¿Cómo configurar el suministro de aire limpio en el área de mantenimiento de equipos de deposición de película delgada?

El mantenimiento de los equipos de deposición de películas delgadas requiere abrir la cámara, desmontar los componentes y reemplazar los consumibles. Las piezas expuestas en las áreas de mantenimiento pueden incluir superficies limpiadas, repuestos y lugares de reensamblaje. Estos componentes son sensibles a las partículas y el ambiente del aire en el área de mantenimiento afectará la calidad del mantenimiento.

Sin embargo, el área de mantenimiento también puede contener residuos de equipos, subproductos de procesos o materiales peligrosos. El suministro de aire limpio sólo se puede utilizar como parte del mantenimiento del medio ambiente y no puede reemplazar el aislamiento, el escape y la protección del personal. Para configurar el suministro de aire limpio, primero es necesario aclarar las tareas de mantenimiento y la naturaleza de la contaminación.

Identificar tareas de mantenimiento y piezas expuestas.

Antes de configurar el suministro de aire limpio, primero confirme qué tareas deben completarse en el área de mantenimiento:

• Abra la cavidad y retire las piezas;

• Limpiar el interior de la cavidad;

• Reemplazar consumibles y repuestos;

• Reensamblaje y calibración;

• Almacene temporalmente las piezas limpias.

Diferentes tareas corresponden a diferentes partes expuestas y riesgos de contaminación. Las superficies limpias y los repuestos requieren protección contra partículas, mientras que las piezas desmontadas contaminadas requieren aislamiento. No se deben mezclar ambos tipos de componentes en la misma zona.

Distinguir entre piezas limpias y contaminadas.

Las piezas en el área de mantenimiento tienen dos estados: piezas limpias y piezas contaminadas a procesar. El suministro de aire limpio debe priorizar la protección de piezas limpias y lugares de reensamblaje.

Durante la inspección, debe confirmar:

• Lugar de almacenamiento temporal para piezas de limpieza;

• Si las piezas de limpieza están dentro del rango de protección del flujo de aire;

• Si las piezas contaminadas están lejos de las limpias;

• Si se utilizan diferentes áreas o direcciones para el desmontaje y montaje.

Si se colocan piezas limpias aguas abajo de piezas contaminadas, el flujo de aire puede llevar contaminación a la superficie limpia. Para conocer la relación entre la ubicación de los componentes y la dirección del flujo de aire, consulte ¿Apilar artículos en el banco de trabajo creará una zona muerta de contaminación? , para comprender el impacto de la oclusión en el flujo de aire.

El flujo de aire en el estado de mantenimiento es diferente al del estado de producción.

Cuando se abre el equipo durante el mantenimiento, los límites de la cámara y las rutas del flujo de aire cambian. Es posible que las condiciones de flujo de aire calificadas en condiciones de producción ya no sean aplicables en condiciones de mantenimiento.

Lo siguiente se debe considerar por separado al configurar:

• Estado de producción: El equipo está apagado y el flujo de aire corre según la ruta diseñada;

• Estado de mantenimiento: el equipo está encendido, el personal opera, la ruta del flujo de aire cambia;

• Estado de recuperación: mantenimiento completado, verificación reanudada después de apagar el dispositivo.

Es posible que sea necesario establecer por separado el alcance de protección del estado de mantenimiento. Para la planificación del flujo de aire en cavidades cerradas de equipos, consulte ¿Cómo planificar el suministro de aire limpio para las cavidades cerradas de los equipos? , para comprender la organización del flujo de aire en estado abierto.

Manipulación de residuos y sustancias peligrosas.

Los equipos de deposición de películas delgadas pueden retener subproductos del proceso o materiales peligrosos. Cuando dichos residuos intervienen en el área de mantenimiento, deben manipularse de acuerdo con los requisitos de seguridad del proceso y no pueden eliminarse únicamente mediante un suministro de aire limpio.

Necesidad de confirmar:

• la naturaleza del residuo y los requisitos de manipulación;

• Si se requiere escape o aislamiento dedicado;

• Requisitos de protección para el personal de mantenimiento;

• Mantener los procedimientos de eliminación de residuos.

