Как организовать локальный защитный приток воздуха в зоне проема дверей ФОУП?

Зона открытия двери FOUP является ключевым интерфейсом для входа пластин в оборудование из закрытого контейнера. Когда дверь открыта, внутренняя часть контейнера связана с окружающей средой оборудования, а внешний воздух, частицы на внешней поверхности контейнера и движения двери могут повлиять на пластину. Локальный защитный воздушный поток должен перекрывать отверстия, места захвата и размещения пластин, а также прилегающие места передачи, чтобы предотвратить прямое попадание фонового воздуха в чувствительные пути.

Методы защиты не могут полагаться исключительно на маркировку конкретной выпускной поверхности. Конструкция открывания, движение двери, путь пластины и прилегающие положения должны быть проверены вместе.

Открытие двери меняет границу воздушного потока

Когда FOUP открывает дверь, движение корпуса двери, зазоры между интерфейсами и действия внутренних механизмов изменят локальную границу воздушного потока. После открытия первоначально закрытого контейнера внутренняя среда соединяется со средой оборудования, и поток воздуха может входить или выходить через отверстие.

Необходимо подтвердить:

• Стабильно ли направление воздушного потока при открытии двери?

• Есть ли обратный поток на интерфейсе;

• Нарушает ли движение двери защитный поток воздуха;

• Есть ли скопление частиц вокруг отверстия?

Информацию об изменениях воздушного потока в открытом состоянии см. Как спланировать подачу чистого воздуха в закрытые полости оборудования? , чтобы понять влияние отверстий на пути воздушного потока. Процесс экспонирования пластин из контейнера на оборудование см. Как станции обработки пластин могут снизить уровень пыли во время воздействия? , сначала откалибруйте период экспозиции.

Защитный поток воздуха должен перекрывать отверстия и пути доступа.

Цель местной защиты — обеспечить доступ чистого воздуха к отверстиям, местам извлечения пластин и начальным точкам переноса. Если диапазон защиты недостаточен, пластина может пройти через слабую защитную зону после выхода из контейнера.

Необходимо подтвердить:

• Находится ли отверстие в зоне действия подачи воздуха;

• Есть ли защитный поток воздуха в месте съемки пленки;

• Пройден ли первый путь пластины от контейнера внутрь устройства;

• Есть ли перебой в защите.

Информацию о методе покрытия внутреннего канала передачи EFEM см. Как внутренняя защита от очистки EFEM защищает путь передачи пластины? , поймите идею защиты пути.

Предотвратить попадание фонового воздуха через боковые швы

Между ФОУП и интерфейсом устройства обычно имеются боковые швы и соединительные детали. Эти щели могут служить путями поступления фонового воздуха.

При осмотре следует обратить внимание на:

• Статус герметизации вокруг интерфейса;

• Есть ли попадание воздуха через боковые швы;

• Стабильна ли разница давлений на границе раздела?

• Расширяется ли зазор при открытии двери?

Если фоновый воздух попадает через боковые швы, местный защитный поток воздуха может быть разбавлен или отклонен. Методы проверки уплотнения интерфейса см. Что необходимо проверить при приемке клинингового оборудования? , чтобы понять идеи проверки статуса установки.

Взаимосвязь между движением корпуса двери и направлением воздушного потока

Направление и скорость открытия двери будут влиять на местный поток воздуха. Быстрое движение двери может вызвать мгновенные нарушения воздушного потока, в результате чего частицы попадут в путь пластины.

Необходимо учитывать:

• Направление открытия двери в сторону пластины;

• Вызывает ли скорость открытия двери колебания воздушного потока;

• Перекрывает ли дверь подачу воздуха;

• Согласовано ли время открытия дверцы с действием по удалению пластины.

Для координации движения корпуса ворот и потока воздуха см. Как роботы, работающие с пластинами, могут быть включены в проверку воздушного потока? , понять метод проверки в движении.

Подтвердите метод защиты на основе фактической структуры FOUP.

Различные структуры FOUP и формы интерфейса различны, и метод защиты должен быть подтвержден на основе реальной ситуации. Разработаны только по стандартным размерам интерфейса, различия в конструкции двери, методах уплотнения и местах подключения можно не учитывать.

