¿Cómo organizar un flujo de aire protector local en el área de apertura de la puerta FOUP?

El área de apertura de la puerta FOUP es la interfaz clave para que las obleas ingresen al equipo desde el contenedor cerrado. Cuando se abre la puerta, el interior del contenedor está conectado al entorno del equipo, y el aire externo, las partículas en la superficie exterior del contenedor y los movimientos de la puerta pueden afectar la oblea. El flujo de aire protector local debe cubrir las aberturas, la recogida y colocación de las obleas y los lugares de transferencia adyacentes para evitar que el aire de fondo entre directamente en rutas sensibles.

Los métodos de protección no pueden depender únicamente de la etiqueta de grado de una determinada superficie de salida. Es necesario comprobar conjuntamente la estructura de apertura, el movimiento de la puerta, la trayectoria de la oblea y las posiciones adyacentes.

Abrir la puerta cambia el límite del flujo de aire.

Cuando FOUP abre la puerta, el movimiento del cuerpo de la puerta, los espacios de la interfaz y las acciones del mecanismo interno cambiarán el límite del flujo de aire local. Después de abrir el contenedor originalmente cerrado, el entorno interno se conecta con el entorno del equipo y el flujo de aire puede entrar o salir a través de la abertura.

Necesidad de confirmar:

• ¿Es estable la dirección del flujo de aire al abrir la puerta?

• Si hay reflujo en la interfaz;

• Si el movimiento de la puerta altera el flujo de aire protector;

• ¿Hay alguna acumulación de partículas alrededor de la abertura?

Para cambios en el flujo de aire en el estado abierto, consulte ¿Cómo planificar el suministro de aire limpio para las cavidades cerradas de los equipos? , para comprender el impacto de las aberturas en las rutas del flujo de aire. Para conocer el proceso de exposición de las obleas desde el contenedor al equipo, consulte ¿Cómo pueden las estaciones de manipulación de obleas reducir el polvo durante la exposición? , primero calibre el período de exposición.

El flujo de aire protector debe cubrir las aberturas y los caminos de acceso.

El objetivo de la protección local es permitir que el aire limpio cubra las aberturas, los lugares de extracción de obleas y los puntos de inicio de transferencia. Si el rango de protección es insuficiente, la oblea puede pasar a través de una zona de protección débil después de salir del contenedor.

Necesidad de confirmar:

• Si la abertura está dentro del área de cobertura del suministro de aire;

• Si hay un flujo de aire protector en el lugar donde se toma la película;

• Si el primer recorrido de la oblea desde el recipiente hasta el interior del dispositivo está cubierto;

• Si hay una interrupción en la protección.

Para conocer el método de cobertura de la ruta de transmisión interna de EFEM, consulte ¿Cómo cubre la protección de limpieza interna de EFEM la ruta de transferencia de las obleas? , Comprenda la idea de protección de caminos.

Evite que entre aire ambiental a través de las costuras laterales.

Generalmente hay costuras laterales y piezas de conexión entre el FOUP y la interfaz del dispositivo. Estos espacios pueden servir como vías para que entre el aire ambiental.

Durante la inspección se debe prestar atención a:

• Estado de sellado alrededor de la interfaz;

• Si entra flujo de aire por las costuras laterales;

• ¿Es estable la diferencia de presión en la interfaz?

• ¿Se expande el espacio cuando se abre la puerta?

Si el aire ambiente ingresa a través de las costuras laterales, el flujo de aire protector local puede diluirse o desviarse. Para conocer los métodos de inspección del sellado de la interfaz, consulte ¿Qué se debe comprobar cuando se acepta el equipo de limpieza? , para comprender las ideas de verificación del estado de la instalación.

La relación entre el movimiento del cuerpo de la puerta y la dirección del flujo de aire.

La dirección y velocidad de apertura de la puerta afectarán el flujo de aire local. El movimiento rápido de la puerta puede causar perturbaciones instantáneas en el flujo de aire, lo que introduce partículas en el recorrido de la oblea.

Necesidad de considerar:

• Si la dirección de apertura de la puerta es hacia la ruta de la oblea;

• Si la velocidad de apertura de la puerta provoca fluctuaciones en el flujo de aire;

• Si la puerta bloquea el suministro de aire;

• Si el tiempo de apertura de la puerta está coordinado con la acción de extracción de la oblea.

Para coordinar el movimiento del cuerpo de la puerta y el flujo de aire, consulte ¿Cómo se pueden incorporar los robots de manipulación de obleas a la verificación del flujo de aire? , comprenda el método de verificación en movimiento.

