إن إمكانية مشاركة منطقة المعالجة الرطبة ومنطقة الطباعة الحجرية الضوئية في تكوينات الترشيح الكيميائي يتطلب مقارنة غازات محددة وأشكال التلوث وأهداف الحماية. حتى لو كانت المساحة متجاورة، فقد يكون الضباب الحمضي والغاز والمكونات الحساسة في المنطقتين مختلفتين، ولا يمكن نسخ نفس مادة المرشح مباشرة. المجاورة لا تعني متطابقة. قبل مشاركة التكوينات، يجب عليك أولاً التحقق من الاختلافات بين الجانبين.

تختلف كائنات التلوث في المنطقتين بطبيعتها.

يعد الضباب الحمضي، والمحاليل القلوية المتطايرة، وتراكم القطرات أمرًا شائعًا في منطقة العملية الرطبة، وتمثل القطرات نسبة معينة من أشكال التلوث؛ تولي منطقة الطباعة الحجرية الضوئية مزيدًا من الاهتمام للغاز القلوي والمكونات العضوية والتلوث الجزيئي المحدد، وغالبًا ما تكون أكثر حساسية للتركيز. تختلف قوائم الغاز المستهدف ومستويات التركيز وحدود المخرج المسموح بها للمنطقتين. إذا تم استخدام نفس مجموعة تكوين الوسائط لتغطيتها، فمن السهل أن يكون هناك فائض على جانب واحد ولكن ليس كافيًا على الجانب الآخر. الخطوة الأولى في التكوين المشترك هي إدراج الغازات الرئيسية ومتطلبات الحماية للمنطقتين بشكل منفصل، ثم معرفة الأجزاء التي يمكن دمجها وأيها يجب فصلها.

تؤثر الاختلافات في أشكال التلوث على هيكل الواجهة الأمامية

يعد حمل القطرات حول المنطقة الرطبة عاملاً لا يحتاج عادةً إلى أخذه في الاعتبار عند تكوين منطقة الطباعة الحجرية. سيؤدي دخول القطرات إلى قسم المرشح الكيميائي إلى تغيير حالة الوسائط ومقاومتها. قد تكون هناك حاجة إلى حجب المياه أو إزالة الضباب أو تدابير العادم المحلية بالقرب من منطقة العملية الرطبة، في حين تولي منطقة الطباعة الحجرية الضوئية مزيدًا من الاهتمام لتكوين الغاز والتوافق النظيف. إذا كانت منطقتان تشتركان في مجموعة من هياكل التصفية، يصبح السؤال الذي يحتاج إلى توضيح فيما يتعلق بالمنطقة التي تم تصميم حماية الواجهة الأمامية وفقًا لها. إذا تم تصميمها وفقًا لظروف منطقة المعالجة الرطبة، فقد تبدو منطقة الطباعة الحجرية الضوئية زائدة عن الحاجة من الناحية الهيكلية؛ إذا تم تصميمها وفقًا لظروف منطقة الطباعة الحجرية الضوئية، فقد يتم التقليل من خطر القطرات في منطقة العملية الرطبة.

سيؤدي هواء العودة المشترك إلى انتقال العدوى عبر المناطق

إذا كانت المنطقتان تشتركان في نظام الهواء الراجع، فقد يدخل الرذاذ الحمضي أو المكونات المتطايرة من منطقة المعالجة الرطبة إلى منطقة الطباعة الحجرية الضوئية مع الهواء الراجع، مما يسبب تلوثًا عبر المنطقة. في هذه الحالة، لا يقوم تكوين الترشيح بمعالجة الهواء في المنطقة المعنية فحسب، بل يأخذ في الاعتبار أيضًا حمل الغاز المختلط وتفاعله. يحتاج النظام المشترك إلى إعداد تدابير التصفية المقابلة في القسم المختلط أو قسم الفرع، والتحقق من مواقع الحماية للمنطقتين على التوالي. إذا كان خطر النقل عبر المنطقة مرتفعًا، فقد يكون التحكم في الأقسام المنفصلة أكثر من التجميع. للحصول على أفكار حول منع ومكافحة التلوث عبر الإقليمي، يرجى الرجوع إلىكيف ينبغي منع التلوث الغازي من العبور إلى منطقة نقل الرقاقات؟。