El suministro de aire limpio no puede reemplazar el escape dedicado, el aislamiento o la protección del personal. Cuando se trate de materiales peligrosos, se debe hacer referencia a ¿Se puede utilizar un banco de trabajo abierto para operaciones con materiales peligrosos? , primero haga una evaluación de riesgos.

Configuración del suministro de aire local y nivel de filtración.

La protección local del área de mantenimiento se puede configurar con EFU del lado del equipo, y la estructura se selecciona de acuerdo con las tareas de mantenimiento y las condiciones del espacio. El nivel de filtración debe determinarse en función de la sensibilidad de las partes expuestas.

Consulte el soporte lateral del equipo. Unidad de filtro del ventilador del extremo del equipo EFU , se puede entender el nivel de filtración Filtros HEPA vs ULPA , comprobar eficiencia, tamaño y sello de instalación. Consulte el suministro de aire ambiente de la habitación. Productos de suministro de aire limpio FFU , la lógica de la división del trabajo entre los dos es la división del trabajo entre la EFU del lado del dispositivo y la FFU de la sala . Se explica en detalle

Verificación de recuperación después del mantenimiento.

Una vez finalizado el mantenimiento, el equipo se apaga y se vuelve a poner en funcionamiento. En este punto debes confirmar:

• Si se restablece la ruta de suministro de aire;

• Si el sello del filtro está intacto;

• Si se restauran las partículas dentro del equipo;

• Si el proceso de mantenimiento introduce contaminación.

Para restaurar la verificación después del mantenimiento, consulte ¿Qué se debe comprobar cuando se acepta el equipo de limpieza? , comprender el estado de la instalación y los requisitos de inspección del sello. Para determinar el estado operativo del equipo durante la aceptación, consulte ¿Qué equipo debería estar en funcionamiento durante la aceptación?。

Ejemplo de juicio de proyecto

Cuando el área de mantenimiento de un determinado equipo de deposición de película delgada se abre para mantenimiento, las piezas de repuesto limpiadas se colocan en la mesa de mantenimiento. El plan original no proporcionaba protección parcial para el lugar de almacenamiento temporal de repuestos y aparecieron partículas en la superficie de los repuestos. Método de ajuste: Aumente el suministro de aire local en el lugar de almacenamiento temporal de piezas de repuesto para mantener las piezas de limpieza dentro del rango de protección del flujo de aire. Las partículas de repuestos se han reducido después del ajuste.

El área de mantenimiento de otro proyecto involucra residuos de proceso y el plan original solo configura el suministro de aire limpio. La evaluación encontró que el residuo requería un tratamiento de escape específico. Método de ajuste: aumente las medidas de escape y aislamiento, y el suministro de aire limpio solo se utiliza para proteger las piezas limpias. Después del ajuste, se cumplen al mismo tiempo la seguridad del mantenimiento y la protección de los componentes.

Estas dos situaciones ilustran que el suministro de aire limpio en el área de mantenimiento debe configurarse de acuerdo con las tareas de mantenimiento y la naturaleza de la contaminación, y la protección de piezas limpias y el manejo de materiales peligrosos deben organizarse por separado.

Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

Soporte de soporte para equipos industriales de Aili.

El suministro de aire limpio en el área de mantenimiento de los equipos de deposición de película delgada debe configurarse de acuerdo con las tareas de mantenimiento, las partes expuestas y la naturaleza de la contaminación. Aili Industrial tiene capacidades de colaboración en ventiladores, motores, filtros, sistemas de control y enlaces completos de ensamblaje de máquinas. Puede verificar la configuración de la EFU, la dirección del suministro de aire, el nivel de filtración y las condiciones de recuperación según el espacio del área de mantenimiento, la ubicación de las piezas de limpieza y los requisitos de protección del flujo de aire, lo que ayuda a conectar los requisitos locales de protección y seguridad del área de mantenimiento. Se puede ver el soporte lateral del dispositivo. Unidad de filtro de ventilador final del equipo EFU , consulte el paquete de filtros. Filtros HEPA y ULPA , consulte el suministro de aire ambiente. Productos de suministro de aire limpio FFU。