Количество просмотров: 3360 Автор: Aili Industry Время выпуска: 8 октября 2026 г. Источник: Ай Ли Индастриал
При выборе фильтров для проектов класса 5 по ISO часто принимается решение по умолчанию: для фильтров класса 100 необходимо использовать ULPA. Это утверждение не соответствует действительности. ISO 5 описывает концентрацию частиц в воздухе в определенной зоне, указанный размер частиц и состояние присутствия. В нем напрямую не указан определенный материал фильтра или уровень эффективности. Использование ULPA зависит от размера чувствительных к процессу частиц, фоновой нагрузки, конструкции оборудования, устойчивости системы и требований проверки.
Если ULPA указан только по названию сорта, могут возникнуть две проблемы: чувствительный размер частиц продукта не требует такого высокого класса, но вентилятор не может двигаться из-за повышенного сопротивления; или мельчайшие частицы, которые действительно необходимо контролировать в ключевых местах, не идентифицируются индивидуально, и одна лишь модернизация фильтра не решает проблему. Дальнейшее начинается с этапов определения классификации, требований к процессу, сопоставления системы и проверки на месте.
Классификация чистоты воздуха ISO описывает концентрацию частиц в определенной зоне и не соответствует напрямую конкретной модели фильтра. Для одного и того же уровня ISO 5 в разных проектах могут использоваться разные решения по фильтрации. Причина в следующем:
Размер чувствительных к процессу частиц различен;
Фоновые воздушные нагрузки различаются;
Конструкции оборудования и пути воздушного потока различны;
Позволяет изменять уровни частиц и возможности обнаружения;
Сопротивление системы и запас вентилятора разные.
Если вам все еще неясна разница между номинальным пространством и эффективностью фильтра, вы можете прочитать В чем разница между уровнем чистоты и эффективностью фильтрации? Прежде всего, разграничите эти два понятия. Уровень чистоты также должен указывать измеренный размер частиц. По конкретным причинам см. Почему в классе чистоты обязательно указывается размер частиц?。
При использовании ULPA первым делом необходимо определить, к какому размеру частиц продукт наиболее чувствителен. Когда ISO 5 сравнивается на основе концентрации частиц не менее 0,5 мкм, этого можно достичь с помощью подходящего решения HEPA в сочетании с герметизацией и воздушным потоком; но если процесс чувствителен к более мелким частицам или предъявляет особые требования к поверхности, контрольные показатели необходимо перечислить отдельно, прежде чем определять, требуется ли ULPA.
Для получения конкретного решения, пожалуйста, обратитесь к Как HEPA и ULPA соответствуют целям обеспечения чистоты? Сначала подтвердите чувствительный размер частиц и допустимый уровень, а затем уменьшите его до определенного класса. Чтобы выбрать между H13, H14 и U15, см. Как выбрать между H13, H14 и U15? , требования к эффективности и условия сопротивления трех уровней различны.
Если критические процессы действительно более чувствительны к мельчайшим частицам, необходимо подтвердить дополнительные индикаторы контроля и возможности обнаружения, а также сравнить конфигурации HEPA и ULPA. Вы не можете судить только по названию отрасли или привычкам, а также не можете игнорировать проверку утечек при установке.
Вещи, которые необходимо подтвердить, включают в себя:
Уровень частиц, допустимый на поверхности продукта;
Может ли прибор обнаружения охватить целевой размер частиц;
Соответствует ли размер тестовых частиц в отчете об эффективности фильтра;
Стабильна ли фоновая нагрузка;
Есть ли источники пыли внутри оборудования?
Как читать отчет об эффективности фильтра, можно найти в Как прочитать размер тестовых частиц в отчете об эффективности фильтра? , чтобы избежать прямого сравнения данных разного калибра.
Для одного и того же уровня ISO 5 фоновая нагрузка разная, и схема фильтрации может быть разной. Если концентрация фоновых частиц в воздухе высока или внутри оборудования постоянно образуется пыль, может потребоваться фильтр более высокой эффективности или более полная герметизация; если фоновая нагрузка низкая и время воздействия продукта короткое, подходящее решение HEPA также может соответствовать требованиям.
Архитектура устройства также влияет на выбор фильтрации. Путь воздушного потока, положение открытия и соотношение выхлопных газов в закрытой полости оборудования различны, и ULPA — не единственное решение. Подробную информацию см. Как спланировать подачу чистого воздуха в закрытые полости оборудования? Сначала проверьте границу защиты и путь воздушного потока, а затем определите уровень фильтрации.
Фильтры с более высокой эффективностью обычно имеют более высокое сопротивление. Если после переключения на ULPA рабочая точка вентилятора остается неизменной, фактический объем воздуха может уменьшиться, что приведет к недостаточной конечной скорости ветра. В это время, даже если эффективность фильтрующего материала повысится, защита рабочей станции может ухудшиться.
