كيف ينبغي منع التلوث الغازي من العبور إلى منطقة نقل الرقاقات؟

لتقليل دخول التلوث الغازي إلى منطقة نقل الرقاقة، من الضروري إدارة المصدر ومنطقة الباب وتدفق هواء المعدات في نفس الوقت، ثم تكوين الترشيح الكيميائي المناسب. إن زيادة سعة وسائط الترشيح المحلية فقط لا يمكن أن تعوض جميع الحدود المفتوحة أو مسارات الهواء غير المعقولة. غالبًا ما لا تكون المشكلة في منطقة النقل هي عنصر الفلتر نفسه، ولكن من أين يأتي الهواء وأين يذهب.

قم أولاً بتحديد مسارات الإدخال للتلوث المتبادل

عادةً ما يأتي مدخل التلوث الغازي إلى منطقة نقل الرقاقة من ثلاثة اتجاهات: تسرب الهواء من مناطق المعالجة المجاورة، والإطلاقات التي تحملها FOUP أو الناقلات، وإطلاق الغازات من المواد وعمليات التشغيل داخل المعدات. تختلف طرق نشر هذه الأنواع الثلاثة من المصادر، كما تختلف مواقع التحكم المقابلة أيضًا. يرتبط التسلل إلى المناطق المجاورة في الغالب باختلاف ضغط منطقة الباب وتوقيت فتح الباب؛ يتبع الناقل مسار النقل الخاص بشريط الرقاقة؛ عندما يحدث إطلاق الغاز الداخلي للمعدات أسفل قسم المرشح، بغض النظر عن مدى قوة ترشيح المدخل، فإنه لا يمكن تغطيته. أثناء التحقيق، يجب أولاً مقارنة تغيرات التركيز في عقد النقل والمناطق المجاورة وفترات التشغيل لتأكيد المسار السائد قبل اتخاذ قرار بشأن التدابير. وفيما يتعلق بكيفية التمييز بين ما إذا كان التلوث يأتي من الخارج أم من الداخل، يرجى الرجوع إلىكيف يمكن التمييز بين ما إذا كان تلوث ورشة العمل يأتي من الخارج أم من الداخل؟。

تحدد منطقة الباب والهيكل العازل مقدار الهواء الذي سيتدفق إلى الداخل

يؤثر تردد فتح الباب واستقرار فرق الضغط وإعدادات الغرفة العازلة بين منطقة الإرسال والمناطق المجاورة بشكل مباشر على كمية الإدخال المتقاطع. إن تحديد فرق الضغط لا يعني عدم وجود تدفق عكسي فوري في ظل ظروف العمل الديناميكية. قد يتسبب تبادل تدفق الهواء في لحظة فتح الباب، والتسرب المستمر للقناة اللوجستية، وتقلبات العادم في حدوث مدخلات قصيرة المدى. تتضمن اتجاهات التحسين الشائعة ما يلي: تثبيت فرق الضغط في منطقة الباب، وإنشاء أقسام عازلة، وتحسين تسلسل فتح الباب، والحفاظ على تدفق الهواء الاتجاهي في الواجهات الرئيسية. وما تقلله هذه التدابير هو 'كمية الهواء الملوث الذي يدخل'، في حين يعالج الترشيح الكيميائي 'ما إذا كان الغاز الوارد قد تمت معالجته'. ولا يمكن للاثنين أن يحلا محل بعضهما البعض.

ينبغي وضع الترشيح الكيميائي الموضعي في أعلى الموقع المحمي الفعلي

يجب أن يغطي موضع قسم الفلتر الكيميائي مسار الهواء الفعلي الذي تمر عبره الرقاقة، بدلاً من تركيبه عند مخرج إمداد الهواء فقط. قد تكون هناك بيئات دقيقة متعددة داخل منطقة النقل: الدوران الداخلي لـ EFEM، وغرفة النقل، وموقع التخزين المؤقت، ومنفذ التحميل، ولكل منها مصادر هواء مختلفة وأشياء حماية. إذا كان قسم المرشح يتعامل فقط مع إمداد هواء الغرفة، ودخل التلوث من داخل الجهاز أو لحظة فتح الباب، فقد لا يزال اختبار المخرج يفشل في تلبية المعايير. يتمثل النهج المعقول في رسم مخطط لمسار الهواء أولاً ووضع علامة على العقد التي قد يدخل فيها التلوث، ثم تحديد ما إذا كان يجب وضع قسم المرشح عند المدخل أو حلقة الدوران أو موضع الحماية المحلية. فيما يتعلق بالمراسلات بين مدخل الهواء EFEM ومتطلبات نظافة المعدات، يرجى الرجوع إلىكيف يتوافق الترشيح الكيميائي لمدخل الهواء EFEM مع متطلبات نظافة المعدات؟。

لا يمكن لسعة مادة الفلتر أن تعوض عيوب تنظيم تدفق الهواء

عندما تكون هناك حدود مفتوحة أو تدفق هواء غير متحكم فيه، فإن زيادة عدد طبقات الوسائط أو سعتها غالبًا ما يكون لها نجاح محدود. لن تتم معالجة الهواء الموجود في القسم غير المرشح لأن عنصر المرشح يصبح أكبر، ولن يغير التلوث الوارد مساره بسبب سعة الوسائط العالية. عادةً ما يكون تسلسل التحكم في منطقة النقل هو: أولاً تقليل المدخلات غير المنضبطة (مساحة الباب، المخزن المؤقت، فرق الضغط)، ثم التأكد من مرور تدفق الهواء اللازم عبر قسم الفلتر المطابق، وأخيرًا التحقق من السعة ودورة استبدال مادة الفلتر. إذا تم عكس الترتيب، فمن السهل أن يكون هناك موقف حيث 'يتم استبدال عنصر التصفية بشكل متكرر، ولكن المشكلة تظل كما هي.' فيما يتعلق بتقسيم العمل بين الترشيح المحلي وترشيح الغرفة، يرجى الرجوع إلىهل يمكن استخدام الفلتر الكيميائي بمفرده في الغرفة؟。

Aili معدات الدعم الصناعي

بالنسبة للمشاريع مثل منطقة نقل الرقاقة، فإننا عادةً ما نرسم مسار الهواء مع العميل أولاً للتأكد مما إذا كان التلوث يأتي من منطقة الباب أو الناقل أو داخل المعدات، ومن ثم تحديد المكان الذي يجب وضع قسم المرشح فيه. إذا كان الموقع هو EFEM أو التداول المحلي في نهاية المعدات، فإن عناصر التصفية المدمجة وFFU أكثر شيوعًا؛ إذا كانت غرفة أو قسمًا عازلًا، فإن الهياكل من النوع الصندوقي أو على شكل حرف V تكون أكثر ملاءمة. يمكن لشركة Aili Industry توفير منتجات الترشيح الكيميائي المطابقة لـ FFU، والنوع الصندوقي، والنوع المسطح، والنوع V. يمكن تكييف الهيكل المدمج للمعدات مع التكوينات غير القياسية وفقًا للمساحة وحجم الهواء. إذا كان النظام الأصلي يتضمن استبدال عناصر التصفية المستوردة، فيمكن أيضًا فحصه وفقًا لحجم الواجهة ومتطلبات الوسائط. تغطي نهاية التصنيع المحركات والمراوح وأنظمة التحكم والصفائح المعدنية وتجميع الماكينة بالكامل. يمكن محاذاة الواجهات بين قسم المرشح وهيكل إمداد الهواء في نفس الحزمة. يمكن الاطلاع على المنتجاتيمكن الرجوع إلى صفحة سلسلة منتجات الفلتر الكيميائي ، ومطابقة نوع الصندوقمرشح كيميائي من نوع MAU ، يمكن الإشارة إلى التكوين المتكامل FFUصفحة الفلتر الكيميائي FFU . لا يزال يتعين التحقق من تأثير الغاز المحدد والبيئة القابلة للتطبيق ودورة الاستبدال بناءً على بيانات التكوين المقابلة وظروف العمل في الموقع. تخضع النتائج الفعلية لنتائج الكشف عن التسرب والكشف عن الغاز في الموقع.

الأسئلة والأجوبة ذات الصلة

إذا كان فرق الضغط في منطقة النقل مؤهلاً، فلماذا لا يزال هناك تقاطع للغاز؟
يدير فرق الضغط متوسط ​​اتجاه التدفق، وقد يحدث مدخلات قصيرة المدى في لحظة فتح الباب والقنوات اللوجستية وتقلبات هواء العادم. فرق الضغط المؤهل لا يعني عدم وجود تقاطع في ظل ظروف العمل الديناميكية. يجب الحكم عليه بناءً على سجلات الأحداث واكتشاف النقاط الرئيسية.

هل يكفي مجرد إضافة مرشح كيميائي إلى فتحة إمداد الهواء؟
ذلك يعتمد على المكان الذي يدخل فيه التلوث. إذا كان التلوث يأتي من داخل الجهاز أو من لحظة فتح الباب، فإن معالجة مصدر الهواء فقط قد لا تغطيه. يجب تحديد موضع قسم المرشح بناءً على مسار الهواء الفعلي.

هل يمكن لشركة Aili Industrial المساعدة في اختيار الترشيح المحلي في منطقة النقل؟
يمكن التحقق من موضع وشكل المنتج الخاص بقسم الفلتر بناءً على مسار الهواء ومساحة التثبيت والغاز المستهدف. يمكن تكييف الهيكل المدمج للمعدات بطريقة غير قياسية. يجب تأكيد التكوين المحدد بناءً على معلومات المنتج المقابلة والظروف في الموقع.

مقالات ذات صلة

• كيفية اختيار المرشحات الكيميائية لخزانات تخزين الويفر؟

• ما هي الملوثات الجزيئية التي يجب تقييمها في مناطق تخزين FOUP؟

• ما هي مصادر AMC التي يجب أن ننتبه إليها عند إمداد الهواء حول معدات الحفر؟

• هل يمكن لمنطقة المعالجة الرطبة ومنطقة الطباعة الحجرية الضوئية مشاركة تكوينات الترشيح الكيميائي؟

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول