非一方向流のクリーンルームで局所的な滞留を減らすにはどうすればよいですか?

非一方向流のクリーン ルームでは、一方向の気流に頼って汚染物質を押し出し排出するのではなく、給気ジェットと室内空気の混合と希釈に頼って汚染物質の濃度を低減します。この方法は、レベル 10,000 以下の清浄度シナリオで広く使用されていますが、局所的な滞留の問題が発生しやすくなります。

空気の停滞は、機器の背面、部屋の隅、棚の下、気流の短絡領域で発生し、粒子の蓄積を引き起こす可能性があります。公称空気交換率を上げても、これらの閉塞または短絡領域が必ずしも解決されるわけではありません。滞留の原因からトラブル解決方法、給気・還気の最適化、設備配置などをご紹介します。

まずは非一方向流の気流特性を理解する

非一方向クリーンルームの天井や側壁に高効率フィルタを配置し、給気を室内空気と混合して還気口から排出します。給気エリアと還気エリアが完全にカバーされていないため、室内では風速ムラが発生します。供給空気ジェットが戻り空気出口に到達する前に、機器、棚、または壁によって妨げられ、渦流または停滞領域が形成される場合があります。

十分な換気は、すべての場所で効果的な換気を意味するわけではありません。局所的な領域で空気が十分に循環していない場合、その場所の粒子濃度は一貫して高くなる可能性があります。空気の入れ替え回数が不足したり、空気の流れが乱れる場合、「クリーンデッドコーナー」が発生しやすく、局所的な汚染物質が基準値を超える原因となります。

レイアウトから弱いループの場所を見つける

地元の拘留を調査するには、次の場所を優先する必要があります。

• 背の高いキャビネットや大きな機器の背面。

• 部屋の隅や柱の近く。

• 機器の下や棚の底。

• 還気出口が塞がれているエリア。

• 供給空気ジェットが到達できない遠位の位置。

粒子の傾向と気流の観察を組み合わせることで、停滞領域を特定できます。特定の場所の粒子濃度が周囲のエリアよりも一貫して高く、人の活動と明らかに関係がない場合は、空気の循環が悪いことが原因である可能性があります。作業台に物を積み重ねることによるデッドコーナーの問題については、こちらを参照してください。 作業台にアイテムを積み重ねると、汚染のデッドゾーンが形成されますか? 、気流に対する閉塞の影響を理解します。

戻り空気のレイアウトが滞留を減らす鍵となる

非一方向流クリーンルームは、局所的な滞留を減らし、戻り空気のレイアウトを最適化するため、単に空気供給量を増やすよりも効果的です。戻り空気出口の位置が無理な場合、総風量が十分であっても効果的にカバーできない部分が生じることがあります。

空気の戻り口は、部屋の片側に集中しないように、できるだけ均等に配置する必要があります。給気ジェットと戻り空気出口の間の距離と方向は、気流が作業領域をカバーできるかどうかに影響します。空気の戻り口が機器や棚などで塞がれていると、空気が逃げられず滞留する可能性があります。

リターンエアレイアウトを参照してください。 クリーンエリア面積を空気供給需要に変換するにはどうすればよいですか? 、まず必要な空気量を確認し、次に戻り空気容量を確認します。たとえ空気供給量が基準値に達していても、還気通路が塞がれていたり、抵抗が大きすぎると、実際の有効換気量は減少します。

機器の配置が空気流路に影響を与える

大型機器で部屋を二分した場合、本来の戻り空気が一方に集中し、もう一方に滞りが発生する場合があります。空気流が装置をバイパスして還気エリアに到達できるように、装置はできるだけ離して配置する必要があります。

装置を壁に寄せたり、並べて設置する必要がある場合は、装置の後ろと下に適切な空気の流れがあることを確認してください。必要に応じて、装置の近くに補助空気戻り口を追加するか、戻り空気口の位置を調整します。

機器の遮断によるエアフローへの影響については、を参照してください。 戻り流域に汚れがたまりやすいのはなぜですか? 、逆流が発生する理由と治療の方向性を理解します。

気流の短絡により効果的な換気が損なわれる

エアフローの短絡は、供給空気が保護領域を効果的に通過する前に戻り空気または排気経路に入る場合に発生します。給気入口と戻り空気入口が近すぎる場合、機器が塞がれている場合、または明らかに低抵抗の通路がある場合、ショートカットが発生する可能性があります。

短絡が発生した場合、総風量は十分であるように見えますが、ワークステーションでのパーティクル除去が不十分であったり、回復が遅かったり、地域差が大きくなったりします。具体的なパフォーマンスを参照できます エアフローの短絡によりどのような粒子の問題が発生する可能性がありますか?。

エアフローのショートを改善するには、むやみに風量を増やすのではなく、給気位置、還気位置、気流経路を調整することを優先してください。調整後は、他の部分に影響がないか確認するために、風量と圧力差を再測定する必要があります。