Содержание подтверждения должно включать:

• Модель FOUP и размер интерфейса;

• Конструкция двери и способ открывания;

• Уплотнение интерфейса и форма подключения;

• Расположение пластин в контейнере;

• Взаимодействие механизма съемки фильма и интерфейса.

Взаимосвязь между местной подачей воздуха и общим потоком воздуха в машине

Местная защита зоны открывания дверей ФОУП является частью общего воздушного потока оборудования. Местная подача воздуха не может конфликтовать с внутренним потоком воздуха EFEM и не может влиять на соотношение разницы давлений на границе загрузки.

Необходимо подтвердить:

• Согласовано ли местное направление подачи воздуха с внутренним направлением подачи воздуха EFEM?

• Влияет ли местная защита на разницу давлений на границе раздела;

• Поддерживает ли канал возврата воздуха местный выпуск воздушного потока;

• Требуется ли независимый контроль или связь.

EFU обычно используется для частичной защиты со стороны оборудования, а его конструкция может быть выбрана в зависимости от пространства погрузочной стороны и требований к подаче воздуха. Если речь идет об общем потоке воздуха внутри оборудования, см. Как EFU со стороны оборудования и FFU со стороны помещения разделяют свою работу ? Поймите разделение труда по управлению между стороной оборудования и стороной помещения.

Динамическая проверка охватывает процессы открытия двери и захвата и установки.

Проверка зоны открывания двери ФОУП должна проводиться в процессе фактического открытия двери, подъема и установки, а не только при статических испытаниях. Содержание проверки должно включать:

• Изменения воздушного потока и частиц в момент открытия двери;

• Прикрытие воздушного потока в месте снятия пленки;

• Состояние зерна пути пластины после того, как она покидает контейнер;

• Ситуация восстановления после закрытия корпуса двери;

• Повторяемость в динамических условиях.

Точка отбора проб должна охватывать фактическое место прохождения пластины, а не прямо под отверстием подачи воздуха. Методы выборки можно назвать Почему нельзя расположить точку отбора проб прямо под отверстием подачи воздуха? , пожалуйста, обратитесь к выбору высоты Как изменение рабочей высоты влияет на положение обнаружения?。

Пример оценки проекта

Случайные частицы появлялись на поверхности пластины при открытии ФОУП в определенном проекте. В ходе расследования выяснилось, что фоновый воздух попадал в боковой шов стыка, а частицы попадали в пленку, проходя по пути при открытии двери. Метод регулировки: Улучшите уплотнение интерфейса, отрегулируйте местное направление защитного воздушного потока, закройте отверстие и положение удаления пленки. После регулировки количество частиц уменьшается при открытии двери.

В другом проекте поток воздуха значительно колебался при движении корпуса двери. Метод регулировки: отрегулируйте скорость и время открытия двери, чтобы согласовать движение двери с удалением пластины, и проверьте местное направление подачи воздуха. Стабильность воздушного потока улучшается после регулировки.

Эти две ситуации иллюстрируют, что частичная защита области дверного проема FOUP должна охватывать проем, путь захвата и размещения и зазор между интерфейсами, а также сочетать движение двери и подтверждение пути пластины.

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка промышленного оборудования Aili

Локальная защита зоны проема двери ФОУП предполагает координацию конструкции проема, движения корпуса двери, пути пластины и общего воздушного потока машины. Aili Industrial имеет возможности совместной работы в области вентиляторов, двигателей, фильтров, систем управления и комплексных звеньев сборки машин. Он может проверять локальное направление подачи воздуха, конфигурацию фильтрации и метод управления на основе конструкции загрузочного конца, пути захвата и размещения пластин и пространства для оборудования, помогая обеспечить защитный поток воздуха в ключевых положениях открытия двери и захвата пластин, а не просто судить по уровню поверхности выхода воздуха. Поддержка со стороны устройства можно просмотреть Блок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU , см. комплект фильтров. Фильтры HEPA и ULPA , см. подачу воздуха в помещение. Продукты FFU для обеспечения чистого воздуха。