ULPA は ISO レベル 5 プロジェクトに必須ですか?

ISO クラス 5 プロジェクトのフィルターを選択する場合、多くの場合、クラス 100 フィルターには ULPA を使用する必要があるというデフォルトの判断が行われます。この記述は正確ではありません。 ISO 5 では、指定された領域における空気粒子の濃度、指定された粒子サイズ、および占有状態について説明します。特定のフィルター素材や効率レベルを直接指定するものではありません。 ULPA を使用するかどうかは、プロセスに依存する粒子サイズ、バックグラウンド負荷、装置の構造、システムの抵抗、および検証要件によって異なります。

ULPA をグレード名のみで指定すると、次の 2 つの問題が発生する可能性があります。製品の粒度は繊細なので、それほど高いグレードは必要ありませんが、抵抗が増加するためファンが動かなくなります。または、重要な場所で本当に制御する必要がある小さな粒子が個別に識別されていないため、フィルターをアップグレードするだけでは問題は解決されません。以下は、分類の定義、プロセス要件、システムのマッチング、および現場での検証のステップから始まります。

ISO 分類はフィルター モデルのリストではありません

ISO 空気清浄度分類は、エリア内の粒子濃度を表すものであり、特定のフィルター モデルに直接対応するものではありません。同じ ISO 5 レベルでも、異なるプロジェクトでは異なるフィルタリング ソリューションが使用される場合があります。その理由は次のとおりです。

• プロセスに応じて粒子サイズが異なります。

• バックグラウンドの空気負荷はさまざまです。

• 機器の構造や空気の流路が異なりますので、

• さまざまな粒子レベルと検出機能が可能です。

• システム抵抗とファンマージンは異なります。

スペース定格とフィルター効率の違いがまだ不明な場合は、以下を参照してください。 清浄度レベルとろ過効率の違いは何ですか?まず、これら 2 つの概念を区別します。清浄度レベルは、測定された粒子サイズも示す必要があります。具体的な理由については、以下を参照してください。 なぜ清浄度グレードに粒子径を表示する必要があるのですか?。

まずプロセスに応じた粒子サイズを確認します

ULPA を使用するかどうかの最初のステップは、製品がどの粒子サイズに最も敏感かを確認することです。 ISO 5 を 0.5μm 以上の粒子濃度に基づいて比較すると、適切な HEPA ソリューションとシールおよびエアフローを組み合わせることで達成できる可能性があります。ただし、プロセスが小さな粒子に敏感な場合、または特殊な表面要件がある場合は、ULPA が必要かどうかを判断する前に管理指標を個別にリストする必要があります。

具体的な判断については、こちらをご参照ください。 HEPA と ULPA はどのようにして清浄度の目標を一致させますか? 、最初に敏感な粒子サイズと許容レベルを確認し、次に特定のグレードに分類します。 H13、H14、U15 のいずれかを選択するには、を参照してください。 H13、H14、U15 の中からどのように選択すればよいですか? 、3 つのレベルの効率要件と抵抗条件は異なります。

特定のリスクに対するアップグレードのニーズに対処する

重要なプロセスが実際に小さな粒子に対してより敏感である場合は、追加の制御インジケーターと検出機能を確認し、HEPA と ULPA の構成を比較する必要があります。業界名や習慣だけで判断することはできませんし、設置漏れの検証を省略することもできません。

確認する必要がある内容は次のとおりです。

• 製品表面に許容される粒子のレ​​ベル。

• 検出装置が目的の粒子サイズをカバーできるかどうか。

• フィルター効率レポートのテスト粒子サイズが一致しているかどうか。

• バックグラウンドの負荷が安定しているかどうか。

• 装置内部に塵埃の発生源はありませんか?

フィルター効率レポートの見方は次のとおりです。 フィルター効率レポートでテスト粒子サイズを読み取る方法は? 、異なる口径のデータの直接比較を避けるため。

バックグラウンド負荷と設備構造への影響計画

同じ ISO 5 レベルでも、バックグラウンドの負荷が異なり、フィルタリング スキームも異なる場合があります。バックグラウンドの空気粒子濃度が高い場合、または装置内で粉塵の発生が継続している場合は、より効率の高いフィルターまたはより完全なシールが必要になる場合があります。バックグラウンド負荷が低く、製品の露出時間が短い場合は、適切な HEPA ソリューションも要件を満たす可能性があります。

デバイスのアーキテクチャもフィルタリングの選択に影響します。密閉された機器キャビティ内の空気流路、開口位置、排気関係は異なり、ULPA だけが解決策ではありません。詳細については、を参照してください。 密閉された機器キャビティへのクリーン エアの供給を計画するにはどうすればよいですか? 、まず保護境界と空気流路を確認し、次に濾過レベルを決定します。

