ULPA có bắt buộc đối với các dự án ISO cấp 5 không?

Khi lựa chọn bộ lọc cho các dự án ISO Class 5, thường có một nhận định mặc định: ULPA phải được sử dụng cho các bộ lọc Class 100. Tuyên bố này là không chính xác. ISO 5 mô tả nồng độ hạt không khí trong một khu vực xác định, kích thước hạt xác định và trạng thái chiếm giữ. Nó không chỉ định trực tiếp vật liệu lọc hoặc mức hiệu quả nhất định. Việc có sử dụng ULPA hay không tùy thuộc vào kích thước hạt nhạy cảm với quy trình, tải trọng nền, cấu trúc thiết bị, điện trở hệ thống và các yêu cầu xác minh.

Nếu ULPA chỉ được quy định theo tên cấp thì có thể xảy ra hai vấn đề: kích thước hạt nhạy cảm của sản phẩm không yêu cầu cấp cao như vậy nhưng quạt không thể di chuyển do lực cản tăng; hoặc các hạt nhỏ thực sự cần được kiểm soát tại các vị trí quan trọng không được xác định riêng lẻ và chỉ nâng cấp bộ lọc cũng không giải quyết được vấn đề. Phần sau đây bắt đầu với các bước xác định phân loại, yêu cầu quy trình, khớp hệ thống và xác minh tại chỗ.

Phân loại ISO không phải là danh sách các mô hình bộ lọc

Phân loại độ sạch không khí theo tiêu chuẩn ISO mô tả nồng độ hạt trong một khu vực và không tương ứng trực tiếp với một kiểu bộ lọc nhất định. Đối với cùng mức ISO 5, các giải pháp lọc khác nhau có thể được sử dụng trong các dự án khác nhau. Lý do là:

• Quy trình kích thước hạt nhạy cảm là khác nhau;

• Tải không khí nền khác nhau;

• Cấu trúc thiết bị và đường dẫn luồng khí khác nhau;

• Cho phép thay đổi mức độ hạt và khả năng phát hiện;

• Điện trở hệ thống và biên độ quạt là khác nhau.

Nếu bạn vẫn chưa rõ về sự khác biệt giữa xếp hạng không gian và hiệu quả lọc, bạn có thể đọc Sự khác biệt giữa mức độ sạch và hiệu quả lọc là gì? Đầu tiên hãy phân biệt hai khái niệm này. Mức độ sạch cũng phải cho biết kích thước hạt đo được. Vì lý do cụ thể, vui lòng tham khảo Tại sao kích thước hạt phải được chỉ định trong cấp độ sạch?。

Đầu tiên xác nhận kích thước hạt nhạy cảm với quá trình

Có nên sử dụng ULPA hay không, bước đầu tiên là xác nhận kích thước hạt nào mà sản phẩm nhạy cảm nhất. Khi so sánh ISO 5 dựa trên nồng độ các hạt không nhỏ hơn 0,5μm, có thể đạt được tiêu chuẩn này bằng giải pháp HEPA phù hợp kết hợp với đệm kín và luồng không khí; nhưng nếu quy trình nhạy cảm với các hạt nhỏ hơn hoặc có yêu cầu bề mặt đặc biệt thì các chỉ số kiểm soát cần được liệt kê riêng trước khi xác định xem có cần ULPA hay không.

Để có phán đoán cụ thể, vui lòng tham khảo HEPA và ULPA phù hợp với mục tiêu sạch sẽ như thế nào? , trước tiên hãy xác nhận kích thước hạt nhạy cảm và mức độ cho phép, sau đó chuyển sang cấp cụ thể. Để lựa chọn giữa H13, H14 và U15, vui lòng tham khảo Làm thế nào để chọn giữa H13, H14 và U15? , yêu cầu về hiệu quả và điều kiện kháng cự của ba cấp độ là khác nhau.

Giải quyết nhu cầu nâng cấp đối với các rủi ro cụ thể

Nếu các quy trình quan trọng thực sự nhạy cảm hơn với các hạt nhỏ, thì cần xác nhận các chỉ số kiểm soát và khả năng phát hiện bổ sung, đồng thời nên so sánh cấu hình HEPA và ULPA. Bạn không thể đánh giá chỉ dựa trên tên hoặc thói quen của ngành cũng như không thể bỏ qua việc xác minh rò rỉ trong quá trình lắp đặt.

