Ist ULPA für ISO Level 5-Projekte obligatorisch?

Bei der Auswahl von Filtern für Projekte der ISO-Klasse 5 gibt es häufig eine Standardeinschätzung: Für Filter der Klasse 100 muss ULPA verwendet werden. Diese Aussage ist nicht korrekt. ISO 5 beschreibt die Luftpartikelkonzentration in einem bestimmten Bereich, einer bestimmten Partikelgröße und einem bestimmten Aufenthaltszustand. Es gibt nicht direkt ein bestimmtes Filtermaterial oder einen bestimmten Wirkungsgrad vor. Ob ULPA verwendet werden soll, hängt von der prozessempfindlichen Partikelgröße, der Hintergrundlast, der Gerätestruktur, dem Systemwiderstand und den Verifizierungsanforderungen ab.

Wenn ULPA nur durch den Sortennamen angegeben wird, können zwei Probleme auftreten: Die empfindliche Partikelgröße des Produkts erfordert keine so hohe Qualität, aber der Ventilator kann sich aufgrund des erhöhten Widerstands nicht bewegen; oder die winzigen Partikel, die an wichtigen Stellen wirklich kontrolliert werden müssen, werden nicht einzeln identifiziert, und eine Aufrüstung des Filters allein löst das Problem nicht. Das Folgende beginnt mit den Schritten der Klassifizierungsdefinition, der Prozessanforderungen, des Systemabgleichs und der Überprüfung vor Ort.

Bei der ISO-Klassifizierung handelt es sich nicht um eine Liste von Filtermodellen

Die ISO-Luftreinheitsklassifizierung beschreibt die Partikelkonzentration in einem Bereich und entspricht nicht direkt einem bestimmten Filtermodell. Für die gleiche ISO-5-Stufe können in verschiedenen Projekten unterschiedliche Filterlösungen verwendet werden. Der Grund ist:

• Prozessabhängige Partikelgrößen sind unterschiedlich;

• Die Hintergrundluftlasten variieren;

• Gerätestrukturen und Luftströmungswege sind unterschiedlich;

• Ermöglicht unterschiedliche Partikelmengen und Erkennungsmöglichkeiten;

• Systemwiderstand und Lüfterspielraum sind unterschiedlich.

Wenn Sie sich über den Unterschied zwischen Platzbewertung und Filtereffizienz noch nicht im Klaren sind, können Sie hier nachlesen Was ist der Unterschied zwischen Reinheitsgrad und Filtrationseffizienz? Unterscheiden Sie zunächst diese beiden Konzepte. Der Reinheitsgrad muss auch die gemessene Partikelgröße angeben. Aus bestimmten Gründen lesen Sie bitte Warum muss bei der Reinheitsklasse die Partikelgröße angegeben werden?。

Bestätigen Sie zunächst die prozessempfindliche Partikelgröße

Ob ULPA verwendet werden soll, der erste Schritt besteht darin, zu bestätigen, auf welche Partikelgröße das Produkt am empfindlichsten reagiert. Wenn ISO 5 auf der Grundlage einer Partikelkonzentration von mindestens 0,5 μm verglichen wird, kann dies mit einer geeigneten HEPA-Lösung in Kombination mit Abdichtung und Luftstrom erreicht werden; Wenn der Prozess jedoch empfindlich auf kleinere Partikel reagiert oder besondere Anforderungen an die Oberfläche stellt, müssen die Kontrollindikatoren separat aufgeführt werden, bevor festgestellt wird, ob ULPA erforderlich ist.

Eine konkrete Beurteilung finden Sie unter Wie passen HEPA und ULPA zu den Sauberkeitszielen? , bestätigen Sie zunächst die empfindliche Partikelgröße und den zulässigen Wert und gehen Sie dann auf den spezifischen Grad über. Informationen zur Auswahl zwischen H13, H14 und U15 finden Sie unter Wie wähle ich zwischen H13, H14 und U15? Die Effizienzanforderungen und Widerstandsbedingungen der drei Ebenen sind unterschiedlich.

Gehen Sie auf Upgrade-Anforderungen für bestimmte Risiken ein

Wenn kritische Prozesse tatsächlich empfindlicher auf winzige Partikel reagieren, sollten zusätzliche Kontrollindikatoren und Erkennungsmöglichkeiten bestätigt und HEPA- und ULPA-Konfigurationen verglichen werden. Sie können Ihr Urteil nicht allein auf der Grundlage von Branchennamen oder -gewohnheiten fällen, noch können Sie die Überprüfung auf Installationslecks auslassen.