Confirmar el método de protección basado en la estructura real de FOUP

Las diferentes estructuras FOUP y formas de interfaz son diferentes y el método de protección debe confirmarse en función de la situación real. Diseñado únicamente según las dimensiones de la interfaz estándar, se pueden ignorar las diferencias en la estructura de la puerta, los métodos de sellado y las ubicaciones de las conexiones.

El contenido de la confirmación debe incluir:

• modelo FOUP y tamaño de interfaz;

• Estructura de la puerta y método de apertura;

• Forma de conexión y sellado de interfaz;

• La posición de disposición de las obleas en el recipiente;

• La cooperación entre el mecanismo de toma de película y la interfaz.

La relación entre el suministro de aire local y el flujo de aire general de la máquina.

La protección local del área de apertura de la puerta FOUP es parte del flujo de aire general del equipo. El suministro de aire local no puede entrar en conflicto con el flujo de aire interno del EFEM, ni puede afectar la relación de diferencia de presión de la interfaz de carga.

Necesidad de confirmar:

• ¿Está coordinada la dirección del suministro de aire local con la dirección del suministro de aire interno del EFEM?

• Si la protección local afecta la diferencia de presión de la interfaz;

• Si la ruta del aire de retorno admite la descarga del flujo de aire local;

• Si se requiere control independiente o vinculación.

EFU se usa comúnmente para protección parcial en el extremo del equipo, y la estructura se puede seleccionar según el espacio del extremo de carga y los requisitos de suministro de aire. Cuando se trata del flujo de aire general dentro del equipo, consulte ¿Cómo dividen su trabajo las EFU del lado del equipo y las FFU del lado de la habitación ? Comprender la división del trabajo de control entre el lado del equipo y el lado de la habitación.

La verificación dinámica cubre los procesos de apertura de puertas y pick-and-place.

La verificación del área de apertura de la puerta FOUP debe llevarse a cabo durante los procesos reales de apertura de la puerta y de recogida y colocación, en lugar de simplemente pruebas estáticas. El contenido de verificación debe incluir:

• Cambios en el flujo de aire y partículas al momento de abrir la puerta;

• Cobertura del flujo de aire en el lugar de retirada de la película;

• El estado del grano de la oblea después de que sale del contenedor;

• La situación de recuperación después de cerrar la carrocería;

• Repetibilidad en condiciones dinámicas.

La ubicación del punto de muestreo debe cubrir la ubicación real por donde pasa la oblea, en lugar de solo debajo del puerto de suministro de aire. Los métodos de muestreo pueden referirse a ¿Por qué no se puede ubicar el punto de muestreo justo debajo de la salida del suministro de aire? , consulte la selección de altura ¿Cómo afecta un cambio en la altura de trabajo a la posición de detección?。

Ejemplo de juicio de proyecto

Aparecieron partículas ocasionales en la superficie de la oblea cuando se abrió la FOUP en un proyecto determinado. La investigación encontró que el aire ambiente entraba por la costura lateral de la interfaz y las partículas entraban en la película cuando se abría la puerta. Método de ajuste: Mejore el sello de la interfaz, ajuste la dirección del flujo de aire protector local, cubra la abertura y la posición de extracción de la película. Después del ajuste, las partículas disminuyen al abrir la puerta.

En otro proyecto, el flujo de aire fluctuaba significativamente cuando se movía el cuerpo de la puerta. Método de ajuste: ajuste la velocidad y el tiempo de apertura de la puerta para coordinar el movimiento de la puerta con la extracción de la oblea y verifique la dirección del suministro de aire local. La estabilidad del flujo de aire mejora después del ajuste.

Estas dos situaciones ilustran que la protección parcial del área de apertura de la puerta FOUP debe cubrir la apertura, la ruta de recogida y colocación y el espacio de interfaz, y combinar el movimiento de la puerta y la confirmación de la ruta de la oblea.

Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

Soporte de soporte para equipos industriales de Aili.

La protección local del área de apertura de la puerta FOUP implica la coordinación de la estructura de apertura, el movimiento del cuerpo de la puerta, la trayectoria de la oblea y el flujo de aire general de la máquina. Aili Industrial tiene capacidades de colaboración en ventiladores, motores, filtros, sistemas de control y enlaces completos de ensamblaje de máquinas. Puede verificar la dirección del suministro de aire local, la configuración de filtrado y el método de control según la estructura del extremo de carga, la ruta de recogida y colocación de las obleas y el espacio del equipo, lo que ayuda a cubrir el flujo de aire protector hacia las posiciones clave de apertura de la puerta y recogida de las obleas, en lugar de simplemente juzgar por el nivel de la superficie de salida de aire. Se puede ver el soporte lateral del dispositivo. Unidad de filtro de ventilador final del equipo EFU , consulte el paquete de filtros. Filtros HEPA y ULPA , consulte el suministro de aire ambiente. Productos de suministro de aire limpio FFU。