Những điều cần được xác nhận bao gồm:

• Mức độ hạt cho phép trên bề mặt sản phẩm;

• Liệu thiết bị phát hiện có thể bao phủ kích thước hạt mục tiêu hay không;

• Kích thước hạt thử nghiệm trong báo cáo hiệu suất bộ lọc có tương ứng hay không;

• Tải nền có ổn định hay không;

• Có nguồn bụi nào bên trong thiết bị không?

Cách đọc báo cáo hiệu quả của bộ lọc có thể được tìm thấy trong Làm cách nào để đọc kích thước hạt thử nghiệm trong báo cáo hiệu quả của bộ lọc? , để tránh so sánh trực tiếp dữ liệu của các cỡ nòng khác nhau.

Kế hoạch tác động của tải nền và kết cấu thiết bị

Đối với cùng một mức ISO 5, tải nền sẽ khác nhau và sơ đồ lọc có thể khác nhau. Nếu nồng độ hạt không khí nền cao hoặc bụi vẫn tiếp tục phát sinh bên trong thiết bị thì có thể cần bộ lọc hiệu suất cao hơn hoặc vòng đệm hoàn chỉnh hơn; nếu tải nền thấp và thời gian tiếp xúc với sản phẩm ngắn thì giải pháp HEPA phù hợp cũng có thể đáp ứng yêu cầu.

Cấu trúc thiết bị cũng ảnh hưởng đến các lựa chọn lọc. Đường dẫn luồng khí, vị trí mở và mối quan hệ xả trong khoang thiết bị kín là khác nhau và ULPA không phải là giải pháp duy nhất. Để biết chi tiết, vui lòng tham khảo Lập kế hoạch cung cấp không khí sạch cho các khoang thiết bị kín như thế nào? , trước tiên hãy xác nhận ranh giới bảo vệ và đường dẫn luồng không khí, sau đó xác định mức lọc.

Kiểm tra điểm làm việc của toàn bộ máy sau khi thay thế ULPA

Bộ lọc hiệu quả cao hơn có xu hướng có điện trở cao hơn. Sau khi chuyển sang ULPA, nếu điểm vận hành của quạt không thay đổi thì lượng không khí thực tế có thể giảm, dẫn đến tốc độ gió cuối cùng không đủ. Tại thời điểm này, ngay cả khi hiệu quả của vật liệu lọc được cải thiện, khả năng bảo vệ máy trạm có thể trở nên kém hơn.

Khi lựa chọn, bạn nên kiểm tra:

• Sức cản ban đầu và sức cản cuối cùng của ULPA ở thể tích không khí mục tiêu;

• Điểm làm việc của quạt dưới điện trở tương ứng;

• Liệu công suất đầu vào và độ ồn của toàn bộ máy có còn nằm trong phạm vi cho phép hay không;

• Liệu không gian lắp đặt và điều kiện bảo trì có phù hợp hay không.

Vui lòng tham khảo phương pháp đọc điểm làm việc Tại sao chúng ta nên xem xét đường cong hiệu suất hoàn chỉnh khi chọn FFU? , cấu hình thử nghiệm của thể tích không khí danh nghĩa có thể tham khảo Thể tích không khí danh nghĩa của FFU có được kiểm tra bằng bộ lọc không? . Nếu diện tích bộ lọc không đủ, quạt có thể cần áp suất cao hơn để duy trì dòng chảy. Để biết chi tiết, vui lòng tham khảo Diện tích bộ lọc không đủ ảnh hưởng đến việc lựa chọn quạt như thế nào?。

Không thể bỏ qua việc phát hiện rò rỉ niêm phong và lắp đặt

Nếu bộ lọc hiệu suất cao không được lắp đặt và bịt kín đúng cách, hiện tượng rò rỉ đường vòng sẽ khiến không khí chưa được lọc đi vào phía sạch. Tại thời điểm này, việc nâng cấp ULPA không thể đạt được kết quả như mong đợi. Sau khi lắp đặt, cần kiểm tra độ kín của khung, giao diện lắp đặt và các điều kiện phát hiện rò rỉ.