ULPA交換後の機械全体の動作点を確認してください

フィルターの効率が高いほど、抵抗が高くなる傾向があります。 ULPAに切り替えた後、ファンの動作点が変わらない場合、実風量が低下し、末端風速が不足する場合があります。このとき、フィルター材の効率が向上しても、ワークステーションの保護が悪化する可能性があります。

選択するときは、次の点を確認する必要があります。

• 目標風量におけるULPAの初期抵抗と最終抵抗。

• 対応する抵抗下でのファンの動作点。

• 機械全体の入力電力とノイズが許容範囲内にあるかどうか。

• 設置スペースやメンテナンス条件が合っているか。

動作点の読み取り方法を参照してください。 FFU を選択するときに完全なパフォーマンス曲線を確認する必要があるのはなぜですか? 、公称風量のテスト構成を参照できます。 FFU の公称空気量はフィルターを使用してテストされていますか? 。フィルター面積が不十分な場合、ファンは流れを維持するためにより高い圧力を必要とする場合があります。詳細については、を参照してください。 フィルター面積が不十分だとファンの選択にどのような影響が出ますか?。

シールと取り付けの漏れ検出は省略できません

高効率フィルターが適切に取り付けられて密閉されていない場合、バイパス漏れにより、濾過されていない空気がクリーンサイドに入る可能性があります。現時点では、ULPA をアップグレードしても期待される結果は得られません。取り付け後、フレームシール、取り付けインターフェース、および漏れ検出状態をチェックする必要があります。

現場に異常な粒子があるが、フィルターの効率が許容範囲内である場合は、密閉されたバイパスとエアフローの短絡を確認することを優先する必要があります。参照可能 濾過効率が高ければ必然的にサイトの評価も向上しますか? そして エアフローの短絡によりどのような粒子の問題が発生する可能性がありますか?。

初期抵抗値と最終抵抗値で判定が異なります

通常、ULPA の初期抵抗は同じサイズの HEPA よりも高く、最終的な抵抗もプロジェクトの要件に基づいて判断する必要があります。最終的な抵抗だけが人生の基準ではありません。損傷、湿気、プロセスのリスク、実際の空気供給能力も考慮する必要があります。詳細については、を参照してください。 初期抵抗値と最終抵抗値はどれくらいで判断されますか？。

現地確認が最終判断となります

HEPA または ULPA のどちらを選択するかに関係なく、最終的には現場検証によって確認する必要があります。検証には以下を含める必要があります。

• フィルターの取り付け、密閉、漏れの検出。

• 主要な場所での風速と気流の方向。

• 指定された粒子サイズとサンプリング位置による粒子検出。

• 実際の動作条件下での動的検証。

• 例外回復時間の記録。

サンプリングポイントのレイアウトは、空気供給出口の真下ではなく、実際の製品の暴露位置をカバーする必要があります。関連するメソッドは次の場所にあります。 サンプリングポイントを空気供給出口の真下に配置できないのはなぜですか?。

シナリオ判断: プロジェクト計画が異なれば異なる場合があります

ISO 5 は通常のバックグラウンド領域と精密機器の内部にも記載されていますが、プロセスに敏感な粒子サイズが異なり、フィルターの選択も異なる可能性があり、技術的条件は個別に形成される必要があります。

特定の装置内のウェーハ露光ポイントは微粒子の影響を受けやすいため、ULPA が使用され、ファンの動作ポイントがチェックされます。バックグラウンド ルームには、ISO 5 要件を満たすためのシーリングとエアフロー構成を備えた H14 が使用されています。 2 つの領域は個別に検証され、相互には適用されません。

別のプロジェクトでは、「100 レベル ULPA」統一構成に従って直接構成され、設置後に端末風速が低下しました。調整方法: 重要な領域では ULPA を維持し、ファン容量を増やし、背景領域では H14 を使用します。調整後、システム抵抗は制御可能になり、主要な領域が要件を満たします。

これら 2 つの状況は、ISO レベル 5 プロジェクトに ULPA を使用するかどうかを、プロセス粒子サイズ、バックグラウンド負荷、システム抵抗、検証要件に基づいて総合的に判断する必要があることを示しています。

選定と受入検査のポイント

アイリ産業機器サポートサポート

ISO レベル 5 プロジェクトが ULPA に認められるかどうかは、レベル名だけを見ることはできません。 Aili Industrial は、エア フィルター、ファン、モーター、制御システム、および完全な機械アセンブリも扱います。プロセスに依存する粒子サイズ、バックグラウンド負荷、フィルター効率、初期抵抗と最終抵抗、同じ構成での機械の完全な動作点をチェックして、HEPA シーリングとエアフロー構成が十分であるかどうか、または部分的に ULPA を採用してそれに応じてファン容量を調整する必要があるかどうかを判断するのに役立ちます。特定のフィルターパラメーターを表示できます HEPA および ULPA フィルター、完全なマシン パッケージを表示できます FFUクリーンエア供給製品 と EFU装置側ファンフィルターユニット。