يجب أن تقوم مناطق تخزين FOUP بتقييم التلوث الجزيئي وفقًا للمتطلبات المحددة للرقائق والحاويات والمعدات، مع الاهتمام بالمدخلات الخارجية وإطلاق الغازات المادية وعمليات التشغيل. حقيقة أن جزيئات الغرفة مؤهلة أو أنه لا توجد رائحة غريبة لا يمكن استخدامها كبديل للتحقيق في الغاز ذي الصلة. الجزء الداخلي من FOUP عبارة عن بيئة صغيرة، ولا يمكن للبيانات الموجودة في الغرفة أن تمثلها.

قم أولاً بتوضيح الحدود الجوية التي يتم تقييمها

إن تقييم التلوث الجزيئي في مناطق تخزين FOUP عرضة للغموض عند الحدود. هواء الغرفة، والهواء داخل خزانة التخزين، والهواء داخل صندوق FOUP هي ثلاث مجموعات مختلفة من الظروف. يمكن لنظافة الجسيمات المؤهلة للغرفة أن تشير فقط إلى مستوى الجسيمات في الغرفة؛ يعتمد ما إذا كان صندوق FOUP يتأثر بالتلوث الجزيئي على حالة إغلاق الصندوق، وعملية فتح الصندوق، والتداول في الخزانة، ووقت بقاء الرقاقة نفسها. قبل التقييم، يجب أن يكون واضحًا ما إذا كان كائن الحماية هو سطح الرقاقة، أو البيئة داخل الصندوق، أو الهواء الموجود في الخزانة، ثم تحديد نقطة الكشف. فيما يتعلق بالاختلافات بين البيئة الدقيقة وظروف الغرفة، يرجى الرجوع إلىكيف ينبغي منع التلوث الغازي من العبور إلى منطقة نقل الرقاقات؟。

يجب فحص المدخلات الخارجية وإطلاق الغازات الداخلية بشكل منفصل.

يمكن تقسيم مصادر التلوث الجزيئي في منطقة تخزين FOUP تقريبًا إلى فئتين: المدخلات الخارجية وإطلاق الغازات الداخلية. وتشمل المدخلات الخارجية الغازات الحمضية والقلوية في مناطق العمليات المجاورة، والمواد المتطايرة في منطقة التنظيف، والهواء الداخل عن طريق فتح الأبواب والقنوات اللوجستية؛ يأتي إطلاق الغازات الداخلي من مادة جسم FOUP، وبطانة صندوق الرقاقة، وأختام خزانة التخزين، وبقايا التنظيف. تختلف مواضع التحكم في هذين النوعين من المصادر: يعتمد الإدخال الخارجي على اختلاف ضغط منطقة الباب، والتخزين المؤقت وترشيح المدخل، ويعتمد إطلاق الهواء الداخلي على ترشيح التدوير داخل الخزانة وإدارة المواد. بدون تمييز المصدر، من السهل تغيير عنصر مرشح التدوير في الخزانة بشكل متكرر، لكنه لا يزال غير قادر على حل مشكلة الإدخال في لحظة فتح الباب.

يجب أن يتبع كائن التقييم عملية الرقاقة

تتميز عقد العمليات والمنتجات المختلفة بحساسية مختلفة للتلوث الجزيئي، ولا يمكن للقائمة العامة أن تغطي جميع مناطق تخزين FOUP. قد تكون المناطق المرتبطة بالطباعة الحجرية أكثر اهتمامًا بالغازات القلوية، وقد تكون العمليات الرطبة مهتمة بالمكونات الحمضية، وقد تكون الطبقات المعدنية أو المواد الخاصة أيضًا حساسة للمكونات العضوية والسيلوكسانات. عند التقييم، يجب دمج خطوات العملية والمواد الرقائقية ومتطلبات المعدات الخاصة بخدمة منطقة التخزين لسرد كائنات الغاز الرئيسية، بدلاً من مجرد قياس إجمالي TVOC. للتعرف على الطرق التي تتضمن تحديد الأهداف الحساسة للغاز القلوي، يرجى الرجوع إلىكيف ينبغي تحديد هدف الترشيح عندما يكون مقاوم الضوء حساسًا للغازات القلوية؟。

يجب أن تغطي نقاط الكشف والفترات الزمنية العمليات الفعلية

يتقلب مستوى التلوث في منطقة تخزين FOUP مع عمليات فتح الباب والوصول والتنظيف، ولا تكفي بيانات الخلفية الثابتة لشرح المشكلة. يجب أن تغطي نقاط الكشف الجزء الداخلي للخزانة، وباب الخزانة والمناطق المجاورة، ويجب أن تغطي الفترة الزمنية الحالات المختلفة مثل فتح الباب للوصول، والتخزين بعد التنظيف، والراحة طويلة الأمد. إذا قمت بأخذ العينة فقط عندما لا يكون هناك أحد يعمل، فقد تفوت قيم الذروة قصيرة المدى؛ إذا قمت بقياس الهواء الموجود في الخزانة فقط دون النظر داخل صندوق FOUP، فقد تقلل من تقدير ظروف التلامس الفعلية للرقاقة. ويجب أن تتوافق طريقة أخذ العينات أيضًا مع الغاز المستهدف ولا يمكن استنتاجها من عدد الروائح أو الجسيمات وحدها. لترتيب فترات أخذ العينات، يرجى الرجوع إلىهناك رائحة غريبة فقط عند تشغيل الجهاز. في أي وقت يجب قياس الغاز؟。

Aili معدات الدعم الصناعي

بالنسبة لمشاريع البيئة الدقيقة مثل تخزين FOUP، فإننا عادةً ما نؤكد مع العميل ما إذا كانت حدود الحماية هي الهواء الموجود في الخزانة أو البيئة الموجودة في الصندوق، ثم نحدد ما إذا كان يجب وضع قسم الفلتر في دوران الخزانة أو المدخل أو موضع إمداد الهواء المحلي. يمكن لشركة Aili Industry توفير حزم اختيار لمنتجات الترشيح الكيميائي من النوع الصندوقي واللوح المسطح والنوع V. للحصول على حزم MAU من النوع الصندوقي، يرجى الرجوع إلىمرشح كيميائي من نوع صندوق MAU ، يمكن الاطلاع على سلسلة المنتجاتمجموعة منتجات الفلتر الكيميائي . يمكن للتطبيقات من جانب المعدات أن تعتمد شكل الترشيح الكيميائي FFU، الذي يدمج طبقة الامتزاز الكيميائي وترشيح جسيمات HEPA/ULPA. يعتبر هيكل الجسيمات الكيميائية الأولى مناسبًا للبيئات الدقيقة التي تتطلب التحكم في AMC. يمكن تكييف عنصر الفلتر المدمج بشكل غير قياسي وفقًا لمساحة الخزانة وحجم الهواء المتداول. يوفر الهيكل على شكل حرف V منطقة ترشيح كبيرة في مساحة محدودة، مما يساعد على التحكم في سرعة السطح ومقاومته. تغطي نهاية التصنيع المحركات والمراوح وأنظمة التحكم والصفائح المعدنية وتجميع الماكينة بالكامل. يمكن محاذاة الواجهات بين قسم المرشح ومروحة دوران الخزانة في نفس مجموعة الحزم. لا يزال يتعين التحقق من تأثير الغاز المحدد والبيئة القابلة للتطبيق ودورة الاستبدال بناءً على بيانات التكوين المقابلة وظروف العمل في الموقع. تخضع النتائج الفعلية لنتائج الكشف عن التسرب والكشف عن الغاز في الموقع.

الأسئلة والأجوبة ذات الصلة

إذا كانت الجزيئات الموجودة في الغرفة مؤهلة، فهل لا تزال بحاجة إلى تقييم التلوث الجزيئي في صندوق FOUP؟
يحتاج. التلوث الجزيئي والجزيئي مؤشران مختلفان. الجسيمات المؤهلة في الغرفة لا تعني أن الغاز الموجود في الصندوق يلبي متطلبات الرقاقة. يجب تقييم ضيق البيئة الدقيقة داخل الصندوق وإطلاق الغازات المادية بشكل فردي.

ما هي الغازات التي ستركز منطقة تخزين FOUP على تقييمها؟
اعتمادًا على خطوة العملية ومواد الرقاقة التي يتم تقديمها، تشمل مجالات الاهتمام الشائعة الغازات القلوية والغازات الحمضية والمكونات العضوية. يجب إدراج العناصر الرئيسية جنبًا إلى جنب مع متطلبات العملية بدلاً من مجرد قياس المبلغ الإجمالي.

هل يمكن لشركة Aili Industrial المساعدة في تصفية واختيار مناطق تخزين FOUP؟
يمكن فحص موضع قسم المرشح وشكل المنتج على أساس هيكل خزانة التخزين وحجم الهواء المتداول والغاز المستهدف، ويمكن تكييف المساحة المدمجة بطريقة غير قياسية. يجب تأكيد التكوين المحدد بناءً على معلومات المنتج وظروف الموقع.

مقالات ذات صلة

• كيفية اختيار المرشحات الكيميائية لخزانات تخزين الويفر؟

• هل يمكن التحكم في إطلاق الغازات المتبقية بعد تنظيف شريط الرقاقة عن طريق الترشيح البيئي؟

• هل تتطلب بيئة تخزين القناع ترشيحًا كيميائيًا؟

• كيف يتوافق الترشيح الكيميائي لمدخل الهواء EFEM مع متطلبات نظافة المعدات؟

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول