Quelles données de terrain sont nécessaires pour la filtration chimique de l’entrée d’air des équipements de lithographie ?

Pour la filtration chimique de l'entrée d'air de l'équipement de lithographie, vous devez comprendre les exigences de contrôle des gaz de l'équipement, la composition de l'entrée, le volume d'air, la température et l'humidité, et vérifier l'espace d'installation, le chemin d'air et l'interface de maintenance. Les données de base de la pièce ne représentent pas automatiquement les entrées d’air des équipements. Les données de sélection filtrées côté appareil sont plus spécifiques que la solution au niveau de la pièce car elles font face au microenvironnement à l’intérieur de l’appareil.

1. Limiter la plage de détection en fonction des exigences de l'équipement

Les ingrédients sensibles spécifiques, les niveaux cibles et les matériaux autorisés doivent être dérivés des exigences correspondantes en matière d'équipement de traitement. Les capacités de détection doivent être confirmées plutôt que de simplement soumettre des résultats de routine en matière de COVT ou de particules.

La sensibilité des équipements de lithographie aux gaz alcalins, aux gaz acides ou aux condensats organiques dépend du processus et des matériaux spécifiques. Les fabricants d’équipements donnent généralement les exigences de contrôle des gaz pour l’entrée d’air. Les objets de détection doivent être déterminés en fonction de ces exigences lors de la sélection des modèles, plutôt que de simplement soumettre un montant total de COVT. L'industrie Aili estde l'équipement de filtrage chimique , confirmez la configuration du média en fonction des exigences en matière de gaz de l'équipement et des conditions d'entrée.Lors de la prise en charge Le filtre chimique FFU peut être utilisé avec FFU pour la filtration par circulation en fin d'équipement. La relation entre les niveaux et les exigences de filtrage peut être trouvée dansComparaison du niveau de propreté ISO。

2. Préserver l’entrée et les informations internes

La position de l’entrée d’air, le rejet local de matières et les conditions de fonctionnement affectent tous la zone protégée. Il convient d'indiquer s'il y a de nouvelles sources après la section filtrante pour éviter de tester uniquement la sortie de l'élément filtrant.

La climatisation à l'entrée d'air de l'appareil peut différer de l'ambiance de la pièce. Lorsque l'entrée d'air est située à proximité de la zone de nettoyage ou à côté d'autres équipements, la charge de gaz réelle peut être supérieure à la moyenne de la pièce. Dans le même temps, des matières sont encore libérées à l'intérieur de l'équipement après la section filtrante et le point d'acceptation doit être réglé dans une position de protection plutôt qu'à la sortie de l'élément filtrant. L'industrie Aili estFiltres chimiques plats etDans l'ensemble de filtre chimique de type V , la structure est confirmée en fonction de l'espace interne et du chemin de circulation de l'air de l'équipement. La relation entre les données du portail et les sources internes peut être référencéeFAQ HEPA et guide de sélection。

3. Exemples de jugement de projet

Lorsque l'entrée d'air de l'équipement est adjacente à la zone de nettoyage, un échantillonnage d'entrée peut être ajouté pendant le fonctionnement et le débit d'air ultérieur de la section de filtre chimique peut être vérifié.

De telles situations indiquent que les données moyennes des salles ne sont pas suffisamment représentatives des conditions d’entrée des équipements. L'échantillonnage doit être effectué à l'emplacement de l'entrée d'air de l'équipement et pendant les opérations de nettoyage, puis combiné avec le trajet d'écoulement d'air après la section de filtre pour confirmer l'effet de protection.

4. Points de contrôle de l'application

5. Vérification et utilisation ultérieure

Les zones de traitement, les entrées d'équipement et les emplacements protégés peuvent avoir des conditions d'air différentes. Des points d'inspection doivent être installés autour du lieu d'utilisation réel du produit ou de l'équipement, et des enregistrements de fonctionnement normal doivent être conservés. La filtration environnementale peut fonctionner avec des mesures de source, de matériau et de débit d'air, mais ne peut pas couvrir automatiquement la contamination dans les sections non filtrées.

L'industrie Aili estDans le plan final de l'équipement de filtre chimique , vérifiez la configuration de la section de filtre en fonction des conditions d'entrée d'air de l'équipement et de l'espace interne.Les filtres chimiques de type boîte conviennent aux scénarios de traitement centralisés.

6. Questions et réponses connexes

Les données sur les gaz ambiants peuvent-elles être représentatives des apports des équipements ?
ne peut pas. L'emplacement de l'entrée d'air de l'équipement, l'équipement adjacent et les dégagements internes peuvent tous faire en sorte que les conditions réelles diffèrent de la moyenne de la pièce.

Quels gaz doivent être mesurés à l’entrée d’air des équipements de lithographie ?
Elle est déterminée en fonction des exigences de contrôle des gaz données par le fabricant de l'équipement, qui impliquent généralement des composants spécifiques tels que des condensats alcalins, acides ou organiques.

Est-il suffisant de mesurer uniquement la quantité totale de COVT ?
pas assez. TVOC est un indicateur complet qui ne peut pas indiquer si des composants spécifiques répondent aux exigences de l'équipement et nécessite des tests ciblés.

7. Articles connexes

Série de produits de filtres chimiques

Filtre chimique FFU

Filtre chimique plat

FAQ HEPA et guide de sélection

8. Points clés pour le contrôle de sélection et d'acceptation

9. Produits et équipements industriels Aili

Aili Industry propose des filtres chimiques et des packages de sélection d'équipements d'alimentation en air pur. Il peut comparer les produits en emballage FFU, en type de boîte, de type plat et en forme de V en fonction de la composition du gaz, du volume d'air de traitement et des conditions d'installation. Le système de fabrication et de support couvre la recherche, le développement et la production indépendants de moteurs et de ventilateurs, de systèmes de contrôle, de tôles, de filtres à air et d'assemblages complets de machines, ce qui facilite la confirmation conjointe de la section du filtre, de la puissance et des conditions structurelles. L'effet spécifique du gaz, l'adéquation environnementale et la durée de vie doivent encore être vérifiés sur la base des données de configuration correspondantes et des conditions de travail réelles.

apprendreSérie de produits de filtres chimiques , vérifiez les produits et la correspondance de l'alimentation en air en fonction des conditions du projet. Clarifier l'objectif → Vérifier les conditions → Vérifier l'effet → Organiser la maintenance.