Làm thế nào để ngăn chặn ô nhiễm khí xâm nhập vào khu vực chuyển wafer?

Để giảm sự xâm nhập chéo của ô nhiễm khí trong khu vực chuyển wafer, cần phải quản lý đồng thời nguồn, khu vực cửa và luồng không khí của thiết bị, sau đó định cấu hình quá trình lọc hóa học thích hợp. Chỉ tăng công suất phương tiện lọc cục bộ không thể bù đắp cho tất cả các ranh giới mở hoặc đường dẫn không khí không hợp lý. Vấn đề trong khu vực chuyển tiếp thường không nằm ở bản thân phần tử lọc mà là không khí đến từ đâu và đi đâu.

Đầu tiên xác định các đường dẫn đầu vào của ô nhiễm chéo

Sự ô nhiễm khí xâm nhập vào khu vực chuyển wafer thường xuất phát từ ba hướng: sự xâm nhập của không khí từ các khu vực xử lý lân cận, sự giải phóng do FOUP hoặc các chất mang mang theo và thoát khí từ vật liệu và quy trình vận hành bên trong thiết bị. Phương pháp truyền của ba loại nguồn này là khác nhau và vị trí điều khiển tương ứng cũng khác nhau. Sự xâm nhập vào các khu vực lân cận chủ yếu liên quan đến chênh lệch áp suất khu vực cửa và thời gian mở cửa; chất mang đi theo đường truyền của băng wafer; Khi quá trình thoát khí bên trong của thiết bị xảy ra ở hạ lưu bộ lọc, dù lực lọc đầu vào có mạnh đến đâu cũng không thể che phủ được. Trong quá trình điều tra, sự thay đổi nồng độ tại các nút truyền tải, khu vực lân cận và thời gian hoạt động cần được so sánh trước để xác nhận đường đi chủ đạo trước khi quyết định biện pháp. Về cách phân biệt ô nhiễm đến từ bên ngoài hay bên trong, vui lòng tham khảoLàm thế nào để phân biệt ô nhiễm nhà xưởng đến từ bên ngoài hay bên trong?。

Diện tích cửa và cấu trúc đệm quyết định lượng không khí sẽ đi vào

Tần số mở cửa, độ ổn định chênh lệch áp suất và cài đặt phòng đệm giữa khu vực truyền tải và khu vực lân cận ảnh hưởng trực tiếp đến lượng đầu vào chéo. Việc xác định chênh lệch áp suất không có nghĩa là không có dòng chảy ngược tức thời trong điều kiện làm việc năng động. Trao đổi luồng không khí tại thời điểm mở cửa, rò rỉ liên tục kênh hậu cần và biến động khí thải có thể gây ra đầu vào ngắn hạn. Các hướng cải tiến chung bao gồm: ổn định chênh lệch áp suất khu vực cửa, thiết lập các phần đệm, tối ưu hóa trình tự mở cửa và duy trì luồng gió định hướng tại các giao diện chính. Những biện pháp này giúp giảm thiểu “lượng không khí ô nhiễm đi vào”, trong khi quá trình lọc hóa học giải quyết “liệu ​​khí đi vào đã được xử lý hay chưa”. Hai cái đó không thể thay thế cho nhau.

Lọc hóa học cục bộ nên được đặt ở thượng nguồn của vị trí được bảo vệ thực tế

Vị trí của bộ phận lọc hóa học phải bao phủ đường dẫn khí thực tế mà tấm bán dẫn đi qua, thay vì chỉ được lắp đặt ở cửa cấp khí. Có thể có nhiều môi trường vi mô bên trong khu vực chuyển giao: lưu thông nội bộ EFEM, buồng chuyển, vị trí lưu trữ tạm thời và cổng tải, mỗi môi trường có nguồn không khí và đối tượng bảo vệ khác nhau. Nếu bộ phận lọc chỉ xử lý nguồn không khí trong phòng và chất bẩn xâm nhập từ bên trong thiết bị hoặc ngay khi cửa được mở, thử nghiệm đầu ra có thể vẫn không đạt tiêu chuẩn. Một cách tiếp cận hợp lý là trước tiên hãy vẽ sơ đồ đường dẫn khí và đánh dấu các nút nơi ô nhiễm có thể xâm nhập, sau đó xác định xem nên đặt phần bộ lọc ở cửa vào, vòng tuần hoàn hay vị trí bảo vệ cục bộ. Về sự tương ứng giữa cửa hút gió EFEM và yêu cầu về độ sạch của thiết bị, vui lòng tham khảoLọc hóa học đầu vào không khí của EFEM tương ứng với yêu cầu về độ sạch của thiết bị như thế nào?。

