Количество просмотров: 2157 Автор: Aili Industry Время выпуска: 1 декабря 2026 г. Источник: Ай Ли Индастриал
Какие полевые данные необходимы для химической фильтрации воздуха на входе литографического оборудования?
Для химической фильтрации воздухозаборника литографического оборудования необходимо понимать требования к контролю газа в оборудовании, состав впускного отверстия, объем воздуха, температуру и влажность, а также проверять место установки, воздушный путь и интерфейс обслуживания. Фоновые данные помещения не отражают автоматически воздухозаборники оборудования. Данные выбора, отфильтрованные на стороне устройства, более конкретны, чем решение на уровне помещения, поскольку они обращены к микросреде внутри устройства.
1. Ограничьте дальность обнаружения в зависимости от требований к оборудованию.
Конкретные чувствительные ингредиенты, целевые уровни и разрешенные материалы должны быть определены на основе требований к соответствующему технологическому оборудованию. Возможности обнаружения необходимо подтверждать, а не просто отправлять рутинные результаты TVOC или частиц.
Чувствительность литографического оборудования к щелочным газам, кислым газам или органическим конденсатам зависит от конкретного процесса и материалов. Производители оборудования обычно указывают требования по контролю загазованности воздухозаборника. Объекты обнаружения следует определять в соответствии с этими требованиями при выборе моделей, а не просто указывать общее количество летучих органических соединений. Айли Индустриядля химического фильтра подтвердите конфигурацию среды в соответствии с требованиями к газу оборудования и условиями на входе.При установке оборудования Химический фильтр FFU можно использовать с FFU для циркуляционной фильтрации на конце оборудования. Взаимосвязь между уровнями и требованиями фильтрации можно найти вСравнение уровня чистоты ISO。
2. Сохранять входную и внутреннюю информацию
Положение воздухозаборника, местный выброс материала и условия эксплуатации влияют на защищаемую зону. Следует указать, есть ли какие-либо новые источники после секции фильтра, чтобы избежать проверки только выхода фильтрующего элемента.
Состояние воздуха на воздухозаборнике устройства может отличаться от фона помещения. Если воздухозаборник расположен рядом с зоной очистки или рядом с другим оборудованием, фактическая газовая нагрузка может быть выше средней по помещению. В то же время, внутри оборудования после секции фильтра все еще остается материал, и точку приемки следует устанавливать в защитном положении, а не на выходе из фильтрующего элемента. Айли ИндустрияПлоские химические фильтры иВ пакете химических фильтров V-типа структура подтверждена в соответствии с внутренним пространством и трактом воздушного потока оборудования. Информацию о взаимосвязи между данными портала и внутренними источниками см.HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору。
3. Примеры оценки проекта
Когда воздухозаборник оборудования находится рядом с зоной очистки, во время работы можно добавить отбор проб на входе и проверить последующий поток воздуха в секции химического фильтра.
Такие ситуации указывают на то, что средние данные по помещению недостаточно репрезентативны для условий входа оборудования. Отбор проб следует брать в месте воздухозаборника оборудования и во время операций по очистке, а затем объединять с потоком воздуха после секции фильтра для подтверждения защитного эффекта.
4. Контрольные точки приложения
Проверить элементы |
Подтвердите ключевые моменты |
|---|---|
Требования к оборудованию |
Определить чувствительные ингредиенты |
Вводные данные |
Охватить репрезентативные периоды времени |
Интерфейс установки |
Проверьте размер уплотнения |
внутренние источники |
Отпустите после исследования раздела фильтров. |
5. Проверка и последующее использование
Технологические зоны, входы к оборудованию и защищенные помещения могут иметь разные условия воздуха. Вокруг места фактического использования продукта или оборудования должны быть установлены точки контроля, и следует вести записи о нормальной работе. Фильтрация окружающей среды может работать с источниками, материалами и потоками воздуха, но не может автоматически покрывать загрязнения в нефильтруемых секциях.
Айли ИндустрияНа конечном плане оборудования химического фильтра проверьте конфигурацию секции фильтра в соответствии с условиями на входе воздуха в оборудование и внутренним пространством.Химические фильтры коробчатого типа подходят для сценариев централизованной очистки.
6. Похожие вопросы и ответы
Могут ли данные о газе в помещении быть репрезентативными для потребления оборудования?
не могу. Расположение воздухозаборника оборудования, расположенное рядом оборудование и внутренние выпуски могут привести к тому, что фактические условия будут отличаться от средних по помещению.
Какие газы необходимо измерять на воздухозаборнике литографического оборудования?
Он определяется в соответствии с требованиями по контролю газа, указанными производителем оборудования, которые обычно включают в себя определенные компоненты, такие как щелочной, кислотный или органический конденсат.
Достаточно ли измерить только общее количество летучих органических соединений?
недостаточно. TVOC — это комплексный показатель, который не может отражать соответствие конкретных компонентов требованиям оборудования и требует целевого тестирования.
7. Статьи по теме
HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору
8. Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле
Проверить элементы |
Проверьте ключевые моменты |
|---|---|
Требования к оборудованию |
Чувствительные ингредиенты и целевые уровни |
Вводные данные |
Репрезентативность местоположения и периода времени |
Условия установки |
Размеры, места для уплотнения и обслуживания |
внутренние источники |
Выброс материала после секции фильтра |
Подтвердить местоположение |
Точка защиты оборудования вместо выхода фильтра |
9. Промышленная продукция и оборудование Айли, вспомогательное оборудование
Aili Industry предоставляет химические фильтры и комплекты оборудования для подачи чистого воздуха. Он может сравнивать изделия FFU-упаковки, коробчатого типа, плоского типа и V-образной формы по составу газа, объему обрабатываемого воздуха и условиям установки. Система производства и поддержки охватывает независимые исследования, разработки и производство двигателей и вентиляторов, систем управления, листового металла, воздушных фильтров и полной сборки оборудования, что позволяет легко совместно проверять секцию фильтра, мощность и состояние конструкции. Удельное газовое воздействие, экологическая пригодность и срок службы все еще требуют проверки на основе соответствующих данных конфигурации и реальных условий работы.
учитьсяСерия химических фильтров . Проверьте соответствие продуктов и подачи воздуха условиям проекта. Уточнить цель → Проверить условия → Проверить эффект → Организовать техническое обслуживание.