При выборе следует проверить:
Начальное и конечное сопротивление ULPA при целевом объеме воздуха;
Рабочая точка вентилятора при соответствующем сопротивлении;
Находятся ли входная мощность и шум всей машины в допустимом диапазоне;
Соответствуют ли место установки и условия обслуживания.
Пожалуйста, обратитесь к методу чтения рабочей точки Почему при выборе FFU нам следует смотреть на полную кривую производительности? , тестовая конфигурация номинального объема воздуха может относиться к Проверяется ли номинальный объем воздуха FFU с фильтром? . Если площадь фильтра недостаточна, вентилятору может потребоваться более высокое давление для поддержания потока. Подробную информацию см. Как недостаточная площадь фильтра влияет на выбор вентилятора?。
Если высокоэффективный фильтр неправильно установлен и герметичен, утечка из байпаса приведет к попаданию нефильтрованного воздуха на чистую сторону. В настоящее время модернизация ULPA не может принести ожидаемых результатов. После установки следует проверить уплотнение рамы, место установки и условия обнаружения утечек.
Если на объекте присутствуют аномальные частицы, но эффективность фильтра приемлема, приоритет следует отдать проверке герметичного байпаса и короткого замыкания воздушного потока. Можно ссылаться Обязательно ли повышение эффективности фильтрации приводит к повышению рейтинга сайта? и Какие проблемы с частицами могут вызвать короткие замыкания воздушного потока?。
Начальное сопротивление ULPA обычно выше, чем у HEPA того же размера, а окончательное сопротивление также следует оценивать на основе требований проекта. Окончательное сопротивление – не единственный критерий жизни. Также необходимо учитывать повреждения, влажность, технологические риски и фактическую мощность подачи воздуха. Подробную информацию см. Каковы начальное и конечное сопротивление, используемые для оценки?。
Независимо от того, выберете ли вы HEPA или ULPA, в конечном итоге это должно быть подтверждено посредством проверки на месте. Проверка должна включать:
Установка фильтров, герметизация и обнаружение утечек;
Скорость ветра и направление воздушного потока в ключевых точках;
Обнаружение частиц с заданным размером частиц и местом отбора проб;
Динамическая проверка в реальных условиях эксплуатации;
Записи времени восстановления исключений.
Расположение точек отбора проб должно охватывать фактическое место воздействия продукта, а не прямо под выпускным отверстием для подачи воздуха. Соответствующие методы можно найти в Почему нельзя расположить точку отбора проб прямо под отверстием подачи воздуха?。
ISO 5 также написан в обычной фоновой области и внутри прецизионного оборудования, но размеры чувствительных к процессу частиц различаются, а выбор фильтра может быть другим, и технические условия должны формироваться отдельно.
Точка воздействия пластины внутри определенного оборудования чувствительна к мельчайшим частицам, поэтому используется ULPA и проверяется рабочая точка вентилятора; в фоновом помещении используется H14 с уплотнением и организацией воздушного потока в соответствии с требованиями ISO 5. Эти две области проверяются отдельно и не применяются друг к другу.
Другой проект был напрямую настроен в соответствии с унифицированной конфигурацией «100-уровня ULPA», и после установки скорость ветра на терминале снизилась. Метод настройки: сохраните ULPA в ключевых областях и увеличьте мощность вентилятора, а в фоновых областях используйте H14. После регулировки сопротивление системы можно контролировать, и ключевые участки соответствуют требованиям.
Эти две ситуации показывают, что вопрос о том, следует ли использовать ULPA для проектов уровня ISO 5, необходимо всесторонне оценивать на основе размера частиц процесса, фоновой нагрузки, сопротивления системы и требований проверки.
Проверить элементы |
Подтвердите ключевые моменты |
|---|---|
мишень для частиц |
Определите чувствительные размеры частиц |
Условия проекта |
Проверьте фоновую загрузку |
Схема фильтрации |
Сравнение эффективности и сопротивления |
Приемка на месте |
Подтвердите фактические результаты концентрации |
Установить уплотнение |
Проверьте границы и интерфейсы |
рабочая точка |
Проверьте объем воздуха и статическое давление с помощью фильтра. |
Объем приемки |
Различают локальную и целую комнату |
Следует ли принимать проект уровня ISO 5 в ULPA не только по названию уровня. Aili Industrial также занимается воздушными фильтрами, вентиляторами, двигателями, системами управления и полной сборкой машин. Он может проверять чувствительный к процессу размер частиц, фоновую нагрузку, эффективность фильтра, начальное и конечное сопротивление, а также все рабочие точки машины в одной и той же конфигурации, чтобы определить, достаточны ли герметичность HEPA и организация воздушного потока или необходимо частично использовать ULPA и соответствующим образом отрегулировать мощность вентилятора. Конкретные параметры фильтра можно просмотреть Фильтры HEPA и ULPA , полный комплект машины можно просмотреть Продукты FFU для обеспечения чистого воздуха и Блок фильтра вентилятора со стороны оборудования EFU。