エッチング装置周囲の空気供給に関する AMC の調査は、関連する材料、装置の動作、隣接エリア、および外部の新鮮な空気源に基づいて行う必要があります。 エッチング プロセスの名前に基づいてすべてのガスを推測することはできません。また、プロセスの排気ガス制御の代わりにクリーン エアの供給を使用することもできません。補助空気は保護手段であり、排気処理手段ではありません。

まず補助空気とプロセス排気を区別します

エッチング装置周囲の補助空気の機能は、装置の微小環境または動作エリアの空気状態を維持することですが、プロセス排気には特別な排気および処理システムが必要です。 この二人はよく一緒に議論されます。補給空気システムのフィルタ セクションは、装置の周囲に入る周囲空気を処理します。プロセスによって生成される排気ガスは、排気パイプを通じて排出されるべきであり、補給空気の濾過に依存して「希釈」されるべきではありません。排気が不十分な場合、または密閉対策が講じられていない場合、プロセスガスが補助空気領域に侵入する可能性があります。この場合、補助空気濾過を強化するのではなく、まず排気の問題に対処する必要があります。これら 2 つのシステムを区別することは、AMC の原因を調査するための前提条件です。

追加の空気がもたらす可能性のある外部 AMC

補助空気が新鮮な空気であるか、隣接する領域から来る場合、外部 AMC が装置の周囲領域に持ち込まれる可能性があります。 発生源には、屋外空気中の酸性ガスおよび有機排出物、隣接する湿式プロセスまたは洗浄エリアからの揮発性物質、および還気システムによって運ばれるその他のプロセス放出物が含まれます。メイクアップ エア フィルター セクションの位置と媒体構成は、これらの外部ソースに合わせて設計する必要があります。補給空気取入口が排気出口または汚染源に近い場合、導入される負荷が高くなる可能性があります。調査中に、総負荷に占める外部入力の割合を判断するために、空気取り入れ口の位置と周囲の環境を記録する必要があります。外部汚染と内部汚染の見分け方については、こちらをご参照ください。作業場の汚染が外部から来るのか内部から来るのかを区別するにはどうすればよいですか?。

機器の操作と物質の放出も別の原因です

エッチング装置自体のメンテナンス作業、チャンバーの開放、消耗品の交換、周辺材料の保管などにより、短期間の放出が発生する可能性があります。 これらの放出は、補給空気の外部入力とは異なり、機器の近くで発生し、特定の動作期間中に集中する可能性があります。補給空気フィルターセクションが装置の上流にあり、放出が下流で発生する場合、フィルターセクションは汚染のこの部分をカバーしません。調査では、機器の稼働記録と臭気または濃度の発生期間を組み合わせて、内部放出の寄与を判断する必要があります。デバイス側微環境のフィルタリング設定については、こちらをご参照ください。EFEM 空気入口の化学ろ過は、機器の清浄度要件にどのように対応していますか?。

隣接する領域と領域間の伝播は無視できません

エッチング装置の周囲は他の工程と隣接している場合が多いです。隣接する領域からの酸性ミスト、アルカリ性ガス、または有機放出物が、ドア領域、隙間、または共用の戻り空気から侵入する可能性があります。 これらの発生源の伝播経路は補給空気システムとは異なるため、フィルタリング構成は実際の空気経路をカバーする必要があります。地域間感染が明らかな場合は、補助エアフィルターセクションを追加するよりも、隔壁、圧力差、または局所排気を改善する方が直接的である可能性があります。調査中は、機器周辺および隣接エリアの濃度と時間変化を比較して、支配的な経路を確認する必要があります。

Aili産業支援装置

エッチング装置周囲の補助空気の濾過パッケージについては、通常、お客様にまず外部入力、装置の放出、および隣接領域の透過を個別に調査してから、フィルターセクションを補助空気入口、循環セクション、または装置端の局所的な場所に配置する必要があるかどうかを決定することをお勧めします。アイリ工業では、ボックスタイプ、平板タイプ、Vタイプの化学ろ過製品の選択パッケージを提供できます。ボックスタイプのMAUパッケージについては、こちらをご覧ください。MAUボックス型ケミカルフィルター、製品シリーズをご覧いただけますケミカルフィルターの製品ラインナップ。デバイス側アプリケーションが使用できるのは、ケミカルフィルターFFUタイプ、化学吸着層一体型HEPA/ULPAフィルター微粒子濾過、局所給気部を装置スペースや対象ガスに合わせて構成可能。製造エンドは、モーターとファン、制御システム、板金、完全な機械アセンブリの独立した研究開発と生産をカバーします。エア供給経路、フィルタ部位置、ファン動作点を同一パッケージで確認でき、標準以外の構造も設備レイアウトに合わせて調整できます。特定のガスの影響、適用環境、および交換サイクルは、対応する構成データと現場の作業条件に基づいて検証する必要があります。実際の結果は、現場での漏れ検知およびガス検知の結果に左右されます。

関連する質問と回答

エッチング装置にはエア供給用のケミカルフィルターが装備されています。プロセス排気はまだ処理する必要がありますか?
必要。補助空気濾過は、装置の周囲に入る周囲の空気を処理します。プロセス排気ガスは、排気システムと処理システムを通じて個別に処理する必要があります。この 2 つは互いに置き換えることはできません。

補助空気取り入れ口の位置は AMC に影響しますか?
影響力のある。吸気口が排気口や汚染源に近い場合、負荷が高くなる可能性があります。調査中は、空気取り入れ口の位置と周囲の環境を記録する必要があります。

Aili Industrial は、エッチング領域用の補助空気ろ過装置の選択を支援できますか?
エア供給経路、対象ガス、装置スペースからフィルター部の位置や製品形状を確認できます。具体的な計画は製品データと現場の作業条件を基に確認する必要があります。

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