ISO 클래스 5 프로젝트용 필터를 선택할 때 종종 기본 판단이 있습니다. 클래스 100 필터에는 ULPA를 사용해야 합니다. 이 진술은 정확하지 않습니다. ISO 5는 지정된 영역의 공기 입자 농도, 지정된 입자 크기 및 점유 상태를 설명합니다. 특정 필터 재료나 효율 수준을 직접적으로 지정하지 않습니다. ULPA 사용 여부는 공정에 민감한 입자 크기, 배경 부하, 장비 구조, 시스템 저항 및 검증 요구 사항에 따라 달라집니다.
ULPA를 등급명으로만 지정하면 두 가지 문제가 발생할 수 있습니다. 제품의 민감한 입자 크기로 인해 이러한 높은 등급이 필요하지 않지만 저항 증가로 인해 팬이 움직일 수 없습니다. 또는 주요 위치에서 실제로 제어해야 하는 작은 입자를 개별적으로 식별할 수 없으며 필터를 업그레이드하는 것만으로는 문제가 해결되지 않습니다. 다음은 분류 정의, 프로세스 요구 사항, 시스템 매칭 및 현장 검증 단계로 시작됩니다.
ISO 공기 청정도 분류는 해당 지역의 입자 농도를 설명하며 특정 필터 모델과 직접적으로 일치하지 않습니다. 동일한 ISO 5 레벨의 경우 다양한 프로젝트에서 다양한 필터링 솔루션을 사용할 수 있습니다. 그 이유는 다음과 같습니다.
공정에 민감한 입자 크기는 다릅니다.
배경 공기 부하는 다양합니다.
장비 구조와 공기 흐름 경로가 다릅니다.
다양한 입자 수준과 감지 기능을 허용합니다.
시스템 저항과 팬 마진은 다릅니다.
공간 등급과 필터 효율성의 차이가 여전히 불분명하다면 다음을 읽어보세요. 청정도와 여과효율의 차이는 무엇인가요? 먼저, 이 두 개념을 구별하십시오. 청정도 수준은 측정된 입자 크기도 나타내야 합니다. 구체적인 이유는 다음을 참조하세요. 청정도 등급에 입자 크기를 표시해야 하는 이유는 무엇입니까?。
ULPA 사용 여부의 첫 번째 단계는 제품이 가장 민감한 입자 크기를 확인하는 것입니다. 0.5μm 이상의 입자 농도를 기준으로 ISO 5를 비교할 때 밀봉 및 공기 흐름이 결합된 적합한 HEPA 솔루션을 통해 달성할 수 있습니다. 그러나 공정이 더 작은 입자에 민감하거나 특별한 표면 요구 사항이 있는 경우 ULPA가 필요한지 여부를 결정하기 전에 관리 지표를 별도로 나열해야 합니다.
구체적인 판단은 다음을 참고하세요. HEPA와 ULPA는 청결도 목표와 어떻게 일치합니까? , 먼저 민감한 입자 크기와 허용 수준을 확인한 다음 특정 등급으로 떨어집니다. H13, H14, U15 중에서 선택하려면 다음을 참조하세요. H13, H14, U15 중에서 어떻게 선택하나요? , 세 가지 수준의 효율성 요구 사항과 저항 조건이 다릅니다.
중요한 공정이 실제로 작은 입자에 더 민감한 경우 추가 제어 지표 및 감지 기능을 확인하고 HEPA 및 ULPA 구성을 비교해야 합니다. 업종명이나 습관만으로 판단할 수도 없고, 설치누설 검증을 생략할 수도 없습니다.
확인해야 할 사항은 다음과 같습니다.
제품 표면에 허용되는 입자 수준
탐지 장비가 목표 입자 크기를 커버할 수 있는지 여부
필터 효율 보고서의 테스트 입자 크기가 일치하는지 여부
백그라운드 로드가 안정적인지 여부
장비 내부에 먼지가 발생하는 원인이 있습니까?
필터 효율 보고서를 읽는 방법은 다음에서 확인할 수 있습니다. 필터 효율 보고서에서 테스트 입자 크기를 읽는 방법은 무엇입니까? , 다른 구경의 데이터를 직접 비교하는 것을 피하기 위해.
동일한 ISO 5 레벨의 경우 배경 부하가 다르며 필터링 방식이 다를 수 있습니다. 배경 공기 입자 농도가 높거나 장비 내부에 먼지가 지속적으로 생성되는 경우 더 높은 효율의 필터나 더 완전한 밀봉이 필요할 수 있습니다. 배경 부하가 낮고 제품 노출 시간이 짧은 경우 적합한 HEPA 솔루션도 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
장치 아키텍처는 필터링 선택에도 영향을 미칩니다. 닫힌 장비 공간의 공기 흐름 경로, 개방 위치 및 배기 관계가 다르며 ULPA가 유일한 솔루션은 아닙니다. 자세한 내용은 다음을 참조하세요. 폐쇄된 장비 공간에 깨끗한 공기 공급을 계획하는 방법은 무엇입니까? , 먼저 보호 경계와 공기 흐름 경로를 확인한 다음 여과 수준을 결정하십시오.
효율이 높은 필터는 저항이 더 높은 경향이 있습니다. ULPA로 전환한 후에도 팬 작동점이 변하지 않으면 실제 풍량이 감소하여 최종 풍속이 부족해질 수 있습니다. 이때, 필터재의 효율이 향상되더라도 워크스테이션 보호성은 더욱 악화될 수 있습니다.
선택할 때 다음 사항을 확인해야 합니다.
