濾過効率が高ければ必然的にサイトの評価も向上しますか?

現場の粒子が多い場合、多くのプロジェクトではフィルターを 1 つのレベル (H13 から H14、H14 から U15) にアップグレードすることが最初の反応です。しかし、交換後、粒子が大幅に減少しない場合があり、ワークステーションの風速がさらに低下することがありました。その理由は、フィールドグレードはフィルターの効率だけでなく、粒子がどこから来たのか、空気がどのように移動するか、シールが漏れているかどうかも考慮するためです。

粒子が主に下流での発塵、シールの漏れ、または空気流の逆流に起因する場合、フィルターをアップグレードしても根本原因は解決されません。新しいフィルターの抵抗が増加して空気量が減少すると、効果的な保護が弱まる可能性があります。以下は、汚染源、シール漏れの検出、空気流路、空気量の変化から始まります。

まずワークステーションに入る粒子の経路を調べます。

現場での粒子測定値が高くても、必ずしもフィルター媒体の効率が十分ではないことを意味するわけではありません。パーティクルは複数のリンクから取得される場合があります。

• 上流投入：新鮮な空気、ドアや窓の隙間、人員や資材の搬入。

• フィルターバイパス: フィルターフレームから漏れがあり、取り付けインターフェースが密閉されていません。

• 下流での粉塵の発生: 機構の磨耗、材料の開梱、人員の活動、および機器の移動。

• 空気の流れの逆流: 供給空気の短絡、戻り空気の不足、および局所的な渦電流により粒子が製品に戻ります。

これらのソースは、さまざまな処理方法に対応しています。フィルターをアップグレードしても、「ろ過された空気がよりきれいになる」だけが改善されますが、下流での粉塵の発生を排除したり、バイパスの漏れを修復したりすることはできません。

トラブルシューティング方法については、を参照してください。 粒子が基準を超えた場合、外部と内部の汚染をどのように区別しますか? そして FFU は正常に動作していますが、ワークステーションにほこりが落ちているのはなぜですか? 、まず異常発生の時間、場所、行動の相関関係を記録し、次に汚染源を特定します。

例外と操作の間の時間関係を記録する

現場検査中は、粒子の異常と人員、ドアの開閉、機械の動作との時間関係を記録することをお勧めします。さまざまなソースからの異常には、さまざまな特徴があります。

• ピークはドアが開いたり人が入ったりしたときに発生しますが、これはおそらく吸気の流れや持ち込まれた汚染が原因と考えられます。

• 機械的動作の後にピークが現れますが、これは機構からの塵や閉塞によって引き起こされる可能性があります。

• 継続的に高レベルになるのは、フィルターのバイパス、シールの漏れ、またはバックグラウンド負荷の増加が原因である可能性があります。

• 回復が遅い場合は、戻り空気の不良または空気流の短絡が関係している可能性があります。

最初に範囲を絞り込むことによってのみ、フィルターのアップグレードが正しい解決策であるかどうかを判断できます。例外がデバイスの動作と同期している場合は、を参照してください。 プロセス装置の稼働後にクリーン度が低下した場合はどうすればよいですか? そして 製品バッチ変更後の粒子変動をトラブルシューティングするにはどうすればよいですか?。

シールの漏れや空気の流れの短絡を優先的に排除します

フィルターがどれほど効率的であっても、設置が適切に密閉されていない場合、バイパス漏れにより、フィルターされていない空気がクリーンサイドに直接流れ込む可能性があります。一般的な問題には、フレームの不十分な密閉、取り付けインターフェイスの位置のずれ、天井の開口部からの空気漏れなどが含まれます。

検査中は、フィルターのシール、設置面、天井の境界を確認する必要があります。詳細については、を参照してください。 フィルター効率レポートでテスト粒子サイズを読み取る方法は? 完成品と設置の違いの説明、および エアフローの短絡によりどのような粒子の問題が発生する可能性がありますか?。

現場に異常な粒子があるものの、フィルターの効率が許容範囲内である場合は、フィルターのアップグレードを続けるよりも、シールと空気流路を優先する必要があります。濾過効率が高くても、バイパスや誤った空気の流れを補うことはできません。

アップグレード前後の完全なシステム結果を比較する

2 つの構成の風量、圧力差、気流分布、粒子傾向を記録し、同じ動作条件下で比較します。他の変数を制御することによってのみ、効率の向上が実際の利益をもたらすかどうかを判断できます。

記録する必要があるものは次のとおりです。

• フィルターの効率評価とモデル。

• 初期抵抗、最終抵抗、動作圧力差。

• ファン速度とマシン入力電力。

• 主要なワークステーションにおける風速と気流の方向。

• 粒子数とサンプリング場所。

• 人員、資機材の稼働状況。

アップグレード後に風量が減少すると、ワークステーションの保護が弱まる可能性があります。関連する判決については、以下を参照してください。 フィルタの定格風量と実際の使用風量はどのように一致しますか? そして フィルターに面する風速が高すぎるとどのような影響がありますか?。

抵抗力の増加により、効果的な保護が弱まる可能性があります

フィルターの効率が高いほど、抵抗が高くなる傾向があります。ファンの動作点が変わらない場合、フィルタ交換後に実風量が低下し、末端風速が不足したり、空気の入れ替えが不十分になる場合があります。このとき、フィルター材の効率が向上しても、ワークステーションの保護が悪化する可能性があります。

選択する際には、目標風量における新しいフィルターの初期抵抗と最終抵抗、および対応する抵抗におけるファンの動作点を確認する必要があります。完全なパフォーマンス曲線は参照用に利用できます。 FFU を選択するときに完全なパフォーマンス曲線を確認する必要があるのはなぜですか? 、外部静圧を参照できます。 FFU 機外静圧とは何を意味しますか?。

フィルター面積が不十分な場合、ファンは流れを維持するためにより高い圧力を必要とする場合があります。詳細については、を参照してください。 フィルター面積が不十分な場合、ファンの選択にどのような影響がありますか?。

下流側の発塵や空気の逆流はフィルターでは解決できない

ロボットの動き、材料の摩擦、人の動きなど、下流での粉塵の発生によって粒子が発生した場合、上流のフィルターをアップグレードしても発生源を直接除去することはできません。今こそ、施設の隔離、局所的な気流経路、または資材管理を調整する時期かもしれません。

供給空気の短絡、不十分な戻り空気、または局所的な渦電流など、空気流の逆流によって粒子が発生した場合、フィルタをアップグレードしても経路エラーは解決されません。関連する分析を参照できます。 戻り流域に汚れがたまりやすいのはなぜですか? そして 供給空気の渦はオープンワークステーションにどのような影響を与えますか?。

シーンの判断: 異なるソースは異なる処理に対応します

マニピュレーターの動きによって巻き上げられた粉塵が瞬間的に基準を超える場合、フィルターの効率を上げてもその原因を直接除去することは通常できません。機械的隔離または局所的な空気流路を調整する必要があります。参照可能 アームを操作すると、作業台への空気供給がどのように妨げられますか? そして ウェーハハンドリングロボットを気流検証にどのように組み込むことができますか?。

シールの漏れにより高圧が継続する場合は、まずフレームとインターフェースを確認する必要があります。を参照してください。 清掃用具を受け入れる際に確認すべき点は何ですか? フィルターのステータスとシールの記録に関するセクション。

バックグラウンド負荷の増加により粒子が上昇する場合は、フィルターをアップグレードするだけでなく、人員と資材の管理を調整したり、局所的な保護を追加したりする必要がある場合があります。参照可能 人員が入った後に粒子数が増加する原因を特定するにはどうすればよいですか?。

機器の選定と端子のマッチング

フィルターの選択は、ターゲット粒子サイズと実際の抵抗に対応する必要があります。HEPA および ULPA フィルター ページには、さまざまなレベルの製品のパラメーターがあります。選定の際は、対象機種の目標風量における効率をご確認ください。

室内の背景空気供給を参照してください。 FFUクリーンエア供給製品は、装置側の局部保護を参照してください。 EFU機器側ファンフィルターユニット。両者の役割分担の論理は次のとおりです。 デバイス側 EFU とルーム FFU の役割分担について 詳しく説明します。

複数のデバイスでパーティションの管理とトラブルシューティングが必要な場合は、それらを組み合わせることができます FFUグループ管理システム により一元管理が可能です。

プロジェクトの判断例

あるプロジェクトのワークステーションの粒子サイズが比較的大きかったため、当初の計画では H13 を H14 に置き換える予定でした。交換後、粒子は大幅に減少しませんでしたが、作業場での風速は減少しました。調査の結果、主な汚染の原因は機構から発生する粉塵であり、空気の還流路が部分的に遮断されていたことが判明した。調整方法: 粉塵発生機構を隔離し、戻り空気チャネルを清掃し、ファンの動作点を復元します。調整後、粒子は低下し、フィルターはアップグレードされませんでした。

別のプロジェクトでは、U15 を交換した後、粒子が大幅に減少しましたが、その理由は、元のフィルター フレームの密閉性が不十分で、新しいフィルターを取り付けるときにシールを締め直したことが原因でした。調整方法：取り付け状況と漏れ検出結果を記録し、シールの改善が主な原因であることを確認します。

これら 2 つの状況は、濾過効率が高くても現場のグレードが必ずしも向上するとは限らないことを示しています。フィルターをアップグレードするかどうかを決定する前に、まず粒子の発生源を特定する必要があります。

選定と受入検査のポイント

アイリ産業機器サポートサポート

フィルターをアップグレードしても現場のグレードは変わりません。多くの場合、その理由はフィルター素材自体ではありません。 Aili Industrial は、エア フィルター、ファン、モーター、制御システム、完全な機械の組み立ても行っています。フィルターを交換する前に、まずプロジェクトの汚染源、既存の密閉状態、ファンの動作点を確認し、アップグレード後に抵抗がどの程度増加したか、風量がまだ十分であるか、密閉方法が適合しているかどうかを判断して、実際の問題を解決せずにフィルターを交換することを回避できます。特定のフィルターパラメーターを表示できます HEPA および ULPA フィルター、完全なマシン パッケージを表示できます FFUクリーンエア供給製品 と EFU装置側ファンフィルターユニット。