Folgende Dinge müssen bestätigt werden:

• Der auf der Produktoberfläche zulässige Partikelgehalt;

• Ob das Detektionsinstrument die Zielpartikelgröße abdecken kann;

• Ob die Testpartikelgröße im Filtereffizienzbericht übereinstimmt;

• Ob die Hintergrundlast stabil ist;

• Befinden sich im Gerät Staubquellen?

Informationen zum Lesen des Filtereffizienzberichts finden Sie in Wie lässt sich die Testpartikelgröße im Filtereffizienzbericht ablesen? , um einen direkten Vergleich von Daten verschiedener Kaliber zu vermeiden.

Hintergrundauswirkungsplan für Last und Ausrüstungsstruktur

Bei gleicher ISO-5-Stufe ist die Hintergrundlast unterschiedlich und das Filterschema kann unterschiedlich sein. Wenn die Partikelkonzentration in der Hintergrundluft hoch ist oder im Inneren des Geräts ständig Staub entsteht, ist möglicherweise ein Filter mit höherer Effizienz oder eine vollständigere Abdichtung erforderlich. Bei geringer Hintergrundbelastung und kurzer Produkteinwirkungszeit kann auch eine geeignete HEPA-Lösung die Anforderungen erfüllen.

Die Gerätearchitektur wirkt sich auch auf die Filterauswahl aus. Der Luftstrompfad, die Öffnungsposition und die Abgasbeziehung im geschlossenen Gerätehohlraum sind unterschiedlich, und ULPA ist nicht die einzige Lösung. Einzelheiten finden Sie unter Wie plant man die Reinluftversorgung für geschlossene Geräteräume? Bestätigen Sie zunächst die Schutzgrenze und den Luftströmungsweg und bestimmen Sie dann den Filtergrad.

Überprüfen Sie nach dem Austausch von ULPA den Arbeitspunkt der gesamten Maschine

Filter mit höherer Effizienz weisen tendenziell einen höheren Widerstand auf. Nach der Umstellung auf ULPA kann es bei unverändertem Betriebspunkt des Ventilators zu einer Verringerung der tatsächlichen Luftmenge und damit zu einer unzureichenden Endwindgeschwindigkeit kommen. Zu diesem Zeitpunkt kann sich der Schutz des Arbeitsplatzes verschlechtern, selbst wenn die Effizienz des Filtermaterials verbessert wird.

Bei der Auswahl sollten Sie Folgendes prüfen:

• ULPAs Anfangswiderstand und Endwiderstand bei der Zielluftmenge;

• Der Arbeitspunkt des Lüfters unter entsprechendem Widerstand;

• Ob die Eingangsleistung und der Geräuschpegel der gesamten Maschine noch im zulässigen Bereich liegen;

• Ob der Einbauraum und die Wartungsbedingungen übereinstimmen.

Bitte beachten Sie die Arbeitspunkt-Lesemethode Warum sollten wir bei der Auswahl von FFU die gesamte Leistungskurve betrachten? , auf die sich die Testkonfiguration des Nennluftvolumens beziehen kann Wird die Nennluftmenge der FFU mit einem Filter geprüft? . Wenn die Filterfläche nicht ausreicht, benötigt der Ventilator möglicherweise einen höheren Druck, um den Durchfluss aufrechtzuerhalten. Einzelheiten finden Sie unter Wie wirkt sich eine unzureichende Filterfläche auf die Ventilatorauswahl aus?。

Auf die Abdichtung und Installationslecksuche kann nicht verzichtet werden

Wenn der Hochleistungsfilter nicht ordnungsgemäß installiert und abgedichtet ist, kann ungefilterte Luft aufgrund einer Bypass-Leckage auf die Reinseite gelangen. Derzeit kann die Aktualisierung von ULPA nicht die erwarteten Ergebnisse erzielen. Nach der Installation sollten die Rahmendichtung, die Installationsschnittstelle und die Leckerkennungsbedingungen überprüft werden.

Wenn vor Ort ungewöhnliche Partikel vorhanden sind, die Filtereffizienz jedoch akzeptabel ist, sollte der Überprüfung des abgedichteten Bypasses und des Luftstrom-Kurzschlusses Vorrang eingeräumt werden. Kann referenziert werden Führt eine höhere Filtrationseffizienz zwangsläufig zu besseren Standortbewertungen? Und Welche Partikelprobleme können Luftkurzschlüsse verursachen?。

Anfangswiderstand und Endwiderstand werden für unterschiedliche Urteile herangezogen

Der Anfangswiderstand von ULPA ist in der Regel höher als der von HEPA gleicher Größe, und der Endwiderstand sollte ebenfalls anhand der Projektanforderungen beurteilt werden. Der Endwiderstand ist nicht das einzige Lebenskriterium. Auch Schäden, Feuchtigkeit, Prozessrisiken und die tatsächliche Luftversorgungskapazität müssen berücksichtigt werden. Einzelheiten finden Sie unter Was sind der Anfangswiderstand und der Endwiderstand zur Beurteilung?。

Die Überprüfung vor Ort ist das endgültige Urteil

Unabhängig davon, ob Sie sich für HEPA oder ULPA entscheiden, muss dies letztendlich durch eine Vor-Ort-Verifizierung bestätigt werden. Die Überprüfung sollte Folgendes umfassen:

• Installation, Abdichtung und Lecksuche von Filtern;

• Windgeschwindigkeit und Luftströmungsrichtung an wichtigen Standorten;

• Partikelerkennung mit spezifizierter Partikelgröße und Probenahmeort;

• Dynamische Überprüfung unter tatsächlichen Betriebsbedingungen;

• Ausnahme-Wiederherstellungszeitaufzeichnungen.

Die Anordnung der Probenahmestelle sollte den tatsächlichen Produktexpositionsort abdecken und nicht direkt unter dem Luftzufuhrauslass. Verwandte Methoden finden Sie in Warum kann die Probenahmestelle nicht direkt unterhalb des Luftzufuhrauslasses liegen?。

Szenariobeurteilung: Verschiedene Projektpläne können unterschiedlich sein

ISO 5 wird auch im normalen Hintergrundbereich und innerhalb der Präzisionsausrüstung geschrieben, aber die prozessempfindlichen Partikelgrößen sind unterschiedlich, und die Filterauswahl kann unterschiedlich sein, und die technischen Bedingungen sollten separat gebildet werden.

Der Wafer-Expositionspunkt in einem bestimmten Gerät ist empfindlich gegenüber winzigen Partikeln, daher wird ULPA verwendet und der Lüfterarbeitspunkt überprüft; Der Hintergrundraum verwendet H14 mit Abdichtung und Luftstromorganisation, um die ISO 5-Anforderungen zu erfüllen. Die beiden Bereiche werden separat überprüft und gelten nicht füreinander.

Ein anderes Projekt wurde direkt gemäß der einheitlichen Konfiguration „100-Level ULPA“ konfiguriert, und die Endwindgeschwindigkeit sank nach der Installation. Anpassungsmethode: Behalten Sie ULPA in Schlüsselbereichen bei, erhöhen Sie die Lüfterkapazität und verwenden Sie H14 in Hintergrundbereichen. Nach der Einstellung ist der Systemwiderstand kontrollierbar und die Schlüsselbereiche entsprechen den Anforderungen.

Diese beiden Situationen veranschaulichen, dass die Verwendung von ULPA für ISO-Level-5-Projekte umfassend auf der Grundlage der Prozesspartikelgröße, der Hintergrundlast, des Systemwiderstands und der Verifizierungsanforderungen beurteilt werden muss.

Wichtige Punkte für die Auswahl- und Abnahmeprüfung

Aili Industrieausrüstung unterstützt

Ob ein ISO-Level-5-Projekt zur ULPA zugelassen werden sollte, sollte nicht nur auf den Levelnamen achten. Aili Industrial kümmert sich auch um Luftfilter, Lüfter, Motoren, Steuerungssysteme und die komplette Maschinenmontage. Es kann die prozessabhängige Partikelgröße, die Hintergrundlast, die Filtereffizienz, den Anfangs- und Endwiderstand sowie die Arbeitspunkte der gesamten Maschine in derselben Konfiguration überprüfen, um festzustellen, ob die HEPA-Dichtung und die Luftstromorganisation ausreichend sind oder ob eine teilweise Übernahme von ULPA und eine entsprechende Anpassung der Lüfterkapazität erforderlich ist. Spezifische Filterparameter können angezeigt werden HEPA- und ULPA-Filter , das komplette Maschinenpaket kann besichtigt werden FFU-Produkte für saubere Luftversorgung und EFU-Geräteseitenventilator-Filtereinheit。