Nếu có các hạt bất thường tại chỗ nhưng hiệu quả của bộ lọc ở mức chấp nhận được, cần ưu tiên kiểm tra đường vòng kín và đoản mạch luồng khí. Có thể tham khảo Hiệu quả lọc cao hơn có nhất thiết dẫn đến xếp hạng trang web được cải thiện không? Và Dòng khí ngắn mạch có thể gây ra vấn đề gì về hạt?。

Lực cản ban đầu và lực cản cuối cùng được sử dụng cho các phán đoán khác nhau

Điện trở ban đầu của ULPA thường cao hơn HEPA có cùng kích thước và điện trở cuối cùng cũng phải được đánh giá dựa trên yêu cầu của dự án. Sự kháng cự cuối cùng không phải là tiêu chí duy nhất của cuộc sống. Thiệt hại, độ ẩm, rủi ro trong quá trình và khả năng cung cấp không khí thực tế cũng phải được xem xét. Để biết chi tiết, vui lòng tham khảo Lực cản ban đầu và lực cản cuối cùng dùng để phán đoán là gì?。

Xác minh tại chỗ là phán quyết cuối cùng

Bất kể bạn chọn HEPA hay ULPA, cuối cùng điều đó phải được xác nhận thông qua xác minh tại chỗ. Việc xác minh phải bao gồm:

• Lắp đặt bộ lọc, niêm phong và phát hiện rò rỉ;

• Tốc độ gió và hướng gió tại các vị trí trọng điểm;

• Phát hiện hạt với kích thước hạt và vị trí lấy mẫu được chỉ định;

• Xác minh động trong điều kiện vận hành thực tế;

• Bản ghi thời gian phục hồi ngoại lệ.

Bố trí điểm lấy mẫu phải bao phủ vị trí tiếp xúc thực tế của sản phẩm, thay vì chỉ ở dưới cửa cấp khí. Các phương pháp liên quan có thể được tìm thấy trong Tại sao điểm lấy mẫu không thể được đặt ngay bên dưới cửa cấp khí?。

Đánh giá kịch bản: các kế hoạch dự án khác nhau có thể khác nhau

ISO 5 cũng được viết ở vùng nền thông thường và bên trong thiết bị chính xác, nhưng kích thước hạt nhạy cảm với quá trình là khác nhau và việc lựa chọn bộ lọc có thể khác nhau và các điều kiện kỹ thuật phải được hình thành riêng.

Điểm tiếp xúc với tấm bán dẫn bên trong một thiết bị nhất định rất nhạy cảm với các hạt nhỏ, do đó ULPA được sử dụng và điểm làm việc của quạt được kiểm tra; phòng nền sử dụng H14 với khả năng bịt kín và tổ chức luồng khí đáp ứng yêu cầu ISO 5. Hai lĩnh vực này được xác minh riêng biệt và không áp dụng cho nhau.

Một dự án khác được cấu hình trực tiếp theo cấu hình thống nhất '100 cấp ULPA' và tốc độ gió đầu cuối giảm xuống sau khi lắp đặt. Phương pháp điều chỉnh: giữ lại ULPA ở những vùng trọng điểm và tăng công suất quạt, đồng thời sử dụng H14 ở những vùng nền. Sau khi điều chỉnh, điện trở của hệ thống có thể kiểm soát được và các vùng trọng điểm đáp ứng yêu cầu.

Hai tình huống này minh họa rằng việc có sử dụng ULPA cho các dự án ISO Cấp 5 hay không phải được đánh giá toàn diện dựa trên kích thước hạt của quy trình, tải nền, độ bền của hệ thống và các yêu cầu xác minh.

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Hỗ trợ hỗ trợ thiết bị công nghiệp Aili

Việc một dự án ISO Cấp độ 5 có được chấp nhận vào ULPA hay không không chỉ nên nhìn vào tên cấp độ. Aili Industrial cũng xử lý các bộ lọc không khí, quạt, động cơ, hệ thống điều khiển và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Nó có thể kiểm tra kích thước hạt nhạy cảm với quy trình, tải nền, hiệu suất lọc, điện trở ban đầu và cuối cùng cũng như các điểm làm việc của máy hoàn chỉnh trong cùng một cấu hình để giúp xác định xem tổ chức luồng khí và đệm kín HEPA có đủ hay không hoặc liệu có cần áp dụng một phần ULPA và điều chỉnh công suất quạt cho phù hợp hay không. Có thể xem thông số bộ lọc cụ thể Bộ lọc HEPA và ULPA , có thể xem gói máy hoàn chỉnh Sản phẩm cung cấp không khí sạch FFU và Bộ lọc quạt phía thiết bị EFU。