Công suất vật liệu lọc không thể bù đắp cho khiếm khuyết về tổ chức luồng khí

Khi có ranh giới mở hoặc luồng không khí không được kiểm soát, việc tăng số lượng lớp phương tiện hoặc công suất thường có mức độ thành công hạn chế. Không khí trong phần chưa được lọc sẽ không được xử lý vì phần tử lọc trở nên lớn hơn và ô nhiễm chéo sẽ không thay đổi đường đi do dung lượng phương tiện truyền thông cao. Trình tự điều khiển của khu vực chuyển giao thường là: đầu tiên giảm đầu vào không được kiểm soát (diện tích cửa, đệm, chênh lệch áp suất), sau đó đảm bảo luồng không khí cần thiết đi qua phần bộ lọc phù hợp, cuối cùng là kiểm tra công suất và chu trình thay thế của vật liệu lọc. Nếu thứ tự bị đảo ngược, rất dễ xảy ra tình trạng 'phần tử bộ lọc được thay thế thường xuyên hơn nhưng vấn đề vẫn như cũ'. Về việc phân công lao động giữa lọc cục bộ và lọc phòng, vui lòng tham khảoBộ lọc hóa học có thể được sử dụng một mình trong phòng?。

Thiết bị hỗ trợ công nghiệp Aili

Đối với các dự án như khu vực chuyển wafer, trước tiên chúng tôi thường vẽ đường dẫn khí với khách hàng để xác nhận xem ô nhiễm đến từ khu vực cửa, bộ phận vận chuyển hay bên trong thiết bị, sau đó xác định vị trí nên đặt phần bộ lọc. Nếu vị trí là EFEM hoặc lưu thông cục bộ ở đầu thiết bị thì các phần tử lọc nhỏ gọn và FFU được sử dụng phổ biến hơn; nếu là phòng hoặc phần đệm thì kết cấu kiểu hộp hoặc hình chữ V sẽ phù hợp hơn. Aili Industry có thể cung cấp các sản phẩm lọc hóa học phù hợp với FFU, loại hộp, loại phẳng và loại V. Cấu trúc nhỏ gọn của thiết bị có thể được điều chỉnh theo cấu hình không chuẩn theo không gian và thể tích không khí. Nếu hệ thống ban đầu liên quan đến việc thay thế các phần tử bộ lọc đã nhập, nó cũng có thể được kiểm tra theo kích thước giao diện và yêu cầu phương tiện. Đầu cuối sản xuất bao gồm động cơ, quạt, hệ thống điều khiển, tấm kim loại và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Các giao diện giữa phần bộ lọc và cấu trúc cung cấp không khí có thể được căn chỉnh trong cùng một gói. Có thể xem sản phẩmTrang loạt sản phẩm bộ lọc hóa học , loại hộp phù hợp có thể được tham khảobộ lọc hóa học dạng hộp MAU , cấu hình tích hợp FFUCó thể tham khảo FFU Bộ lọc Hóa chất . Trang Hiệu ứng khí cụ thể, môi trường áp dụng và chu trình thay thế vẫn cần được xác minh dựa trên dữ liệu cấu hình tương ứng và điều kiện làm việc tại chỗ. Kết quả thực tế tùy thuộc vào kết quả phát hiện rò rỉ và phát hiện khí tại chỗ.

Câu hỏi và câu trả lời liên quan

Nếu chênh lệch áp suất trong khu vực truyền tải đủ tiêu chuẩn thì tại sao vẫn xảy ra hiện tượng chéo khí?
Sự chênh lệch áp suất quản lý hướng dòng chảy trung bình và đầu vào ngắn hạn có thể xảy ra tại thời điểm mở cửa, kênh hậu cần và biến động khí thải. Chênh lệch áp suất đủ tiêu chuẩn không có nghĩa là không có sự giao nhau trong điều kiện làm việc năng động. Nó cần được đánh giá dựa trên hồ sơ sự kiện và phát hiện điểm chính.

Chỉ cần thêm một bộ lọc hóa học vào lỗ thông hơi cấp khí là đủ?
Nó phụ thuộc vào nơi ô nhiễm xâm nhập. Nếu ô nhiễm xuất phát từ bên trong thiết bị hoặc khi cửa mở, chỉ xử lý nguồn cung cấp không khí có thể không giải quyết được vấn đề. Vị trí của phần bộ lọc phải được xác định dựa trên đường dẫn khí thực tế.

Aili Industrial có thể hỗ trợ lựa chọn phương pháp lọc cục bộ trong khu vực truyền tải không?
Vị trí và hình dạng sản phẩm của phần bộ lọc có thể được kiểm tra dựa trên đường dẫn khí, không gian lắp đặt và khí mục tiêu. Cấu trúc nhỏ gọn của thiết bị có thể được điều chỉnh theo cách không chuẩn. Cấu hình cụ thể cần được xác nhận dựa trên thông tin sản phẩm tương ứng và điều kiện tại chỗ.

Bài viết liên quan

• Làm thế nào để chọn bộ lọc hóa học cho tủ lưu trữ wafer?

• Những chất gây ô nhiễm phân tử nào cần được đánh giá tại các khu vực lưu trữ FOUP?

• Chúng ta nên chú ý đến những nguồn AMC nào khi cung cấp không khí xung quanh thiết bị khắc?

• Khu vực xử lý ướt và khu vực quang khắc có thể chia sẻ cấu hình lọc hóa học không?

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận