¿Qué datos de campo se necesitan para la filtración química de la entrada de aire de los equipos de litografía?

Para la filtración química de la entrada de aire de equipos de litografía, es necesario comprender los requisitos de control de gas del equipo, la composición de la entrada, el volumen de aire, la temperatura y la humedad, y verificar el espacio de instalación, la ruta del aire y la interfaz de mantenimiento. Los datos de fondo de la habitación no representan automáticamente las entradas de aire del equipo. Los datos de selección filtrados en el lado del dispositivo son más específicos que la solución a nivel de habitación porque miran al microambiente dentro del dispositivo.

1. Limite el rango de detección según los requisitos del equipo.

Los ingredientes sensibles específicos, los niveles objetivo y los materiales permitidos deben derivarse de los requisitos correspondientes del equipo de proceso. Es necesario confirmar las capacidades de detección en lugar de simplemente enviar resultados rutinarios de TVOC o de partículas.

La sensibilidad de los equipos de litografía a gases alcalinos, gases ácidos o condensados ​​orgánicos depende del proceso y los materiales específicos. Los fabricantes de equipos suelen indicar los requisitos de control de gas para la entrada de aire. Los objetos de detección deben determinarse de acuerdo con estos requisitos al seleccionar los modelos, en lugar de simplemente presentar una cantidad total de TVOC. La industria Aili esel equipo de filtrado químico , confirme la configuración del medio de acuerdo con los requisitos de gas del equipo y las condiciones de entrada.Al respaldar El filtro químico FFU se puede utilizar con FFU para la filtración de circulación del extremo del equipo. La relación entre los niveles y los requisitos de filtrado se puede encontrar enComparación del nivel de limpieza ISO。

2. Preservar la entrada y la información interna.

La posición de la entrada de aire, la liberación local de material y las condiciones de funcionamiento afectan el área protegida. Se debe indicar si hay nuevas fuentes después de la sección del filtro para evitar probar solo la salida del elemento filtrante.

La condición del aire en la entrada de aire del dispositivo puede diferir del fondo de la habitación. Cuando la entrada de aire está ubicada cerca del área de limpieza o adyacente a otros equipos, la carga de gas real puede ser mayor que el promedio de la habitación. Al mismo tiempo, todavía se libera material dentro del equipo después de la sección del filtro, y el punto de aceptación debe establecerse en una posición protectora en lugar de en la salida del elemento filtrante. La industria Aili esFiltros químicos planos yEn el paquete de filtro químico tipo V , la estructura se confirma de acuerdo con el espacio interno y la ruta del flujo de aire del equipo. Para conocer la relación entre los datos del portal y las fuentes internas, consultePreguntas frecuentes sobre HEPA y guía de selección。

3. Ejemplos de juicio de proyecto

Cuando la entrada de aire del equipo está adyacente al área de limpieza, se puede agregar muestreo de entrada durante la operación y se puede verificar el flujo de aire posterior de la sección del filtro químico.

Estas situaciones indican que los datos promedio de las habitaciones no son suficientemente representativos de las condiciones de entrada del equipo. El muestreo debe tomarse en la ubicación de la entrada de aire del equipo y durante las operaciones de limpieza, y luego combinarse con la ruta del flujo de aire después de la sección del filtro para confirmar el efecto de protección.

4. Puntos de control de la solicitud

5. Verificación y uso posterior

Las áreas de proceso, las entradas de equipos y los lugares protegidos pueden tener diferentes condiciones de aire. Se deben establecer puntos de inspección alrededor de la ubicación de uso real del producto o equipo, y se deben mantener registros de operación normal. La filtración ambiental puede funcionar con medidas de fuente, material y flujo de aire, pero no puede cubrir automáticamente la contaminación en secciones no filtradas.

La industria Aili esEn el plano final del equipo de filtrado químico , verifique la configuración de la sección del filtro de acuerdo con las condiciones de entrada de aire del equipo y el espacio interno.Los filtros químicos tipo caja son adecuados para escenarios de tratamiento centralizado.

6. Preguntas y respuestas relacionadas

¿Pueden los datos de gases de la habitación ser representativos de las ingestas de equipos?
no puedo. La ubicación de la entrada de aire del equipo, los equipos adyacentes y las emisiones internas pueden hacer que las condiciones reales difieran del promedio de la habitación.

¿Qué gases se deben medir en la entrada de aire de los equipos de litografía?
Se determina de acuerdo con los requisitos de control de gases dados por el fabricante del equipo, que generalmente involucran componentes específicos como condensados ​​alcalinos, ácidos u orgánicos.

¿Es suficiente medir sólo la cantidad total de TVOC?
no es suficiente. TVOC es un indicador integral que no puede reflejar si componentes específicos cumplen con los requisitos del equipo y requiere pruebas específicas.

7. Artículos relacionados

Serie de productos de filtros químicos.

Filtro químico FFU

Filtro químico plano

Preguntas frecuentes sobre HEPA y guía de selección

8. Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

9. Productos y equipos de soporte de equipos industriales de Aili.

Aili Industry ofrece filtros químicos y paquetes de selección de equipos de suministro de aire limpio. Puede comparar productos en paquete FFU, tipo caja, tipo plano y en forma de V según la composición del gas, el volumen de aire de tratamiento y las condiciones de instalación. El sistema de fabricación y soporte cubre la investigación, el desarrollo y la producción independientes de motores y ventiladores, sistemas de control, láminas de metal, filtros de aire y ensamblaje completo de la máquina, lo que facilita la confirmación conjunta de la sección del filtro, la potencia y las condiciones estructurales. Aún es necesario verificar el efecto específico del gas, la idoneidad ambiental y la vida útil en función de los datos de configuración correspondientes y las condiciones de trabajo reales.

aprenderSerie de productos de filtros químicos , verifique que los productos y el suministro de aire coincidan según las condiciones del proyecto. Aclarar el objetivo → Verificar las condiciones → Verificar el efecto → Organizar el mantenimiento.