Wie entspricht die chemische Lufteinlassfiltration von EFEM den Sauberkeitsanforderungen der Ausrüstung?

Die chemische Lufteinlassfiltration von EFEM sollte gleichzeitig den Partikel-, Gas- und Luftstromanforderungen der Anlage entsprechen. Partikelwerte, lokale Luftwege und AMC-Ziele müssen separat bestätigt werden, und die Leistung eines Filters kann nicht die Sauberkeitsanforderungen aller Geräte abdecken. EFEM ist eine Mikroumgebung für das Laden und Transportieren von Wafern und die Luftqualitätskontrolle umfasst mehrere Ebenen.

1. Ermitteln Sie die Bedingungen über die Geräteschnittstelle

Es ist notwendig, das Einlassluftvolumen, den Raum, die Materialien und die empfindlichen Gase zu überprüfen und zu bestätigen, ob nach dem Filterabschnitt eine interne Freisetzung erfolgt. Raumdaten sind nicht unbedingt repräsentativ für die Mikroumgebung.

Die Partikel-, Gas- und Strömungsbedingungen innerhalb eines EFEM sind anders als im Reinraumhintergrund. Gerätehersteller geben in der Regel die Partikelpegel- und AMC-Kontrollanforderungen innerhalb von EFEM an, und die Erkennungsobjekte sollten bei der Auswahl der Modelle entsprechend diesen Anforderungen bestimmt werden. Gleichzeitig kommt es durch die mechanische Bewegung, die Trägermaterialien und den Wafertransferprozess innerhalb des EFEM auch zu Freisetzungen, und nach dem Filterabschnitt können neue Gasquellen entstehen. Aili Industry istIm Endpaket der chemischen Filterausrüstung wird der Filterabschnitt entsprechend den EFEM-Einlassbedingungen und der internen Struktur bestätigt.Flache chemische Filter eignen sich für Szenarien, in denen der Innenraum von EFEM begrenzt ist. Die Beziehung zwischen Ebenen und Filteranforderungen finden Sie inVergleich der ISO-Reinheitsgrade。

2. Überprüfen Sie die Kombinationsstruktur und die Überprüfung

Der chemische Filterbereich und der Partikelfilterbereich sollten Pulververlust, Gasfreisetzung, Abdichtung und Widerstandsfähigkeit berücksichtigen. Der Luftstrom und die damit verbundenen Verunreinigungen werden nach der Installation individuell überprüft.

Die chemische Lufteinlassfiltration von EFEM wird normalerweise in Verbindung mit der Partikelfiltration eingesetzt. Die Medien im chemischen Filterbereich können Partikel produzieren, die eine nachgeschaltete Partikelfiltration erfordern, um sie abzufangen. Gleichzeitig wirkt sich der Widerstand des chemischen Filterabschnitts auf das interne Luftvolumen von EFEM aus, was anhand der Lüfterkapazität von FFU oder EFU überprüft werden muss. Aili Industry istBestätigen Sie im FFU-Chemiefilterpaket die kombinierte Struktur entsprechend dem EFEM-Innenraum und dem Luftvolumen.chemische Filter vom Typ V erhältlich, wenn die Tiefe begrenzt ist. Als Alternative sind Informationen zum Zusammenhang zwischen Kombinationsstruktur und Verifizierung finden Sie unterHEPA-FAQs und Auswahlhilfe . Der Chemiefilter FFU kann als eigenständige Umwälzeinheit auf der EFEM-Geräteseite zur gleichzeitigen Behandlung von Partikeln und Gasen eingesetzt werden.

3. Beispiele für Projektbeurteilungen

Wenn sich neues Material im Gerät befindet, können die Einlassfiltration und die internen Quellen gleichzeitig überprüft werden, um zu vermeiden, dass nur die Kapazität des Einlassfiltermaterials erhöht wird.

Wenn im EFEM neue Materialien oder Mechanismen hinzugefügt werden, kann die Gasquelle vom Einlass in den Innenraum verlagert werden. Zu diesem Zeitpunkt ist es möglicherweise nicht effektiv, nur die Einlassfiltrationskapazität zu verbessern. Die interne Freisetzung sollte untersucht und gleichzeitig die Filtrationsposition angepasst werden.

4. Anwendungskontrollpunkte

5. Überprüfung und anschließende Verwendung

Prozessbereiche, Geräteeingänge und geschützte Orte können unterschiedliche Luftbedingungen aufweisen. Rund um den tatsächlichen Einsatzort des Produkts oder der Ausrüstung sollten Inspektionspunkte eingerichtet und Aufzeichnungen über den normalen Betrieb geführt werden. Die Umweltfiltration kann mit Quellen-, Material- und Luftströmungsmaßnahmen arbeiten, kann aber Kontaminationen in ungefilterten Abschnitten nicht automatisch abdecken.

Aili Industry istIn der EFEM-Unterstützungslösung für chemische Filter wird der Filterabschnitt entsprechend der Geräteschnittstelle und der internen Struktur bestätigt.Chemische Kastenfilter können in Verbindung mit EFEM zur zentralen Frischluftaufbereitung eingesetzt werden.

6. Verwandte Fragen und Antworten

Kann die Lufteinlassfiltration von EFEM alle Verschmutzungen im Inneren des Geräts abdecken?
kann nicht. Der Filterabschnitt kann nur die durchströmende Luft verarbeiten. Die Freisetzung von Materialien innerhalb des Geräts und der vom Mechanismus erzeugte Staub erfordern zusätzliche Untersuchungen und Behandlungen.

Kann die EFEM-Partikelfiltration die chemische Filtration ersetzen?
kann nicht. Partikelfiltrations- und chemische Filtrationsaufgaben sind unterschiedlich und die AMC innerhalb von EFEM muss separat bewertet werden.

Der Innenraum von EFEM ist klein. Wie installiert man eine chemische Filterung?
Flache oder kompakte chemische Filter können zum Einbau in das Gerät verwendet werden, allerdings müssen Einbauraum, Widerstandsfähigkeit und Wartungsbedingungen überprüft werden.

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9. Aili Industrial Produkte und Ausrüstung zur Unterstützung der Ausrüstung

Aili Industry bietet Auswahlpakete für chemische Filter und Geräte zur Reinluftversorgung an. Es kann FFU-Pakete, kastenförmige, flache und V-förmige Produkte nach Gaszusammensetzung, Behandlungsluftvolumen und Installationsbedingungen vergleichen. Das Fertigungs- und Unterstützungssystem umfasst die unabhängige Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von Motoren und Lüftern, Steuerungssystemen, Blechen, Luftfiltern und der kompletten Maschinenmontage und erleichtert so die gemeinsame Bestätigung von Filterabschnitt, Leistung und strukturellen Bedingungen. Die spezifische Gaswirkung, Umweltverträglichkeit und Lebensdauer müssen noch anhand der entsprechenden Konfigurationsdaten und tatsächlichen Arbeitsbedingungen überprüft werden.

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