커버하고 도어 이동과 웨이퍼 경로 확인을 결합해야 함을 보여줍니다.

선정 및 합격심사 핵심사항

Aili 산업용 장비 지원 지원

FOUP 도어 개방 영역의 국지적 보호에는 개방 구조, 도어 본체 이동, 웨이퍼 경로 및 전체 기계 공기 흐름의 조정이 포함됩니다. Aili Industrial은 팬, 모터, 필터, 제어 시스템 및 전체 기계 조립 링크에 대한 협업 기능을 갖추고 있습니다. 로딩 엔드 구조, 웨이퍼 픽 앤 플레이스 경로 및 장비 공간을 기반으로 로컬 공기 공급 방향, 필터링 구성 및 제어 방법을 확인할 수 있어 단지 공기 배출구 표면의 레벨로 판단하는 것이 아니라 도어를 열고 웨이퍼를 픽업하는 주요 위치에 보호 기류를 덮는 데 도움이 됩니다. 장비 패키지를 볼 수 있습니다. EFU 장비 엔드 팬 필터 장치는 필터 패키지를 참조하십시오. HEPA 및 ULPA 필터 , 실내 공기 공급을 참조하세요. FFU 청정 공기 공급 제품。