Welche Felddaten werden für die chemische Filterung des Lufteinlasses von Lithographiegeräten benötigt?

Die chemische Filterung des Lufteinlasses von Lithographiegeräten erfordert ein Verständnis der Anforderungen an die Gassteuerung des Geräts, der Zusammensetzung des Einlasses, des Luftvolumens, der Temperatur und Luftfeuchtigkeit sowie die Überprüfung des Installationsraums, des Luftwegs und der Wartungsschnittstelle. Raumhintergrunddaten stellen nicht automatisch die Lufteinlässe der Geräte dar. Die auf der Geräteseite gefilterten Auswahldaten sind spezifischer als die Lösung auf Raumebene, da sie auf die Mikroumgebung im Gerät ausgerichtet sind.

1. Beschränken Sie den Erfassungsbereich entsprechend den Geräteanforderungen

Spezifische empfindliche Inhaltsstoffe, Zielmengen und zulässige Materialien sollten aus den entsprechenden Anforderungen an die Prozessausrüstung abgeleitet werden. Die Erkennungsfähigkeiten müssen bestätigt werden und nicht nur routinemäßige TVOC- oder Partikelergebnisse übermittelt werden.

Die Empfindlichkeit von Lithographiegeräten gegenüber alkalischen Gasen, sauren Gasen oder organischen Kondensaten hängt vom jeweiligen Prozess und den Materialien ab. Gerätehersteller geben in der Regel die Gasregelanforderungen für den Lufteinlass an. Bei der Modellauswahl sollten die Erkennungsobjekte nach diesen Anforderungen bestimmt werden und nicht nur eine Gesamt-TVOC-Menge vorgelegt werden. Aili Industry istBestätigen Sie der chemischen Filterausrüstung die Medienkonfiguration entsprechend den Gasanforderungen der Ausrüstung und den Einlassbedingungen.bei der Unterstützung Der chemische FFU-Filter kann mit FFU für die anlagenseitige Zirkulationsfiltration verwendet werden. Die Beziehung zwischen Ebenen und Filteranforderungen finden Sie inVergleich der ISO-Reinheitsgrade。

2. Bewahren Sie Zugangs- und interne Informationen auf

Die Lage des Lufteinlasses, die örtliche Stofffreisetzung und die Betriebsbedingungen wirken sich auf den Schutzbereich aus. Es sollte angegeben werden, ob nach dem Filterabschnitt neue Quellen vorhanden sind, um zu vermeiden, dass nur der Filterelementauslass getestet wird.

Der Luftzustand am Lufteinlass des Geräts kann vom Raumhintergrund abweichen. Wenn sich der Lufteinlass in der Nähe des Reinigungsbereichs oder neben anderen Geräten befindet, kann die tatsächliche Gasbelastung höher sein als der Raumdurchschnitt. Gleichzeitig wird nach dem Filterabschnitt immer noch Material im Gerät freigesetzt, und die Annahmestelle sollte an einer Schutzposition und nicht am Auslass des Filterelements angebracht werden. Aili Industry istFlache chemische Filter undBeim chemischen Filterpaket vom V-Typ wird die Struktur entsprechend dem Innenraum und dem Luftströmungsweg der Ausrüstung bestätigt. Es kann auf die Beziehung zwischen Portaldaten und internen Quellen verwiesen werdenHEPA-FAQs und Auswahlhilfe。

3. Beispiele für Projektbeurteilungen

Wenn sich der Lufteinlass des Geräts neben dem Reinigungsbereich befindet, kann während des Betriebs eine Einlassprobenahme hinzugefügt und der anschließende Luftstrom des chemischen Filterabschnitts überprüft werden.

Solche Situationen deuten darauf hin, dass die Raumdurchschnittsdaten die Eingangsbedingungen der Geräte nicht ausreichend repräsentieren. Die Probenahme sollte an der Stelle des Lufteinlasses des Geräts und während der Reinigungsarbeiten erfolgen und dann mit dem Luftströmungsweg nach dem Filterabschnitt kombiniert werden, um die Schutzwirkung zu bestätigen.

4. Anwendungskontrollpunkte

5. Überprüfung und anschließende Verwendung

Prozessbereiche, Geräteeingänge und geschützte Orte können unterschiedliche Luftbedingungen aufweisen. Rund um den tatsächlichen Einsatzort des Produkts oder der Ausrüstung sollten Inspektionspunkte eingerichtet und Aufzeichnungen über den normalen Betrieb geführt werden. Die Umweltfiltration kann mit Quellen-, Material- und Luftströmungsmaßnahmen arbeiten, kann aber Kontaminationen in ungefilterten Abschnitten nicht automatisch abdecken.

Aili Industry istÜberprüfen Sie im Endplan der chemischen Filterausrüstung die Konfiguration des Filterabschnitts entsprechend den Lufteinlassbedingungen der Ausrüstung und dem Innenraum.Chemische Kastenfilter eignen sich für zentralisierte Behandlungsszenarien.

6. Verwandte Fragen und Antworten

Können Raumgasdaten repräsentativ für die Geräteeinlässe sein?
kann nicht. Die Lage des Lufteinlasses der Geräte, benachbarte Geräte und interne Auslässe können dazu führen, dass die tatsächlichen Bedingungen vom Raumdurchschnitt abweichen.

Welche Gase müssen am Lufteinlass von Lithographiegeräten gemessen werden?
Sie richtet sich nach den vom Gerätehersteller vorgegebenen Gasregelungsanforderungen, bei denen es sich in der Regel um bestimmte Komponenten wie alkalisches, saures oder organisches Kondensat handelt.

Reicht es aus, nur die Gesamtmenge an TVOC zu messen?
nicht genug. TVOC ist ein umfassender Indikator, der nicht widerspiegeln kann, ob bestimmte Komponenten die Geräteanforderungen erfüllen und gezielte Tests erfordern.

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