EFEM 空気入口の化学ろ過は、機器の清浄度要件にどのように対応していますか?

EFEM 空気入口化学濾過は、装置の粒子、ガス、および空気流の要件に同時に対応する必要があります。粒子レベル、局所的な空気経路、および AMC 目標は個別に確認する必要があり、1 つのフィルターの性能がすべての機器の清浄度要件を表すことはできません。 EFEM はウェーハのロードと輸送のための微小環境であり、その空気品質管理には複数のレベルが関係します。

1. デバイスインターフェイスを通じて条件を決定します。

入口空気量、スペース、材質、敏感ガスを確認し、フィルタ部以降の内部放出の有無を確認する必要があります。部屋のデータは必ずしも微環境を表しているわけではありません。

EFEM 内の粒子、ガス、気流の状態は、クリーン ルームの背景とは異なります。通常、装置メーカーはEFEM内で粒子レベルとAMC制御の要件を与えており、モデルを選択する際にはこれらの要件に従って検出対象を決定する必要があります。同時に、EFEM 内の機械的動作、キャリア材料、ウェーハ移送プロセスでも放出物が生成され、フィルターセクションの後に新たなガス源が発生する可能性があります。アイリ産業はケミカルフィルター装置のエンドパッケージでは、EFEMの入口条件と内部構造に基づいて濾過セクションが確認されます。フラットケミカルフィルターは、EFEM の内部スペースが限られているシナリオに適しています。レベルとフィルタリング要件の関係は、次のとおりです。ISO清浄度レベルの比較。

2. 組み合わせ構成の確認と検証

化学フィルターセクションと粒子フィルターセクションでは、粉末の損失、ガスの放出、密閉性、抵抗を考慮する必要があります。エアフローおよび関連する汚染物質は、設置後に個別に検証されます。

EFEM 空気入口化学ろ過は、通常、粒子ろ過と組み合わせて使用​​されます。化学フィルターセクションの媒体は粒子を生成する可能性があり、粒子を捕捉するには下流の粒子濾過が必要です。また、ケミカルフィルター部の抵抗値はEFEMの内部風量に影響しますので、FFUまたはEFUのファン容量と合わせて確認する必要があります。アイリ産業はFFUケミカルフィルタパッケージは、EFEMの内部空間と風量に応じて組み合わせ構造をご確認ください。深さが限られている場合は、タイプ V ケミカルフィルターを代替品として使用できます。組み合わせ構成と検証の関係については、こちらをご覧ください。HEPA FAQ と選択ガイド。ケミカルフィルターFFUはEFEM装置側で独立した循環ユニットとして使用でき、粒子とガスを同時に処理できます。

3. 案件判断の例

装置内に新しい材料がある場合は、入口フィルタと内部ソースを同時にチェックして、入口フィルタ材料の容量だけが増加することを避けることができます。

EFEM 内部に新しい材料や機構が追加されると、ガス源が入口から内部に移送されることがあります。このとき、入口濾過能力を向上させるだけでは効果が得られない場合があります。内部放出を調査し、同時に濾過位置を調整する必要があります。

4. 申請のチェックポイント

5. 検証とその後の使用

プロセスエリア、装置の入り口、および保護された場所では、空気条件が異なる場合があります。実際の製品や機器の使用場所の周囲に検査ポイントを設置し、通常の動作記録を保管する必要があります。環境濾過は、発生源、材料、気流の対策と併用できますが、濾過されていないセクションの汚染を自動的にカバーすることはできません。

アイリ産業はケミカルフィルターEFEM対応ソリューションでは、装置インターフェースや内部構造に応じて濾過部を確認します。ボックスタイプのケミカルフィルターは、 EFEM と組み合わせて集中外気処理に使用できます。

6. 関連する質問と回答

EFEM 吸気口フィルタは装置内のすべての汚染をカバーできますか?
できません。フィルターセクションは通過する空気のみを処理できます。装置内部の物質の放出や機構によって発生する粉塵については、追加の調査と処理が必要です。

EFEM 粒子濾過は化学濾過の代わりに使用できますか?
できません。粒子濾過と化学濾過のタスクは異なるため、EFEM 内の AMC は個別に評価する必要があります。

EFEMの内部空間が狭いのですが、化学濾過はどのように設置すればよいですか？
ケミカルフィルタは平面型や小型のものを装置内に組み込んで使用できますが、設置スペースや抵抗値、メンテナンス状況などの確認が必要です。

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アイリ工業ではケミカルフィルターとクリーンエア供給装置の選定パッケージを提供しております。 FFUパッケージ、ボックスタイプ、フラットタイプ、Vシェイプ製品をガス組成、処理空気量、設置条件から比較できます。製造およびサポートシステムは、モーターとファン、制御システム、板金、エアフィルター、完全な機械の組み立ての独立した研究開発と生産をカバーしており、フィルターセクション、電力、構造条件を共同で確認することが容易です。特定のガスの影響、環境への適合性、耐用年数は、対応する構成データと実際の使用条件に基づいて検証する必要があります。

学ぶケミカルフィルタ製品シリーズは、プロジェクトの条件に応じて製品とエア供給のマッチングを確認してください。目的を明確にする→条件を確認する→効果を検証する→メンテナンスを手配する。