Les zones de stockage FOUP doivent évaluer la contamination moléculaire en fonction des exigences spécifiques des plaquettes, des conteneurs et des équipements, en prêtant attention aux apports externes, aux dégazages de matériaux et aux processus de fonctionnement. Le fait que les particules ambiantes soient qualifiées ou qu'il n'y ait pas d'odeur particulière ne peut pas se substituer à l'analyse des gaz correspondante. L'intérieur du FOUP est un micro-environnement et les données présentes dans la pièce ne peuvent pas le représenter.

Indiquez d’abord clairement quelle frontière aérienne est évaluée.

L'évaluation de la contamination moléculaire dans les zones de stockage FOUP est sujette à des ambiguïtés aux limites. L’air ambiant, l’air à l’intérieur de l’armoire de stockage et l’air à l’intérieur de la boîte FOUP sont trois ensembles de conditions différents. La propreté qualifiée des particules de la pièce ne peut indiquer que le niveau de particules dans la pièce ; Le fait que la boîte FOUP soit affectée par une contamination moléculaire dépend de l'état d'étanchéité de la boîte, de l'opération d'ouverture de la boîte, de la circulation dans l'armoire et du temps de séjour de la plaquette elle-même. Avant l'évaluation, il doit être clair si l'objet de protection est la surface de la plaquette, l'environnement à l'intérieur du boîtier ou l'air dans l'armoire, puis décider du point de détection. Concernant les différences entre le microenvironnement et les conditions ambiantes, veuillez vous référer àComment empêcher la contamination gazeuse de pénétrer dans la zone de transfert des tranches ?。

L'entrée externe et le dégazage interne doivent être vérifiés séparément.

Les sources de contamination moléculaire dans la zone de stockage FOUP peuvent être grossièrement divisées en deux catégories : les apports externes et les dégazages internes. Les apports externes comprennent les gaz acides et alcalins dans les zones de traitement adjacentes, les substances volatiles dans la zone de nettoyage et l'air introduit par l'ouverture des portes et des canaux logistiques ; le dégazage interne provient du matériau du corps FOUP, du revêtement de la boîte à plaquettes, des joints de l'armoire de stockage et des résidus de nettoyage. Les positions de contrôle des deux types de sources sont différentes : l'entrée externe repose sur la différence de pression dans la zone de la porte, le tampon et la filtration d'entrée, et l'évacuation de l'air interne repose sur la filtration de circulation dans l'armoire et la gestion des matériaux. Sans distinguer la source, il est facile de changer fréquemment l'élément filtrant de circulation dans l'armoire, mais cela ne peut toujours pas résoudre le problème d'entrée au moment de l'ouverture de la porte.

L'objet d'évaluation doit suivre le processus de la plaquette

Différents nœuds de processus et produits ont différents objets sensibles à la contamination moléculaire, et une liste générale ne peut pas couvrir toutes les zones de stockage FOUP. Les domaines liés à la lithographie peuvent être plus préoccupés par les gaz alcalins, les procédés humides peuvent être préoccupés par les composants acides et les couches métalliques ou les matériaux spéciaux peuvent également être sensibles aux composants organiques et aux siloxanes. Lors de l'évaluation, les étapes du processus, les matériaux de plaquette et les exigences en matière d'équipement du service de zone de stockage doivent être combinés pour répertorier les objets gazeux clés, plutôt que de simplement mesurer un total de COVT. Pour les méthodes impliquant la détermination de cibles sensibles aux gaz alcalins, veuillez vous référer àComment déterminer l’objectif de filtration lorsque la résine photosensible est sensible aux gaz alcalins ?。

Les points de détection et les périodes doivent couvrir les opérations réelles

Le niveau de contamination dans la zone de stockage FOUP fluctue en fonction de l'ouverture des portes, des opérations d'accès et de nettoyage, et les données de base statiques ne suffisent pas à expliquer le problème. Les points de détection doivent couvrir l'intérieur de l'armoire, la porte de l'armoire et les zones adjacentes, et la période de temps doit couvrir différents états tels que l'ouverture de la porte pour l'accès, le stockage après le nettoyage et le repos à long terme. Si vous échantillonnez uniquement lorsque personne ne travaille, vous risquez de manquer les valeurs maximales à court terme ; si vous mesurez uniquement l'air dans l'armoire sans regarder à l'intérieur du boîtier FOUP, vous risquez de sous-estimer les conditions de contact réelles de la plaquette. La méthode d'échantillonnage doit également correspondre au gaz cible et ne peut pas être déduite du seul nombre d'odeurs ou de particules. Pour la disposition des périodes d’échantillonnage, veuillez vous référer àIl n'y a une odeur particulière que lorsque la machine est allumée. A quelle heure faut-il mesurer le gaz ?。

Équipement de support industriel Aili

Pour les projets de micro-environnement tels que le stockage FOUP, nous confirmons généralement avec le client si la limite de protection est l'air dans l'armoire ou l'environnement dans la boîte, puis déterminons si la section filtrante doit être placée dans la position de circulation, d'entrée ou d'alimentation en air locale de l'armoire. Aili Industry peut fournir des packages de sélection pour les produits de filtration chimique de type boîte, plaque plate et type V. Pour les packages MAU de type boîte, veuillez vous référer àFiltre chimique de type boîte MAU , la série de produits peut être consultéeGamme de produits de filtres chimiques . Les applications côté équipement peuvent adopter la forme de filtration chimique FFU, intégrant une couche d'adsorption chimique et une filtration de particules HEPA/ULPA. La structure chimique d’abord particulaire convient aux micro-environnements qui nécessitent un contrôle AMC. L'élément filtrant compact peut être adapté de manière non standard en fonction de l'espace de l'armoire et du volume d'air en circulation. La structure en forme de V offre une grande zone de filtration dans un espace limité, aidant à contrôler la vitesse et la résistance de la surface. L'extrémité fabrication couvre les moteurs, les ventilateurs, les systèmes de contrôle, la tôle et l'assemblage complet de la machine. Les interfaces entre la section filtre et le ventilateur de circulation de l'armoire peuvent être alignées dans le même emballage. L'effet spécifique du gaz, l'environnement applicable et le cycle de remplacement doivent encore être vérifiés sur la base des données de configuration correspondantes et des conditions de travail sur site. Les résultats réels sont soumis aux résultats de la détection des fuites et des gaz sur site.

Questions et réponses connexes

Si les particules présentes dans la pièce sont qualifiées, la boîte FOUP doit-elle quand même être évaluée pour la contamination moléculaire ?
besoin. La pollution particulaire et moléculaire sont deux indicateurs différents. La présence de particules qualifiées dans la pièce ne signifie pas que le gaz présent dans la boîte répond aux exigences des plaquettes. L'étanchéité du microenvironnement à l'intérieur de la boîte et le dégazage du matériau doivent être évalués individuellement.

Sur quels gaz la zone de stockage FOUP se concentrera-t-elle sur l’évaluation ?
En fonction de l'étape du processus et du matériau de la plaquette utilisé, les domaines de préoccupation courants incluent les gaz alcalins, les gaz acides et les composants organiques. Les objets clés doivent être répertoriés en conjonction avec les exigences du processus plutôt que de simplement mesurer le montant total.

Aili Industrial peut-il vous aider à filtrer et à sélectionner les zones de stockage FOUP ?
L'emplacement de la section filtrante et la forme du produit peuvent être vérifiés en fonction de la structure de l'armoire de stockage, du volume d'air en circulation et du gaz cible, et l'espace compact peut être adapté de manière non standard. La configuration spécifique doit être confirmée en fonction des informations sur le produit et des conditions du site.

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