كيفية ترتيب تدفق الهواء الوقائي المحلي في منطقة فتح باب FOUP؟

تعد منطقة فتح باب FOUP هي الواجهة الرئيسية للرقائق التي تدخل المعدات من الحاوية المغلقة. عند فتح الباب، يتم توصيل الجزء الداخلي من الحاوية ببيئة المعدات، وقد يؤثر الهواء الخارجي والجزيئات الموجودة على السطح الخارجي للحاوية وحركة الباب على الرقاقة. يحتاج تدفق الهواء الوقائي المحلي إلى تغطية الفتحات، والتقاط الرقاقات ووضعها، ومواقع النقل المجاورة لمنع هواء الخلفية من الدخول مباشرة إلى المسارات الحساسة.

لا يمكن أن تعتمد طرق الحماية فقط على ملصق الدرجة الخاص بسطح منفذ معين. يجب فحص هيكل الفتح وحركة الباب ومسار الرقاقة والمواضع المجاورة معًا.

يؤدي فتح الباب إلى تغيير حدود تدفق الهواء

عندما يفتح نظام FOUP الباب، فإن حركة جسم الباب وفجوات الواجهة وإجراءات الآلية الداخلية ستغير حدود تدفق الهواء المحلي. بعد فتح الحاوية المغلقة في الأصل، يتم توصيل البيئة الداخلية ببيئة المعدات، وقد يدخل تدفق الهواء أو يخرج من خلال الفتحة.

بحاجة إلى تأكيد:

• هل اتجاه تدفق الهواء ثابت عند فتح الباب؟

• ما إذا كان هناك تدفق عكسي في الواجهة؛

• ما إذا كانت حركة الباب تزعج تدفق الهواء الوقائي؛

• هل هناك أي تراكم للجزيئات حول الفتحة؟

لمعرفة التغييرات في تدفق الهواء في الحالة المفتوحة، يرجى الرجوع إلى كيفية التخطيط لإمداد الهواء النظيف لتجويف المعدات المغلقة؟ لفهم تأثير الفتحات على مسارات تدفق الهواء. للتعرف على عملية تعريض الرقائق من الحاوية إلى المعدات، يرجى الرجوع إلى كيف يمكن لمحطات معالجة البسكويت أن تقلل من الغبار أثناء التعرض؟ ، قم أولاً بمعايرة فترة التعرض.

يجب أن يغطي تدفق الهواء الوقائي الفتحات ومسارات الوصول

الهدف من الحماية المحلية هو السماح للهواء النظيف بتغطية الفتحات ومواقع إزالة الرقائق ونقاط بداية النقل. إذا كان نطاق الحماية غير كاف، فقد تمر الرقاقة عبر منطقة حماية ضعيفة بعد مغادرة الحاوية.

بحاجة إلى تأكيد:

• ما إذا كانت الفتحة تقع ضمن منطقة تغطية إمداد الهواء؛

• ما إذا كان هناك تدفق هواء وقائي في الموقع الذي تم التقاط الفيلم فيه؛

• ما إذا كان المسار الأول للرقاقة من الحاوية إلى داخل الجهاز مغطى؛

• ما إذا كان هناك انقطاع في الحماية.

للتعرف على طريقة تغطية مسار النقل الداخلي لـ EFEM، يرجى الرجوع إلى كيف تغطي الحماية الداخلية النظيفة EFEM مسار نقل الرقاقة؟ فهم فكرة حماية المسار.

منع الهواء الخلفي من الدخول من خلال طبقات جانبية

عادة ما تكون هناك طبقات جانبية وأجزاء اتصال بين FOUP وواجهة الجهاز. قد تكون هذه الفجوات بمثابة مسارات لدخول الهواء الخلفي.

أثناء التفتيش يجب الانتباه إلى:

• حالة الختم حول الواجهة؛

• ما إذا كان هناك تدفق هواء يدخل عبر اللحامات الجانبية؛

• هل فرق الضغط في الواجهة مستقر؟

• هل تتسع الفجوة عند فتح الباب؟

إذا دخل الهواء الخلفي من خلال طبقات جانبية، فقد يتم تخفيف تدفق الهواء الوقائي المحلي أو انحرافه. للتعرف على طرق فحص إغلاق الواجهة، يرجى الرجوع إلى ما الذي يجب التحقق منه عند قبول معدات التنظيف؟ لفهم أفكار التحقق من حالة التثبيت.

العلاقة بين حركة جسم الباب واتجاه تدفق الهواء

سيؤثر اتجاه فتح الباب وسرعته على تدفق الهواء المحلي. قد تتسبب الحركة السريعة للباب في حدوث اضطرابات لحظية في تدفق الهواء، مما يؤدي إلى دخول الجزيئات إلى مسار الرقاقة.

بحاجة إلى النظر في:

• ما إذا كان اتجاه فتح الباب نحو مسار الرقاقة؛

• ما إذا كانت سرعة فتح الباب تسبب تقلبات في تدفق الهواء؛

• ما إذا كان الباب يمنع إمداد الهواء؛

• ما إذا كان توقيت فتح الباب منسقًا مع إجراء إزالة الرقاقة.

لتنسيق حركة جسم الباب وتدفق الهواء، يرجى الرجوع إلى كيف يمكن دمج روبوتات معالجة الرقاقات في التحقق من تدفق الهواء؟ ، فهم طريقة التحقق قيد الحركة.