목표 공기량에서 ULPA의 초기 저항과 최종 저항;
해당 저항 하에서 팬의 작동 지점;
전체 기계의 입력 전력 및 소음이 여전히 허용 범위 내에 있는지 여부
설치공간과 유지관리 조건의 일치 여부.
작업점 판독 방법을 참조하세요. FFU를 선택할 때 전체 성능 곡선을 살펴봐야 하는 이유는 무엇입니까? , 공칭 공기량의 테스트 구성은 다음을 참조할 수 있습니다. FFU의 공칭 공기량은 필터를 사용하여 테스트됩니까? . 필터 면적이 충분하지 않으면 흐름을 유지하기 위해 팬에 더 높은 압력이 필요할 수 있습니다. 자세한 내용은 다음을 참조하세요. 필터 면적이 충분하지 않으면 팬 선택에 어떤 영향을 미치나요?。
고효율 필터가 제대로 설치 및 밀봉되지 않으면 바이패스 누출로 인해 여과되지 않은 공기가 깨끗한 쪽으로 유입될 수 있습니다. 현재 ULPA 업그레이드로는 예상한 결과를 얻을 수 없습니다. 설치 후 프레임 씰, 설치 인터페이스 및 누출 감지 상태를 확인해야 합니다.
현장에 비정상적인 입자가 있지만 필터 효율이 허용 가능한 경우 밀봉된 바이패스와 공기 흐름 단락을 점검하는 것이 우선시되어야 합니다. 참고할 수 있다 여과 효율이 높을수록 반드시 현장 등급이 향상됩니까? 그리고 기류 단락으로 인해 어떤 입자 문제가 발생할 수 있습니까?。
ULPA의 초기 저항은 일반적으로 동일한 크기의 HEPA보다 높으며 최종 저항도 프로젝트 요구 사항에 따라 판단되어야 합니다. 최종 저항이 유일한 삶의 기준은 아닙니다. 손상, 습기, 공정 위험 및 실제 공기 공급 용량도 고려해야 합니다. 자세한 내용은 다음을 참조하세요. 판단에 사용되는 초기 저항과 최종 저항은 무엇입니까?。
HEPA를 선택하든 ULPA를 선택하든 최종적으로 현장 검증을 통해 확인해야 합니다. 확인에는 다음이 포함되어야 합니다.
필터 설치, 밀봉 및 누출 감지;
주요 위치의 풍속 및 기류 방향
지정된 입자 크기 및 샘플링 위치를 사용한 입자 감지
실제 작동 조건에서의 동적 검증;
예외 복구 시간 기록.
샘플링 지점 레이아웃은 공기 공급 출구 바로 아래가 아닌 실제 제품 노출 위치를 포함해야 합니다. 관련 방법은 다음에서 찾을 수 있습니다. 샘플링 지점을 공기 공급 출구 바로 아래에 위치시킬 수 없는 이유는 무엇입니까?。
ISO 5는 일반 배경 영역과 정밀 장비 내부에도 작성되어 있지만 공정에 민감한 입자 크기가 다르고 필터 선택도 다를 수 있으므로 기술 조건은 별도로 구성해야 합니다.
특정 장비 내부의 웨이퍼 노출 지점은 작은 입자에 민감하므로 ULPA를 사용하고 팬 작동 지점을 확인합니다. 백그라운드 룸은 ISO 5 요구 사항을 충족하기 위해 밀봉 및 공기 흐름 조직이 있는 H14를 사용합니다. 두 영역은 별도로 검증되며 서로 적용되지 않습니다.
또 다른 프로젝트는 '100레벨 ULPA' 통합 구성에 따라 직접 구성되었으며 설치 후 터미널 풍속이 떨어졌습니다. 조정 방법: 핵심 영역에는 ULPA를 유지하고 팬 용량을 늘리며, 배경 영역에는 H14를 사용합니다. 조정 후 시스템 저항을 제어할 수 있으며 주요 영역이 요구 사항을 충족합니다.
이 두 가지 상황은 ISO 레벨 5 프로젝트에 ULPA를 사용할지 여부가 공정 입자 크기, 배경 부하, 시스템 저항 및 검증 요구 사항을 기반으로 종합적으로 판단되어야 함을 보여줍니다.
확인항목 |
핵심사항 확인 |
|---|---|
입자 표적 |
민감한 입자 크기 식별 |
프로젝트 조건 |
백그라운드 부하 확인 |
필터링 방식 |
효율성과 저항 비교 |
현장접수 |
실제 농도 결과 확인 |
씰 설치 |
테두리 및 인터페이스 확인 |
작업 지점 |
필터로 풍량, 정압 확인 |
수용 범위 |
로컬 방과 전체 방을 구별 |
ISO 레벨 5 프로젝트가 ULPA에 등재되어야 하는지 여부는 레벨 이름만 보고 판단할 수 없습니다. Aili Industrial은 공기 필터, 팬, 모터, 제어 시스템 및 전체 기계 조립도 처리합니다. 동일한 구성에서 프로세스에 민감한 입자 크기, 배경 부하, 필터 효율성, 초기 및 최종 저항, 전체 기계 작동 지점을 확인하여 HEPA 밀봉 및 공기 흐름 구성이 충분한지 또는 부분적으로 ULPA를 채택하고 그에 따라 팬 용량을 조정해야 하는지 여부를 결정하는 데 도움이 됩니다. 특정 필터 매개변수를 볼 수 있습니다. HEPA 및 ULPA 필터 , 전체 기계 패키지를 볼 수 있습니다. FFU 청정 공기 공급 제품 및 EFU 장비 측 팬 필터 장치。