يجب التحقق من التكوينات المشتركة بشكل منفصل

حتى إذا كانت المنطقتان تشتركان في نظام الترشيح، فيجب اختبار مواقعهما الرئيسية بشكل منفصل أثناء القبول. تركز منطقة الطريقة الرطبة على الحموضة والمؤشرات المتعلقة بالقطيرات، بينما تركز منطقة الطباعة الحجرية الضوئية على المكونات القلوية والعضوية. تختلف طرق الكشف والنقاط على كلا الجانبين. إن مجرد استيفاء النظام المشترك للمعايير في إحدى المناطق لا يعني أن المنطقة الأخرى تلبي المعايير أيضًا. أثناء التحقق، يجب تسجيل حالة العمل وظروف الاختبار لكل منطقة لتجنب استخدام القيمة المتوسطة المختلطة للتغطية على المشاكل في منطقة واحدة. فيما يتعلق بطريقة تحديد هدف الغاز القلوي، يرجى الرجوع إلىكيف ينبغي تحديد هدف الترشيح عندما يكون مقاوم الضوء حساسًا للغازات القلوية؟。

Aili معدات الدعم الصناعي

بالنسبة للمشاريع التي تشترك في تكوينات الترشيح بين منطقة المعالجة الرطبة ومنطقة الطباعة الحجرية الضوئية، نوصي عادةً بأن يقوم العملاء أولاً بإدراج قوائم الغاز وأشكال التلوث ومتطلبات الحماية للمنطقتين بشكل منفصل، ثم تحديد الأجزاء التي يمكن دمجها وأيها يحتاج إلى معالجة بشكل منفصل. يمكن لشركة Aili Industry توفير حزم اختيار لمنتجات الترشيح الكيميائي من النوع الصندوقي واللوح المسطح والنوع V. للحصول على حزم MAU من النوع الصندوقي، يرجى الرجوع إلىمرشح كيميائي من نوع صندوق MAU ، يمكن الاطلاع على سلسلة المنتجاتمجموعة منتجات الفلتر الكيميائي . يوفر الهيكل على شكل حرف V مساحة ترشيح أكبر في نفس مساحة الصندوق، ويساعد في التحكم في سرعة السطح والمقاومة الإجمالية عند تكوينه في طبقات متعددة. يمكن استخدام التطبيقات من جانب الجهازمرشح كيميائي نوع FFU ، طبقة امتصاص كيميائية متكاملة معيمكن تكوين ترشيح جسيمات مرشح HEPA/ULPA ، وقسم التدوير المخصص بشكل منفصل وفقًا للغاز المستهدف في كل منطقة. يغطي طرف التصنيع البحث والتطوير المستقل وإنتاج المحركات والمراوح وأنظمة التحكم والصفائح المعدنية وتجميع الماكينة بالكامل. يمكن التحقق من مسارات الهواء المقسمة، ومواضع قسم المرشح، وتوزيع المقاومة في نفس الحزمة، ويمكن تعديل الهياكل غير القياسية وفقًا للمساحة الموجودة في الموقع. لا يزال يتعين التحقق من تأثير الغاز المحدد والبيئة القابلة للتطبيق ودورة الاستبدال بناءً على بيانات التكوين المقابلة وظروف العمل في الموقع. تخضع النتائج الفعلية لنتائج الكشف عن التسرب والكشف عن الغاز في الموقع.

الأسئلة والأجوبة ذات الصلة

إذا كانت المنطقتان متجاورتين، فهل يمكن أن تشتركا في مجموعة أقسام الترشيح الكيميائي؟
ومن الضروري أولاً مقارنة قوائم الغاز وأنماط التلوث وأهداف الحماية في المنطقتين. إذا كانت الاختلافات كبيرة أو كان هناك خطر انتقال العدوى عبر المناطق، فقد يكون التقسيم أكثر قابلية للتحكم.

عند مشاركة الهواء الراجع، هل سيؤثر الضباب الحمضي الموجود في منطقة العملية الرطبة على منطقة الطباعة الحجرية الضوئية؟
هذا الاحتمال موجود. يجب فحص حمل الغاز المختلط والتأثير المتبادل أثناء تصميم النظام المشترك، ويجب التحقق من مواقع الحماية للمنطقتين بشكل منفصل.

هل يمكن لشركة Aili Industrial المساعدة في تكوين تصفية المنطقة؟
يمكن دمج قائمة الغاز ومسار الهواء ومساحة التثبيت للمنطقتين للتحقق من خطة تقسيم المناطق أو المشاركة وتكوين قسم المرشح. يجب تأكيد الخطة المحددة بناءً على بيانات المنتج وظروف العمل في الموقع.

مقالات ذات صلة

• كيف ينبغي تحديد هدف الترشيح عندما يكون مقاوم الضوء حساسًا للغازات القلوية؟

• كيف ينبغي منع التلوث الغازي من العبور إلى منطقة نقل الرقاقات؟

• ما هي مصادر AMC التي يجب أن ننتبه إليها عند إمداد الهواء حول معدات الحفر؟

• ما هي الملوثات الجزيئية التي يجب تقييمها في مناطق تخزين FOUP؟

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول