戻り流域に汚れがたまりやすいのはなぜですか?

リフロー領域はクリーン システムでは一般的な現象ですが、視覚的に確認するのは簡単ではありません。その性能は、空気が特定の局所領域で繰り返し循環し、時間内に離れることができないため、粒子が局所的に蓄積するか、製品領域に再侵入するというものです。ワークステーションでの持続的な粒子の多さ、回復の遅さ、明らかな地域差は、リフロー領域に関連している可能性があります。

逆流は単なる「空気量不足」ではありません。システムには十分な総空気量がある可能性がありますが、一部の経路が構造物や空気流の衝突によってブロックされ、局所的な循環が生じます。以下では、逆流の原因、典型的な場所、トラブルシューティング方法、および修正の方向から始めます。

逆流は総空気量不足と等しくありません

逆流領域の形成は、通常、総空気量が不十分であることが原因ではなく、局所的な経路が遮断されているか、空気流の方向が矛盾していることが原因です。空気がエリア内を循環しており、意図した経路に逃げることができません。現時点では、総風量はまだ基準を満たしている可能性がありますが、局所的な効果的な換気が不十分です。

総空気量を増やすだけでは、逆流をなくすことはできないかもしれませんが、外乱とエネルギー消費が増加します。判断の際は直接エア供給量を増やすのではなく、逆流の箇所と原因を確認してから判断してください。

デバイスの閉塞が一般的な原因です

大型の機器、背の高いキャビネット、ラック、備品などにより、空気の流れの経路が変化する可能性があります。空気の流れが機器によって遮断されると、機器の後ろ、下、または側面に逆流領域が形成されることがあります。このような場所では空気の循環が悪く、粒子がたまりやすくなります。

装置の背面と底面は逆流領域が発生しやすい場所です。壁際や横に並べて設置すると、背面に密閉空間が生じ、空気が効率よく循環できなくなる場合があります。機器の配置が空気の流れに及ぼす影響については、を参照してください。 非一方向流のクリーンルームで局所的な滞留を減らすにはどうすればよいですか? 、レイアウトと空気循環の関係を理解し​​ます。

輸出制限によりリショアリングが強化される

戻り口や排気口が不当に配置されていたり、塞がれていたり、数が不十分であったりすると、空気が時間内に排出できなくなります。出口が制限されると、空気が局所的に循環し、逆流が形成されます。

戻り空気の通気口が棚、機器、または材料によってブロックされるのは一般的な問題です。たとえ還気ベント自体が適切に設計されていたとしても、それが塞がれている場合、実際の還気能力は減少します。判断の際は、還気出口付近に障害物がないか確認してください。

熱プルームは気流の方向を変える

熱プルームは、機器の加熱、ランプの加熱、および人の体温によって発生します。熱い空気は上昇し、供給空気流と出会うときに空気流の方向を変え、局所的な逆流または渦を形成することがあります。

熱プルームの影響は、精密機器や高熱負荷ステーションではより顕著になります。ワークステーションでの高粒子が機器の動作と同期している場合は、熱プルームの干渉があるかどうかを確認してください。詳細については、を参照してください。 プロセス装置の稼働後にクリーン度が低下した場合はどうすればよいですか? 、機器の動作と気流の変化との相関関係を理解し​​ます。

隣接する気流間の衝突も逆流を引き起こす可能性があります

隣接するワークステーションの給気、排気、または機器の冷却ファンが、対象エリアの空気の流れと競合する可能性があります。 2 つの空気の流れが合流すると、渦流または逆流領域が形成されることがあります。

この種の競合は、オープン ワークステーションや列ワークステーションでより一般的です。判断の際には、隣接する機器の稼働状況を記録し、異なる組み合わせによる風量の変化を比較する必要があります。列状ワークステーションにおける隣接する空気の流れの影響については、を参照してください。 ロータイプのクリーンワークベンチは ワークステーション間の空気の流れの関係を理解し​​ています。

リフローゾーンでは粒子が製品を繰り返し通過する可能性があります

リフローゾーンでの危険は、粒子の蓄積だけではなく、粒子が製品エリアを繰り返し通過する可能性もあるということです。空気が局所的に循環すると、粒子は効果的に除去されるのではなく、保護領域に繰り返し持ち込まれます。

このサイクルが繰り返されることで、ステーションでの粒子濃度は高いままとなり、ゆっくりと回復します。ワークステーションで粒子が長時間落下しない場合は、逆流領域がないか確認してください。エアフローショートと逆流の違いはこちらを参照してください。 エアフローの短絡によりどのような粒子の問題が発生する可能性がありますか? 、さまざまなパスの問題のパフォーマンスを理解します。

リフロー領域の確認方法

リフロー領域を特定するには、次の方法を組み合わせます。

• 気流の可視化: 煙や絹糸を使用して気流の方向を観察し、渦や循環領域を探します。

• 局所風速測定: 逆流が疑われる場所で風速と風向を測定し、異なる場所での違いを比較します。

• 粒子傾向記録: 特定の場所で粒子濃度が高くなり続けるかどうかを観察します。

• 設備状態の相関関係: 逆流の発生と設備の動作および人員の活動との時間的関係を記録します。

気流の視覚化は、再循環領域を識別する簡単な方法です。空の状態を測定するだけでなく、実際の動作状態で観察する必要があります。一方向流れ領域における干渉の特定方法については、を参照してください。 一方向の流れ領域における横方向の干渉を特定するにはどうすればよいですか?。

修正方向: やみくもに増分するのではなく、パスを調整します。

逆流領域を発見したら、単純にエア供給量を増やすのではなく、エアの流路を調整することを優先してください。一般的な修正の指示は次のとおりです。

• 空気の流れができるように障害物を取り除くか調整します。

• 戻り空気出口の位置を調整するか、補助空気出口を追加します。

• 機器のレイアウトを調整して密閉空間を減らします。

• バッフルまたはガイド構造を追加して、気流の方向をガイドします。

• 隣接する機器の動作状況を調整して、エアフローの競合を軽減します。

空気流路と粒子の傾向は、調整後に再検証する必要があります。メンテナンスチャネルが不十分だと、その後の支出が増加します。これが反映されているのは、 メンテナンスチャネルが不十分なために、後でどのような費用が増加するか について、より詳細な分析が行われています。

汚染物質の発生場所との関係

戻り流域における汚染の蓄積の程度は、汚染源の位置に関係します。汚染源が戻り流域にある場合、粒子は局所的に繰り返し循環し、濃度は高いままになります。汚染源が戻り流域の下流にある場合、影響は小さくなる可能性があります。

判断の際には、汚染源の位置と還流域の位置を同時に記録し、両者が重なっているかどうかを確認する必要がある。従業員の活動とマテリアルの取り扱いも、リフロー領域の形成と変化に影響を与えます。を参照してください。 人員が入った後に粒子数が増加する原因を特定するにはどうすればよいですか?。

機器の選定と端子のマッチング

室内の背景空気供給を参照してください。 FFUクリーンエア供給製品は、装置側の局部保護を参照してください。 EFU機器側ファンフィルターユニット。両者の役割分担の論理は次のとおりです。 デバイス側 EFU とルーム FFU の役割分担について 詳しく説明します。

フィルターの選択は、ターゲット粒子サイズと実際の抵抗に対応する必要があります。HEPA および ULPA フィルター ページには、さまざまなレベルの製品のパラメーターがあります。選定の際は、対象機種の目標風量における効率をご確認ください。スペース定格とフィルター効率の違いがまだ不明な場合は、以下を参照してください。 清浄度レベルとろ過効率の違いは何ですか?。

複数のデバイスでパーティションの管理とトラブルシューティングが必要な場合は、それらを組み合わせることができます FFUグループ管理システム により一元管理が可能です。

プロジェクトの判断例

ある観測点では粒子が高い状態が続いた。調査の結果、装置背面に逆流域が形成され、粒子が装置後方で繰り返し循環していることが判明した。調整方法：空気が装置をバイパスして還気エリアに到達できるように、機器間の距離を調整し、補助還気出口を追加します。調整後は粒子が落ちました。

別のプロジェクトでは、作業台の高い箱の後ろに穀物スパイクがありました。調整方法: ハイボックスを取り外し、経路を再観察して、逆流が構造的咬合に関連していることを確認します。レイアウトを調整するとパーティクルが正常に戻りました。

これら 2 つの状況は、リフロー領域により粒子が局所的に蓄積したり、製品を繰り返し通過したりする可能性があることを示しています。これには、機器のシールド、出口条件、汚染源の場所に基づいた包括的な調査が必要です。

選定と受入検査のポイント

アイリ産業機器サポートサポート

戻り流域は、単に空気量が不足しているというよりも、機器のレイアウトや空気流路に関係していることがよくあります。 Aili Industrial は、ファン、モーター、フィルター、制御システム、および完全な機械組み立てにおいて連携能力を備えています。プロジェクトの機器のレイアウト、熱源の場所、空気の流れの構成要件を組み合わせて、空気の供給方向、戻り空気の経路、動作設定を確認し、単に総空気量に基づいて機器を追加するのではなく、機器の間隔を調整するか、戻り空気出口の位置を変更するか、分流構造を追加するかを決定するのに役立ちます。特定のモデルを表示できます FFUクリーンエア供給製品、周辺機器をご覧いただけます EFU機器のエンドファンフィルターユニットについては、フィルターパッケージを参照してください。 HEPAおよびULPAフィルター。