Nombre de vues : 3360 Auteur : Aili Industry Heure de sortie : 2026-10-08 Source : Ai Li Industriel
Lors de la sélection de filtres pour les projets ISO Classe 5, il existe souvent un jugement par défaut : ULPA doit être utilisé pour les filtres de Classe 100. Cette affirmation n’est pas exacte. L'ISO 5 décrit la concentration de particules dans l'air dans une zone spécifiée, la taille des particules spécifiée et l'état d'occupation. Il ne spécifie pas directement un certain matériau filtrant ou un certain niveau d’efficacité. L'utilisation ou non de l'ULPA dépend de la taille des particules sensibles au processus, de la charge de fond, de la structure de l'équipement, de la résistance du système et des exigences de vérification.
Si ULPA est spécifié uniquement par le nom de qualité, deux problèmes peuvent survenir : la taille sensible des particules du produit ne nécessite pas une qualité aussi élevée, mais le ventilateur ne peut pas bouger en raison de la résistance accrue ; ou encore, les minuscules particules qui doivent réellement être contrôlées à des endroits clés ne sont pas identifiées individuellement, et la mise à niveau du filtre à elle seule ne résout pas le problème. Ce qui suit commence par les étapes de définition de la classification, des exigences du processus, de la correspondance du système et de la vérification sur site.
La classification ISO de la propreté de l'air décrit la concentration de particules dans une zone et ne correspond pas directement à un certain modèle de filtre. Pour un même niveau ISO 5, différentes solutions de filtrage peuvent être utilisées dans différents projets. La raison est :
Les tailles de particules sensibles au processus sont différentes ;
Les charges atmosphériques de fond varient ;
Les structures des équipements et les chemins de circulation de l'air sont différents ;
Permet de varier les niveaux de particules et les capacités de détection ;
La résistance du système et la marge du ventilateur sont différentes.
Si vous ne comprenez toujours pas la différence entre l'espace disponible et l'efficacité du filtre, vous pouvez lire Quelle est la différence entre le niveau de propreté et l’efficacité de la filtration ? Tout d’abord, distinguons ces deux concepts. Le niveau de propreté doit également indiquer la granulométrie mesurée. Pour des raisons spécifiques, veuillez vous référer à Pourquoi faut-il indiquer la taille des particules dans le degré de propreté ?。
Que ce soit pour utiliser l'ULPA, la première étape consiste à confirmer à quelle granulométrie le produit est le plus sensible. Lorsque la norme ISO 5 est comparée sur la base de la concentration de particules d'au moins 0,5 µm, elle peut être obtenue avec une solution HEPA appropriée combinée à une étanchéité et un flux d'air ; mais si le processus est sensible aux particules plus petites ou a des exigences de surface particulières, les indicateurs de contrôle doivent être répertoriés séparément avant de déterminer si l'ULPA est requis.
Pour un jugement spécifique, veuillez vous référer à Comment HEPA et ULPA correspondent-ils aux objectifs de propreté ? , confirmez d'abord la taille des particules sensibles et le niveau admissible, puis passez à la qualité spécifique. Pour choisir entre H13, H14 et U15, veuillez vous référer à Comment choisir entre H13, H14 et U15 ? , les exigences d'efficacité et les conditions de résistance des trois niveaux sont différentes.
Si les processus critiques sont effectivement plus sensibles aux minuscules particules, des indicateurs de contrôle et des capacités de détection supplémentaires doivent être confirmés, et les configurations HEPA et ULPA doivent être comparées. Vous ne pouvez pas juger uniquement sur la base des noms ou des habitudes de l’industrie, et vous ne pouvez pas non plus omettre la vérification des fuites des installations.
Les éléments qui doivent être confirmés comprennent :
Le niveau de particules autorisé à la surface du produit ;
Si l'instrument de détection peut couvrir la taille des particules cibles ;
Si la taille des particules testées dans le rapport sur l'efficacité du filtre correspond ;
Si la charge en arrière-plan est stable ;
Y a-t-il des sources de poussière à l’intérieur de l’équipement ?
Comment lire le rapport sur l'efficacité du filtre peut être trouvé dans Comment lire la taille des particules testées dans le rapport d'efficacité du filtre ? , pour éviter la comparaison directe de données de différents calibres.
Pour un même niveau ISO 5, la charge d'arrière-plan est différente et le schéma de filtrage peut être différent. Si la concentration de particules dans l'air ambiant est élevée ou si une production continue de poussières se produit à l'intérieur de l'équipement, un filtre plus efficace ou un joint plus complet peut être nécessaire ; si la charge de fond est faible et le temps d'exposition du produit est court, une solution HEPA appropriée peut également répondre aux exigences.
L'architecture des appareils affecte également les choix de filtrage. Le chemin du flux d'air, la position d'ouverture et la relation d'échappement dans la cavité fermée de l'équipement sont différents, et ULPA n'est pas la seule solution. Pour plus de détails, veuillez vous référer à Comment planifier l’alimentation en air pur des cavités fermées des équipements ? , confirmez d'abord la limite de protection et le chemin du flux d'air, puis déterminez le niveau de filtration.
Les filtres plus efficaces ont tendance à avoir une résistance plus élevée. Après le passage à ULPA, si le point de fonctionnement du ventilateur reste inchangé, le volume d'air réel peut diminuer, entraînant une vitesse de vent terminale insuffisante. À l'heure actuelle, même si l'efficacité du matériau filtrant est améliorée, la protection du poste de travail peut se détériorer.
