Исследование AMC по подаче воздуха вокруг травильного оборудования должно основываться на соответствующих материалах, работе оборудования, прилегающих территориях и внешних источниках свежего воздуха. На основании названия процесса травления невозможно определить все газы, а также нельзя использовать подачу чистого воздуха вместо контроля технологических выхлопных газов. Дополнительный воздух является средством защиты, а не средством очистки выбросов.

Прежде всего различайте дополнительный воздух и технологический выхлоп.

Функция дополнительного воздуха вокруг травильного оборудования заключается в поддержании состояния микросреды оборудования или рабочей зоны, в то время как технологические выхлопы требуют специальных систем вытяжки и очистки. Эти два вопроса часто обсуждаются вместе. Секция фильтра системы дополнительного воздуха обрабатывает окружающий воздух, попадающий в зону вокруг оборудования. Выхлопные газы, образующиеся в процессе, должны выводиться через выхлопную трубу и не должны «разбавляться» дополнительной фильтрацией воздуха. Если вытяжного воздуха недостаточно или не приняты меры по герметизации, технологический газ может попасть в зону дополнительного воздуха. В этом случае сначала необходимо решить проблему с выхлопными газами, а не усиливать дополнительную фильтрацию воздуха. Различие этих двух систем является необходимым условием для расследования источника КУА.

Внешний AMC, который может принести дополнительный воздух

Если дополнительный воздух является свежим или поступает из соседней зоны, внешний АМС может быть подведен в зону, окружающую оборудование. Источники включают кислые газы и органические выбросы в наружном воздухе, летучие вещества из прилегающих влажных процессов или зон очистки, а также другие технологические выбросы, переносимые системами возвратного воздуха. Расположение и конфигурация секции фильтра подпиточного воздуха должны быть рассчитаны на эти внешние источники. Если воздухозаборник подпиточного воздуха находится рядом с выпускным отверстием или источником загрязнения, нагрузка может быть выше. В ходе исследования следует фиксировать расположение воздухозаборника и окружающей среды, чтобы определить долю внешнего воздействия в общей нагрузке. О методе различения внешних и внутренних загрязнений см.Как отличить загрязнение цеха снаружи или изнутри?。

Эксплуатация оборудования и выбросы материалов являются еще одним источником

Операции по техническому обслуживанию самого травильного оборудования, открытие камеры, замена расходных материалов и хранение периферийных материалов могут привести к кратковременным выбросам. Эти выбросы происходят вблизи оборудования, в отличие от внешних источников подпиточного воздуха, и могут концентрироваться в определенные периоды эксплуатации. Если секция фильтра подпиточного воздуха расположена перед оборудованием, а выброс происходит после него, то секция фильтра не будет перекрывать эту часть загрязнения. В ходе расследования записи работы оборудования и период появления запаха или концентрации должны быть объединены для определения вклада внутреннего выброса. Информацию о конфигурации фильтрации микросреды на стороне устройства см.Насколько химическая фильтрация приточного воздуха EFEM соответствует требованиям чистоты оборудования?。

Соседние регионы и межрегиональное распространение нельзя игнорировать.

Периферия травильного оборудования часто примыкает к другим процессам. Кислотный туман, щелочной газ или органические выделения из прилегающих помещений могут проникать через дверные проемы, щели или общий возвратный воздух. Пути распространения этих источников отличаются от систем подпитки воздуха, и конфигурация фильтрации должна охватывать фактический путь прохождения воздуха. Если межрегиональная передача очевидна, возможно, более целесообразным будет улучшить перегородки, перепады давления или местную вытяжку, чем добавлять дополнительные секции воздушного фильтра. В ходе расследования необходимо сравнить концентрацию и изменения периода времени вокруг оборудования и прилегающих территорий, чтобы подтвердить доминирующий путь.

Промышленное вспомогательное оборудование Aili

Для комплекта фильтрации дополнительного воздуха вокруг оборудования для травления мы обычно рекомендуем клиентам сначала отдельно исследовать внешний вход, выпуск оборудования и передачу в прилегающую зону, а затем определить, следует ли размещать секцию фильтра на входе дополнительного воздуха, секции циркуляции или локально на конце оборудования. Aili Industry может предоставить комплекты для химической фильтрации коробчатого, плоского и V-типа. Информацию о коробчатых упаковках MAU см.Химический фильтр коробчатого типа MAU , можно просмотреть серию продуктовАссортимент химических фильтров . Приложения на стороне устройства могут использоватьХимический фильтр типа FFU, встроенный химический адсорбционный слой сФильтрация частиц HEPA/ULPA , секция местной подачи воздуха может быть сконфигурирована в соответствии с пространством оборудования и целевым газом. Производственная часть охватывает независимые исследования и разработки, а также производство двигателей и вентиляторов, систем управления, листового металла и полной сборки машин. Путь подачи воздуха, положение секции фильтра и рабочую точку вентилятора можно проверить в одном пакете, а нестандартные конструкции можно отрегулировать в соответствии с компоновкой оборудования. Конкретное воздействие газа, применимая среда и цикл замены все еще необходимо проверять на основе соответствующих данных конфигурации и условий работы на месте. Фактические результаты зависят от результатов обнаружения утечек и газа на месте.

Связанные вопросы и ответы

Травильное оборудование оснащено химическим фильтром для подачи воздуха. Нужно ли еще обрабатывать технологические выхлопы?
нуждаться. Дополнительная фильтрация воздуха обрабатывает окружающий воздух, попадающий в зону вокруг оборудования. Технологические выхлопные газы должны обрабатываться отдельно через системы выхлопа и очистки. Эти двое не могут заменить друг друга.

Влияет ли расположение дополнительного воздухозаборника на AMC?
влиятельный. Когда воздухозаборник находится рядом с выпускным отверстием или источником загрязнения, нагрузка может быть выше. В ходе расследования следует фиксировать расположение воздухозаборника и окружающую среду.

Может ли компания Aili Industrial помочь в выборе дополнительной фильтрации воздуха для зоны травления?
Расположение секции фильтра и форму изделия можно проверить на основе пути подачи воздуха, целевого газа и места для оборудования. Конкретный план должен быть подтвержден на основе данных о продукте и условий работы на месте.

Похожие статьи

• Насколько химическая фильтрация приточного воздуха EFEM соответствует требованиям чистоты оборудования?

• Могут ли зона мокрого процесса и зона фотолитографии использовать одну и ту же конфигурацию химической фильтрации?

• Как предотвратить попадание газовых загрязнений в зону переноса пластин?

• Какие полевые данные необходимы для химической фильтрации воздуха на входе литографического оборудования?

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле