Cuộc điều tra của AMC về nguồn cung cấp không khí xung quanh thiết bị khắc phải dựa trên các vật liệu liên quan, hoạt động của thiết bị, các khu vực lân cận và nguồn không khí trong lành bên ngoài. Tất cả các loại khí không thể được suy ra dựa trên tên của quá trình ăn mòn, cũng như không thể sử dụng nguồn cung cấp không khí sạch để thay thế việc kiểm soát khí thải của quá trình. Không khí bổ sung là phương tiện bảo vệ, không phải là phương tiện xử lý khí thải.

Đầu tiên phân biệt giữa không khí bổ sung và khí thải quá trình

Chức năng của không khí bổ sung xung quanh thiết bị khắc là duy trì tình trạng không khí của môi trường vi mô hoặc khu vực vận hành của thiết bị, trong khi khí thải của quá trình đòi hỏi hệ thống xử lý và xả đặc biệt. Cả hai thường được thảo luận cùng nhau. Phần lọc của hệ thống không khí trang điểm xử lý không khí xung quanh đi vào môi trường xung quanh thiết bị. Khí thải do quá trình tạo ra phải được thải qua ống xả và không được 'pha loãng' bằng cách dựa vào quá trình lọc không khí trang điểm. Nếu khí thải không đủ hoặc không có biện pháp bịt kín thì khí xử lý có thể đi vào khu vực không khí bổ sung. Trong trường hợp này, vấn đề khí thải cần được xử lý trước thay vì tăng cường lọc không khí bổ sung. Việc phân biệt được hai hệ thống này là điều kiện tiên quyết để điều tra nguồn gốc của AMC.

AMC bên ngoài mà không khí bổ sung có thể mang lại

Nếu không khí bổ sung là không khí trong lành hoặc đến từ khu vực lân cận, AMC bên ngoài có thể được đưa vào khu vực xung quanh thiết bị. Các nguồn bao gồm khí axit và khí thải hữu cơ trong không khí ngoài trời, chất dễ bay hơi từ các quy trình ẩm ướt hoặc khu vực làm sạch lân cận và các chất thải khác trong quy trình do hệ thống không khí hồi lưu mang lại. Vị trí và cấu hình phương tiện của phần bộ lọc không khí trang điểm phải được thiết kế cho các nguồn bên ngoài này. Nếu cửa nạp khí bổ sung gần cửa thoát khí hoặc nguồn ô nhiễm thì tải đưa vào có thể cao hơn. Trong quá trình điều tra, cần ghi lại vị trí hút gió và môi trường xung quanh để xác định tỷ lệ đầu vào bên ngoài trong tổng tải. Về phương pháp phân biệt ô nhiễm bên ngoài và bên trong, vui lòng tham khảoLàm thế nào để phân biệt ô nhiễm nhà xưởng đến từ bên ngoài hay bên trong?。

Hoạt động thiết bị và giải phóng vật liệu là một nguồn khác

Các hoạt động bảo trì thiết bị khắc, mở buồng, thay thế vật tư tiêu hao và bảo quản vật liệu ngoại vi có thể gây ra hiện tượng rò rỉ trong thời gian ngắn. Những sự thoát ra này xảy ra gần thiết bị, không giống như các đầu vào bên ngoài của không khí bổ sung và có thể tập trung trong các khoảng thời gian vận hành cụ thể. Nếu bộ phận lọc không khí bổ sung được đặt ở phía trên thiết bị và sự rò rỉ xảy ra ở phía sau thiết bị thì bộ phận lọc sẽ không che được phần ô nhiễm này. Trong quá trình điều tra, cần kết hợp hồ sơ vận hành thiết bị và khoảng thời gian xuất hiện mùi hoặc nồng độ để xác định sự đóng góp của việc phát tán bên trong. Về cấu hình lọc của vi môi trường phía thiết bị, vui lòng tham khảoLọc hóa học đầu vào không khí của EFEM tương ứng với yêu cầu về độ sạch của thiết bị như thế nào?。

Các vùng liền kề và lan truyền xuyên vùng không thể bỏ qua

Ngoại vi của thiết bị khắc thường liền kề với các quy trình khác. Sương axit, khí kiềm hoặc chất hữu cơ thoát ra từ các khu vực lân cận có thể xâm nhập qua khu vực cửa, khe hở hoặc không khí hồi lưu chung. Đường truyền của các nguồn này khác với hệ thống không khí bổ sung và cấu hình lọc cần bao phủ đường dẫn không khí thực tế. Nếu sự lây truyền xuyên khu vực là rõ ràng, việc cải thiện các vách ngăn, chênh lệch áp suất hoặc khí thải cục bộ có thể trực tiếp hơn là bổ sung thêm các bộ phận lọc không khí bổ sung. Trong quá trình điều tra, cần so sánh nồng độ và khoảng thời gian thay đổi xung quanh thiết bị và các khu vực lân cận để xác nhận đường dẫn chính.

Thiết bị hỗ trợ công nghiệp Aili

Đối với gói lọc không khí bổ sung xung quanh thiết bị khắc, chúng tôi thường khuyên khách hàng trước tiên nên điều tra riêng biệt đầu vào bên ngoài, bộ phận giải phóng thiết bị và truyền dẫn khu vực lân cận, sau đó xác định xem nên đặt bộ lọc ở đầu vào không khí bổ sung, bộ phận tuần hoàn hay vị trí cục bộ ở đầu thiết bị. Aili Industry có thể cung cấp các gói lựa chọn cho các sản phẩm lọc hóa học loại hộp, tấm phẳng và loại V. Đối với các gói MAU dạng hộp, vui lòng tham khảoBộ lọc hóa học loại hộp MAU , dòng sản phẩm có thể được xemDòng sản lọc hóa học phẩm Các ứng dụng phía thiết bị có thể sử dụngBộ lọc hóa học FFU , tích hợp lớp hấp phụ hóa học vớiloại Lọc hạt lọc HEPA/ULPA , phần cấp khí cục bộ có thể được cấu hình theo không gian thiết bị và khí mục tiêu. Giai đoạn sản xuất bao gồm hoạt động R&D độc lập và sản xuất động cơ, quạt, hệ thống điều khiển, tấm kim loại và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Đường dẫn khí, vị trí phần bộ lọc và điểm vận hành quạt có thể được kiểm tra trong cùng một gói và các cấu trúc phi tiêu chuẩn có thể được điều chỉnh theo cách bố trí thiết bị. Hiệu ứng khí cụ thể, môi trường áp dụng và chu trình thay thế vẫn cần được xác minh dựa trên dữ liệu cấu hình tương ứng và điều kiện làm việc tại chỗ. Kết quả thực tế tùy thuộc vào kết quả phát hiện rò rỉ và phát hiện khí tại chỗ.

Câu hỏi và câu trả lời liên quan

Thiết bị khắc được trang bị bộ lọc hóa học để cung cấp không khí. Khí thải của quá trình vẫn cần phải được xử lý?
nhu cầu. Quá trình lọc không khí bổ sung xử lý không khí xung quanh đi vào môi trường xung quanh thiết bị. Khí thải của quá trình phải được xử lý riêng biệt thông qua hệ thống xả và xử lý. Hai cái đó không thể thay thế cho nhau.

Vị trí nạp khí bổ sung có ảnh hưởng đến AMC không?
có ảnh hưởng. Khi cửa hút gió gần cửa xả hoặc nguồn ô nhiễm thì tải có thể cao hơn. Trong quá trình điều tra, cần ghi lại vị trí hút gió và môi trường xung quanh.

Aili Industrial có thể hỗ trợ lựa chọn bộ lọc không khí bổ sung cho khu vực khắc không?
Vị trí phần bộ lọc và hình dạng sản phẩm có thể được kiểm tra dựa trên đường dẫn khí, khí mục tiêu và không gian thiết bị. Kế hoạch cụ thể cần được xác nhận dựa trên dữ liệu sản phẩm và điều kiện làm việc tại chỗ.

Bài viết liên quan

• Lọc hóa học đầu vào không khí của EFEM tương ứng với yêu cầu về độ sạch của thiết bị như thế nào?

• Khu vực xử lý ướt và khu vực quang khắc có thể chia sẻ cấu hình lọc hóa học không?

• Làm thế nào để ngăn chặn ô nhiễm khí xâm nhập vào khu vực chuyển wafer?

• Dữ liệu hiện trường nào là cần thiết cho quá trình lọc hóa học đầu vào không khí của thiết bị in thạch bản?

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận