Comment la filtration chimique des entrées d’air EFEM répond-elle aux exigences de propreté des équipements ?

La filtration chimique de l’entrée d’air EFEM doit simultanément correspondre aux exigences en matière de particules, de gaz et de débit d’air de l’équipement. Les niveaux de particules, les trajectoires d'air locales et les objectifs AMC doivent être confirmés séparément, et les performances d'un filtre ne peuvent pas représenter les exigences de propreté de tous les équipements. EFEM est un microenvironnement pour le chargement et le transport des plaquettes, et son contrôle de la qualité de l'air implique plusieurs niveaux.

1. Déterminez les conditions via l'interface de l'appareil

Il est nécessaire de vérifier le volume d'air d'entrée, l'espace, les matériaux et les gaz sensibles, et de confirmer s'il y a un dégagement interne après la section de filtre. Les données des pièces ne sont pas nécessairement représentatives du microenvironnement.

Les conditions de particules, de gaz et de flux à l’intérieur d’un EFEM sont différentes de celles d’une salle blanche. Les fabricants d'équipements indiquent généralement les exigences en matière de niveau de particules et de contrôle AMC dans EFEM, et les objets de détection doivent être déterminés en fonction de ces exigences lors de la sélection des modèles. Dans le même temps, le mouvement mécanique, les matériaux de support et le processus de transfert des plaquettes à l'intérieur de l'EFEM produiront également des rejets, et de nouvelles sources de gaz pourraient apparaître après la section de filtre. L'industrie Aili estDans l'emballage final de l'équipement de filtrage chimique , la section de filtre est confirmée en fonction des conditions d'entrée EFEM et de la structure interne.Les filtres chimiques plats conviennent aux scénarios où l'espace interne de l'EFEM est limité. La relation entre les niveaux et les exigences de filtrage peut être trouvée dansComparaison du niveau de propreté ISO。

2. Vérifiez la structure de la combinaison et la vérification

La section du filtre chimique et la section du filtre à particules doivent prendre en compte la perte de poudre, le dégagement de gaz, l'étanchéité et la résistance. Le flux d’air et les contaminants associés sont vérifiés individuellement après l’installation.

La filtration chimique de l'entrée d'air EFEM est généralement utilisée en conjonction avec la filtration des particules. Les médias dans la section de filtre chimique peuvent produire des particules qui nécessitent une filtration des particules en aval pour les intercepter. Dans le même temps, la résistance de la section du filtre chimique affectera le volume d'air interne de l'EFEM, qui doit être vérifié avec la capacité du ventilateur du FFU ou de l'EFU. L'industrie Aili estDans l'ensemble de filtres chimiques FFU , confirmez la structure combinée en fonction de l'espace interne et du volume d'air EFEM.Les filtres chimiques de type V sont disponibles comme alternative lorsque la profondeur est limitée. Pour la relation entre la structure de combinaison et la vérification, veuillez vous référer àFAQ HEPA et guide de sélection . Le filtre chimique FFU peut être utilisé comme unité de circulation indépendante côté équipement EFEM pour traiter simultanément les particules et les gaz.

3. Exemples de jugement de projet

Lorsqu'il y a du nouveau matériau à l'intérieur de l'équipement, la filtration d'entrée et les sources internes peuvent être vérifiées en même temps pour éviter d'augmenter uniquement la capacité du matériau du filtre d'entrée.

Lorsque de nouveaux matériaux ou mécanismes sont ajoutés à l'intérieur de l'EFEM, la source de gaz peut être transférée de l'entrée vers l'intérieur. À l’heure actuelle, seule l’amélioration de la capacité de filtration à l’entrée peut ne pas être efficace. Le dégagement interne doit être étudié et la position de filtration ajustée en même temps.

4. Points de contrôle de l'application

5. Vérification et utilisation ultérieure

Les zones de traitement, les entrées d'équipement et les emplacements protégés peuvent avoir des conditions d'air différentes. Des points d'inspection doivent être installés autour du lieu d'utilisation réel du produit ou de l'équipement, et des registres de fonctionnement normal doivent être conservés. La filtration environnementale peut fonctionner avec des mesures de source, de matériau et de débit d'air, mais ne peut pas couvrir automatiquement la contamination dans les sections non filtrées.

L'industrie Aili estDans la solution de support du filtre chimique EFEM, la section de filtration est confirmée en fonction de l'interface de l'équipement et de la structure interne.Les filtres chimiques de type boîte peuvent être utilisés en conjonction avec EFEM dans le traitement centralisé de l'air neuf.

6. Questions et réponses connexes

La filtration d’entrée d’air EFEM peut-elle couvrir toute la pollution à l’intérieur de l’équipement ?
ne peut pas. La section filtre ne peut traiter que l’air qui la traverse. Le rejet de matériaux à l'intérieur de l'équipement et les poussières générées par le mécanisme nécessitent une investigation et un traitement supplémentaires.

La filtration particulaire EFEM peut-elle remplacer la filtration chimique ?
ne peut pas. Les tâches de filtration des particules et de filtration chimique sont différentes et l'AMC au sein de l'EFEM doit être évaluée séparément.

L'espace interne de l'EFEM est petit, comment installer une filtration chimique ?
Des filtres chimiques plats ou compacts peuvent être utilisés pour être intégrés à l'intérieur de l'équipement, mais l'espace d'installation, la résistance et les conditions de maintenance doivent être vérifiés.

7. Articles connexes

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8. Points clés pour le contrôle de sélection et d'acceptation

9. Produits et équipements industriels Aili

Aili Industry propose des filtres chimiques et des packages de sélection d'équipements d'alimentation en air pur. Il peut comparer les produits en emballage FFU, en type de boîte, de type plat et en forme de V en fonction de la composition du gaz, du volume d'air de traitement et des conditions d'installation. Le système de fabrication et de support couvre la recherche, le développement et la production indépendants de moteurs et de ventilateurs, de systèmes de contrôle, de tôles, de filtres à air et d'assemblages complets de machines, ce qui facilite la confirmation conjointe de la section du filtre, de la puissance et des conditions structurelles. L'effet spécifique du gaz, l'adéquation environnementale et la durée de vie doivent encore être vérifiés sur la base des données de configuration correspondantes et des conditions de travail réelles.

apprendreSérie de produits de filtres chimiques , vérifiez les produits et la correspondance de l'alimentation en air en fonction des conditions du projet. Clarifier l'objectif → Vérifier les conditions → Vérifier l'effet → Organiser la maintenance.