汚染源の位置と空気の流れの方向の関係

汚染源が空気の流れの下流またはよどみゾーン内にある場合、粒子は局所的に蓄積し、繰り返し循環する可能性があります。発塵装置やプロセスは、発塵後できるだけ早く気流によって除去できるよう、できる限り還気側に配置する必要があります。

人間の活動が頻繁に行われるエリアでは、機密性の高いワークステーションから適度な距離を保つ必要もあります。人の移動によって生じる気流により、局所的な循環経路が変化し、本来安定していた領域に停滞が生じる可能性があります。

空気交換の回数と実際の効果的な空気交換

空気交換の回数は公称値であり、実際の効果的な空気交換は、空気の流れが各ワークステーションを覆い、そこから出ることができるかどうかによって異なります。公称空気交換率を上げても、気流が遮断されたり短絡した領域が必ずしも解決されるわけではありません。

効果的な換気が十分であるかどうかを判断するには、次の情報を組み合わせる必要があります。

• 各エリアの風速と気流方向を測定。

• 戻り空気量と圧力差。

• 粒子濃度の傾向と回復時間。

• 機器のオクルージョンと空間レイアウトの変更。

地域差を隠す平均風速の問題を参照できます。 測定された平均風速が空気の流れが均一であることを意味しないのはなぜですか? , 平均値だけを見て全体的な効果を判断することは避けてください。

是正計画と検証

地方拘留を減らすための是正の指示には次のものが含まれます。

• 戻り空気出口の位置を調整するか、補助空気出口を追加します。

• 機器の間隔とスペースのレイアウトを最適化します。

• 空気供給方向を調整するか、局所的な空気供給を増やします。

• 還気ダクト上の障害物を取り除きます。

• 汚染源の位置を還気側に近くなるように調整してください。

修正後は、すべての作業ステーションと脆弱な場所を対象として、実際の動作条件下で再検証する必要があります。検証には、風速、気流の方向、圧力差、粒子の傾向が含まれます。一方通行領域が関係する場合は、を参照してください。 一方向の流れ領域における横方向の干渉を特定するにはどうすればよいですか? 、干渉の識別方法について学びます。

機器の選定と端子のマッチング

室内の背景空気供給を参照してください。 FFUクリーンエア供給製品は、装置側の局部保護を参照してください。 EFU機器側ファンフィルターユニット。両者の役割分担の論理は次のとおりです。 デバイス側 EFU とルーム FFU の役割分担について 詳しく説明します。

フィルターの選択は、ターゲット粒子サイズと実際の抵抗に対応する必要があります。HEPA および ULPA フィルター ページには、さまざまなレベルの製品のパラメーターがあります。選定の際は、対象機種の目標風量における効率をご確認ください。スペース定格とフィルター効率の違いがまだ不明な場合は、以下を参照してください。 清浄度レベルとろ過効率の違いは何ですか?。

複数のデバイスでパーティションの管理とトラブルシューティングが必要な場合は、それらを組み合わせることができます FFUグループ管理システム により一元管理が可能です。

プロジェクトの判断例

ある非一方向流クリーン ルームのパーティクルは依然として高いため、当初の計画では空気の交換回数を増やす予定でした。調査の結果、大型装置の背面は長期間にわたり気流の滞留領域にあり、還気の吹き出し口が片側に集中しており、装置の反対側では有効な循環が形成できていないことが判明した。調整方法：装置の背面近くに補助戻り空気出口を追加し、気流が装置をバイパスして戻り空気領域に到達できるように装置間の距離を調整します。調整後、総エア供給量を増加させることなく粒子傾向が大幅に減少しました。

別のプロジェクトでは、空気の戻り口が棚で塞がれていたため、部屋の隅の粒子が高くなっていました。調整方法：障害物を取り除き、戻り空気出口の位置を均等に分布するように調整します。調整後はコーナーの空気の流れが回復し、粒子が減少します。

これら 2 つの状況は、非一方向流のクリーン ルームで局所的な滞留を減らすには、公称空気交換回数を増やすだけでなく、給気と戻りの空気のレイアウト、機器の配置、および空気の流路から始める必要があることを示しています。

選定と受入検査のポイント

アイリ産業機器サポートサポート

非一方向流のクリーン ルームにおける局所的な滞留は、単に空気量が不十分であるというよりも、戻り空気のレイアウトや機器のブロックに関連していることがよくあります。 Aili Industrial は、ファン、モーター、フィルター、制御システム、および完全な機械組み立てにおいて連携能力を備えています。プロジェクトの空間レイアウト、戻り空気の条件、汚染源の場所を組み合わせて機器のレイアウト、戻り空気の経路、動作設定を確認することで、単に空気交換の回数に基づいて機器を追加するのではなく、排気口の位置を調整するか、機器の間隔を最適化するか、局所的な空気供給を増やすかを決定するのに役立ちます。特定のモデルを表示できます FFUクリーンエア供給製品、周辺機器をご覧いただけます EFU機器のエンドファンフィルターユニットについては、フィルターパッケージを参照してください。 HEPAおよびULPAフィルター。