Lors de la sélection, vous devez vérifier :
La résistance initiale et la résistance finale de l'ULPA au volume d'air cible ;
Le point de fonctionnement du ventilateur sous la résistance correspondante ;
Si la puissance d'entrée et le bruit de l'ensemble de la machine sont toujours dans la plage autorisée ;
Si l'espace d'installation et les conditions de maintenance correspondent.
Veuillez vous référer à la méthode de lecture du point de travail Pourquoi devrions-nous examiner la courbe de performance complète lors de la sélection de FFU ? , la configuration de test du volume d'air nominal peut se référer à Le volume d'air nominal du FFU est-il testé avec un filtre ? . Si la surface du filtre est insuffisante, le ventilateur peut nécessiter une pression plus élevée pour maintenir le débit. Pour plus de détails, veuillez vous référer à Comment une zone de filtre insuffisante affecte-t-elle la sélection du ventilateur ?。
Si le filtre à haute efficacité n’est pas correctement installé et scellé, une fuite de dérivation permettra à l’air non filtré de pénétrer du côté propre. À l’heure actuelle, la mise à niveau d’ULPA ne peut pas donner les résultats escomptés. Après l'installation, le joint du cadre, l'interface d'installation et les conditions de détection des fuites doivent être vérifiés.
S'il y a des particules anormales sur place mais que l'efficacité du filtre est acceptable, la priorité doit être donnée à la vérification du by-pass étanche et du court-circuit du flux d'air. Peut être référencé Une efficacité de filtration plus élevée conduit-elle nécessairement à une meilleure évaluation des sites ? et Quels problèmes de particules les courts-circuits du flux d’air peuvent-ils provoquer ?。
La résistance initiale de l'ULPA est généralement supérieure à celle du HEPA de même taille, et la résistance finale doit également être jugée en fonction des exigences du projet. La résistance finale n'est pas le seul critère de durée de vie. Les dommages, l'humidité, les risques liés au processus et la capacité réelle d'alimentation en air doivent également être pris en compte. Pour plus de détails, veuillez vous référer à Quelles sont la résistance initiale et la résistance finale utilisées pour juger ?。
Que vous choisissiez HEPA ou ULPA, cela doit finalement être confirmé par une vérification sur place. La vérification doit inclure :
Installation de filtres, étanchéité et détection de fuites ;
Vitesse du vent et direction du flux d’air à des endroits clés ;
Détection de particules avec taille de particule et emplacement d'échantillonnage spécifiés ;
Vérification dynamique dans des conditions réelles de fonctionnement ;
Enregistrements de temps de récupération des exceptions.
La disposition du point d'échantillonnage doit couvrir l'emplacement réel d'exposition au produit, plutôt que juste sous la sortie d'alimentation en air. Des méthodes connexes peuvent être trouvées dans Pourquoi le point de prélèvement ne peut-il pas être situé juste en dessous de la sortie d’alimentation en air ?。
ISO 5 est également écrit dans la zone de fond ordinaire et à l'intérieur de l'équipement de précision, mais les tailles de particules sensibles au processus sont différentes, et la sélection du filtre peut être différente, et les conditions techniques doivent être formées séparément.
Le point d'exposition de la plaquette à l'intérieur d'un certain équipement est sensible aux minuscules particules, c'est pourquoi ULPA est utilisé et le point de fonctionnement du ventilateur est vérifié ; la salle de fond utilise du H14 avec une organisation d'étanchéité et de circulation d'air pour répondre aux exigences ISO 5. Les deux domaines sont vérifiés séparément et ne s’appliquent pas l’un à l’autre.
Un autre projet a été directement configuré selon la configuration unifiée « ULPA à 100 niveaux », et la vitesse du vent du terminal a chuté après l'installation. Méthode de réglage : conserver l'ULPA dans les zones clés et augmenter la capacité du ventilateur, et utiliser le H14 dans les zones d'arrière-plan. Après ajustement, la résistance du système est contrôlable et les zones clés répondent aux exigences.
Ces deux situations illustrent que l'utilisation ou non d'ULPA pour les projets ISO niveau 5 doit être évaluée de manière exhaustive en fonction de la taille des particules du processus, de la charge de fond, de la résistance du système et des exigences de vérification.
Vérifier les éléments |
Confirmer les points clés |
|---|---|
cible de particules |
Identifier les tailles de particules sensibles |
Conditions du projet |
Vérifier la charge en arrière-plan |
Schéma de filtrage |
Comparaison de l'efficacité et de la résistance |
Réception sur place |
Confirmer les résultats de concentration réels |
Installer le joint |
Vérifier les bordures et les interfaces |
point de travail |
Vérifiez le volume d'air et la pression statique avec le filtre |
Portée d'acceptation |
Distinguer entre local et pièce entière |
L'admission d'un projet ISO niveau 5 à l'ULPA ne doit pas se limiter au nom du niveau. Aili Industrial gère également les filtres à air, les ventilateurs, les moteurs, les systèmes de contrôle et l'assemblage complet de machines. Il peut vérifier la taille des particules sensibles au processus, la charge de fond, l'efficacité du filtre, la résistance initiale et finale, et compléter les points de fonctionnement de la machine dans la même configuration pour aider à déterminer si l'étanchéité HEPA et l'organisation du flux d'air sont suffisantes, ou s'il est nécessaire d'adopter partiellement ULPA et d'ajuster la capacité du ventilateur en conséquence. Des paramètres de filtre spécifiques peuvent être consultés Filtres HEPA et ULPA , l'ensemble complet de la machine peut être consulté Produits d'alimentation en air pur FFU et Unité de filtre de ventilateur côté équipement EFU。