قم بتأكيد طريقة الحماية بناءً على البنية الفعلية لـ FOUP

تختلف هياكل FOUP وأشكال الواجهة المختلفة، ويجب تأكيد طريقة الحماية بناءً على الوضع الفعلي. تم تصميمه فقط وفقًا لأبعاد الواجهة القياسية، وقد يتم تجاهل الاختلافات في هيكل الباب وطرق الختم ومواقع الاتصال.

يجب أن يتضمن محتوى التأكيد ما يلي:

• نموذج FOUP وحجم الواجهة؛

• هيكل الباب وطريقة الفتح؛

• واجهة الختم وشكل الاتصال؛

• موضع ترتيب الرقائق في الحاوية؛

• التعاون بين آلية التقاط الفيلم والواجهة.

العلاقة بين إمدادات الهواء المحلية وتدفق الهواء الكلي للآلة

تعد الحماية المحلية لمنطقة فتح باب FOUP جزءًا من تدفق الهواء الإجمالي للمعدات. لا يمكن أن يتعارض مصدر الهواء المحلي مع تدفق الهواء الداخلي لـ EFEM، ولا يمكن أن يؤثر على علاقة فرق الضغط لواجهة التحميل.

بحاجة إلى تأكيد:

• هل يتم تنسيق اتجاه إمداد الهواء المحلي مع اتجاه إمداد الهواء الداخلي EFEM؟

• ما إذا كانت الحماية المحلية تؤثر على اختلاف ضغط الواجهة؛

• ما إذا كان مسار الهواء العائد يدعم تفريغ تدفق الهواء المحلي؛

• ما إذا كان التحكم المستقل أو الارتباط مطلوبًا.

يتم استخدام EFU بشكل شائع للحماية الجزئية في نهاية المعدات، ويمكن اختيار الهيكل بناءً على مساحة نهاية التحميل ومتطلبات إمداد الهواء. عندما يتعلق الأمر بتدفق الهواء الإجمالي داخل الجهاز، يرجى الرجوع إلى كيف يقوم كل من EFU من جانب المعدات وFFU من جانب الغرفة بتقسيم عملهما ؟ فهم تقسيم التحكم في العمل بين جانب المعدات وجانب الغرفة.

يغطي التحقق الديناميكي عمليات فتح الباب والاختيار والمكان

يجب أن يتم التحقق من منطقة فتح باب FOUP أثناء عمليات فتح الباب والالتقاط والوضع الفعلية، بدلاً من مجرد الاختبار الثابت. يجب أن يتضمن محتوى التحقق ما يلي:

• التغييرات في تدفق الهواء والجسيمات في لحظة فتح الباب؛

• تغطية تدفق الهواء في موقع إزالة الفيلم؛

• حالة مسار الحبوب للرقاقة بعد خروجها من الحاوية؛

• حالة الاسترداد بعد إغلاق جسم الباب؛

• التكرار في ظل الظروف الديناميكية.

يجب أن يغطي موقع نقطة أخذ العينات الموقع الفعلي الذي تمر فيه الرقاقة، وليس فقط أسفل منفذ الإمداد الجوي. يمكن الرجوع إلى طرق أخذ العينات لماذا لا يمكن وضع نقطة أخذ العينات أسفل مخرج إمداد الهواء مباشرةً؟ يرجى الرجوع إلى اختيار الارتفاع كيف يؤثر التغيير في ارتفاع العمل على موضع الكشف؟。

مثال حكم المشروع

ظهرت جزيئات عرضية على سطح الرقاقة عند فتح FOUP في مشروع معين. وجد التحقيق أن الهواء الخلفي دخل إلى التماس الجانبي للواجهة، وتم إدخال الجزيئات إلى الفيلم عند فتح الباب. طريقة التعديل: تحسين ختم الواجهة، وضبط اتجاه تدفق الهواء الوقائي المحلي، وتغطية الفتحة وموضع إزالة الغشاء. بعد التعديل، تنخفض الجزيئات عند فتح الباب.

وفي مشروع آخر، تذبذب تدفق الهواء بشكل ملحوظ عندما تحرك جسم الباب. طريقة التعديل: اضبط سرعة وتوقيت فتح الباب لتنسيق حركة الباب مع إزالة الرقاقة، وتحقق من اتجاه إمداد الهواء المحلي. تم تحسين استقرار تدفق الهواء بعد التعديل.

توضح هاتان الحالتان أن الحماية الجزئية لمنطقة فتح باب FOUP تحتاج إلى تغطية الفتح ومسار الانتقاء والمكان وفجوة الواجهة، والجمع بين حركة الباب وتأكيد مسار الرقاقة.

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

دعم المعدات الصناعية Aili

تتضمن الحماية المحلية لمنطقة فتح باب FOUP تنسيق هيكل الفتح وحركة جسم الباب ومسار الرقاقة وتدفق هواء الماكينة بشكل عام. تتمتع Aili Industrial بقدرات تعاونية في المراوح والمحركات والمرشحات وأنظمة التحكم وروابط تجميع الماكينة الكاملة. يمكنه التحقق من اتجاه إمداد الهواء المحلي، وتكوين التصفية وطريقة التحكم بناءً على هيكل نهاية التحميل، ومسار اختيار مكان الرقاقة ومساحة المعدات، مما يساعد على تغطية تدفق الهواء الوقائي إلى المواضع الرئيسية لفتح الباب والتقاط الرقاقات، بدلاً من الحكم على مستوى سطح مخرج الهواء فقط. يمكنك عرض حزمة المعدات وحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU ، يرجى الرجوع إلى حزمة الفلتر. مرشحات HEPA وULPA ، يرجى الرجوع إلى مصدر هواء الغرفة منتجات إمداد الهواء النظيف FFU。