HEPA と ULPA はどのようにして清浄度の目標を一致させますか?

HEPA と ULPA のどちらを選択するかは、清掃プロジェクトでよく発生する問題です。多くのプロジェクトは、「ULPA は ISO 5 に必要ですか?」と直接尋ねます。 ISO 7 には H13 で十分ですか?フィルターの選択は部屋の定格だけでなく、プロセスに依存する粒子サイズ、許容可能な粒子レベル、バックグラウンド負荷、システム抵抗、設置の密閉条件にも依存するため、これらの質問に対する普遍的な答えはありません。

単に清浄度の目標をフィルター モデルと同一視すると、アップグレードすべき領域をアップグレードしない、またはサイト全体で最高レベルを使用するという 2 つの極端な結果が容易に生じます。その結果、ファンが駆動できなくなり、抵抗が大きくなり、運用コストが増加します。次のリンクから、ターゲットの定義、要件のフィルタリング、完全なマシンのマッチング、オンサイトの検証が開始されます。

まず、パーティクル ターゲットとフィルタ レベルを区別します。

清浄度レベルは、指定された領域、指定された粒子サイズ、および占有状態における空気粒子の濃度を表します。濾過効率は、指定された試験条件下で粒子の侵入を低減するフィルターの能力を表します。この 2 つは関連していますが、同じ概念ではありません。

スペース定格とフィルター効率の違いがまだ不明な場合は、以下を参照してください。 清浄度レベルとろ過効率の違いは何ですか?まずこの基本的な概念を明確にしましょう。清浄度レベルは、測定された粒子サイズも示す必要があります。具体的な理由については、以下を参照してください。 なぜ清浄度グレードに粒子径を表示する必要があるのですか?。

HEPA と ULPA はフィルターの定格であり、部屋の定格ラベルではありません。同じ ISO 5 エリアでも、プロセスに影響される粒子サイズ、バックグラウンド負荷、装置構造が異なるため、異なる濾過ソリューションが使用される場合があります。 ISO番号だけでフィルターモデルを指定することはできません。

汚染リスクからろ過のニーズを明確にする

フィルターを選択する前に、次の 3 つの点を確認してください。

• 敏感な粒子サイズ: 製品が最も敏感に反応する粒子サイズは、0.3μm、0.1μm、またはそれ以下です。

• バックグラウンド負荷: フィルターの上流の空気中の粒子の濃度と発生源。

• 許容レベル: 製品の表面または重要な領域で許容される粒子のレ​​ベル。

プロセスが小さな粒子に特に敏感な場合は、制御インジケーターと検出機能を追加し、HEPA 構成と ULPA 構成を比較する必要がある場合があります。バックグラウンド負荷が低く、製品に影響を与える粒子サイズが大きい場合、適切な HEPA ソリューションも要件を満たす可能性があります。具体的な判断については、こちらをご参照ください。 ULPA は ISO レベル 5 プロジェクトに必須ですか?。

デバイスの内部を保護する場合、キャビティの空気流路と暴露時間の組み合わせも必要になります。参照可能 密閉された機器キャビティへのクリーン エアの供給を計画するにはどうすればよいですか? 、最初に保護境界を確認し、次にフィルタリング レベルを決定します。

フィルター効率レポートには、テスト粒子サイズが明確に示されている必要があります。

HEPA と ULPA を比較する場合、単純にパーセンテージを取ることはできません。効率レポートの試験粒子サイズは、採用された規格、試験方法、空気量と併せて読む必要があります。固定粒子サイズの結果と最も浸透可能な粒子サイズの結果は同じ口径ではありません。

具体的な読み方については、以下を参照してください。 フィルター効率レポートでテスト粒子サイズを読み取る方法は? 。あるレポートが約 0.3μm の効率を記述し、別のレポートが MPPS 分類について記述している場合、それをパーセンテージで直接分類することはできません。まずテスト口径を統一する必要があります。

高効率構成には機械全体のマッチング確認が必要

フィルターの効率が高いほど、抵抗が高くなる傾向があります。 ULPAに切り替えた後、ファンの動作点が変わらない場合、実風量が低下し、末端風速不足や風量不足が発生する場合があります。

選択するときは、次の点を確認する必要があります。

• 目標空気量におけるフィルターの初期抵抗と最終抵抗。

• 対応する抵抗下でのファンの動作点。

• 機械全体の入力電力とノイズが許容範囲内にあるかどうか。

• 設置スペースがより厚いフィルターまたはより密度の高いフィルターを収容できるかどうか。

フィルター面積が不十分な場合、ファンは流れを維持するためにより高い圧力を必要とする場合があります。詳細については、を参照してください。 フィルター面積が不十分だとファンの選択にどのような影響が出ますか? 。フィルターに面する風速が高すぎると、抵抗、消費電力、騒音が増加する可能性があります。を参照してください。 フィルターに面する風速が高すぎるとどのような影響がありますか?。

定格風量は実際の使用風量と一致する必要があります

フィルターの定格空気量は、指定されたテスト条件または設計条件を説明するために使用されます。実際の使用風量はメーカーが確認した使用範囲内でご使用ください。モデルを選択するときは、効率、抵抗、ファンの動作点を確認する必要があります。同じサイズに基づいて交換を決定することはできません。

具体的な判断については、こちらをご参照ください。 フィルタの定格風量と実際の使用風量はどのように一致しますか? 。フィルター交換後に風量が低下した場合は、直接回転数を上げるのではなく動作点を確認してください。

フィルターの厚さと構造は抵抗値と同じではありません

フィルターの厚さを厚くしても、必ずしも抵抗が減少するわけではありません。圧力損失は、フィルターの材質、折り畳み構造、フィルター面積、空気量、内部サポートの特性によって決まります。比較には、同じ作業条件下での特定のモデル データを使用する必要があります。見た目の厚みからは抵抗や寿命を推測することはできません。関連する分析を参照できます。 フィルターの厚みを増やすと抵抗は確実に減少しますか?。

シールと取り付けの漏れ検出は省略できません

高効率フィルターが適切に取り付けられて密閉されていない場合、バイパス漏れにより、濾過されていない空気がクリーンサイドに入る可能性があります。現時点では、ULPA をアップグレードしても期待される結果は得られません。取り付け後、フレームシール、取り付けインターフェース、および漏れ検出状態をチェックする必要があります。

現場に異常な粒子があるが、フィルターの効率が許容範囲内である場合は、密閉されたバイパスとエアフローの短絡を確認することを優先する必要があります。参照可能 濾過効率が高ければ必然的にサイトの評価も向上しますか? そして エアフローの短絡によりどのような粒子の問題が発生する可能性がありますか?。

初期抵抗値と最終抵抗値で判定が異なります

通常、初期抵抗は指定された空気量下での新しいフィルターの圧力降下を表し、最終抵抗は合意された使用期間中のメンテナンスまたは交換を判断するために使用されます。最終的な抵抗だけが人生の基準ではありません。損傷、湿気、プロセスのリスク、実際の空気供給能力も考慮する必要があります。

具体的な判断については、こちらをご参照ください。 初期抵抗値と最終抵抗値はどれくらいで判断されますか？ 。動作圧力差が異常に低い場合は、性能の改善ではなく、破損またはバイパスを調査する必要があります。

シナリオ判断：部屋全体を一律にアップグレードする必要はない

主要な機器の局所領域と部屋の背景領域では異なるフィルタリング構成が使用される場合があるため、動作条件を個別に評価する必要があります。ローカルの要件が高いため、部屋全体の ULPA をアップグレードする必要はありません。

たとえば、ISO 5 は通常の背景領域と精密機器の内部に記載されていますが、プロセスに影響される粒子サイズが異なり、フィルターの選択も異なる可能性があり、技術的条件を個別に形成する必要があります。オープンワークステーションまたはローカル保護エリアのろ過構成については、以下を参照してください。 オープンワークステーションにローカルクリーンエリアを確立するにはどうすればよいですか?。

機器の選定と端子のマッチング

フィルターの選択は、ターゲット粒子サイズと実際の抵抗に対応する必要があります。HEPA および ULPA フィルター ページには、さまざまなレベルの製品のパラメーターがあります。選定の際は、対象機種の目標風量における効率をご確認ください。

室内の背景空気供給を参照してください。 FFUクリーンエア供給製品は、装置側の局部保護を参照してください。 EFU機器側ファンフィルターユニット。両者の役割分担の論理は次のとおりです。 デバイス側 EFU とルーム FFU の役割分担について 詳しく説明します。

複数のデバイスでパーティションの管理とトラブルシューティングが必要な場合は、それらを組み合わせることができます FFUグループ管理システム により一元管理が可能です。

プロジェクトの判断例

あるプロジェクトは当初 H14 を使用していましたが、ユーザーはすべてのプロジェクトを U15 にアップグレードすることを提案しました。検査の結果、一部の領域のバックグラウンド負荷が高くなく、製品の敏感な粒子サイズが U15 を必要とするレベルに達していないことが判明しました。ただし、主要な機器の内部には、より高度な濾過構成が実際に必要でした。調整方法: 主要な領域では U15 を使用してファンの動作点を確認し、背景領域では H14 を保持します。調整後、システム抵抗は制御可能になり、主要な領域が要件を満たします。

別のプロジェクトでは、ファン容量を確認せずに ULPA フィルターを直接交換しました。設置後、端末風速が低下しました。調整方法：新しいフィルターの初期抵抗で動作点を確認し、ファン速度を調整し、電力と騒音が許容範囲内であることを確認します。調整後は風量、濾過効率共に満足です。

これら 2 つの状況は、HEPA と ULPA の選択は、プロセスの目的、バックグラウンド負荷、システム抵抗、設置条件に基づいて総合的に判断する必要があり、部屋のグレードや業界の慣習のみに基づいて指定することはできないことを示しています。

選定と受入検査のポイント

アイリ産業機器サポートサポート

HEPAとULPAの選択は「もう一段効率が良い」か「ファンが駆動できない」かの板挟みになることが多いです。 Aili Industrial は、エアフィルター、ファン、モーター、制御システムと完全な機械の組み立てを同時に担当しています。同じ構成テーブルでフィルター効率、定格空気量、実際の抵抗、シール方法、完全な機械の動作点をチェックして、フィルターをアップグレードした後の不十分な最終風速や、長期的な運用コストを増加させる背景領域の過剰構成を回避できます。特定のフィルターパラメーターを表示できます HEPA および ULPA フィルター、完全なマシン パッケージを表示できます FFUクリーンエア供給製品 と EFU装置側ファンフィルターユニット。