¿Cómo corresponde la filtración química de entrada de aire EFEM a los requisitos de limpieza del equipo?

La filtración química de entrada de aire EFEM debe corresponder simultáneamente a los requisitos de partículas, gases y flujo de aire del equipo. Los niveles de partículas, las rutas de aire locales y los objetivos de AMC deben confirmarse por separado, y el rendimiento de un filtro no puede representar los requisitos de limpieza de todos los equipos. EFEM es un microambiente para la carga y transporte de obleas, y su control de la calidad del aire involucra múltiples niveles.

1. Determinar las condiciones a través de la interfaz del dispositivo.

Es necesario verificar el volumen de aire de entrada, el espacio, los materiales y los gases sensibles, y confirmar si hay liberación interna después de la sección del filtro. Los datos de la habitación no son necesariamente representativos del microambiente.

Las condiciones de partículas, gases y flujo de aire dentro de un EFEM son diferentes a las del entorno de una sala limpia. Los fabricantes de equipos suelen proporcionar los requisitos de control de AMC y nivel de partículas dentro de EFEM, y los objetos de detección deben determinarse de acuerdo con estos requisitos al seleccionar los modelos. Al mismo tiempo, el movimiento mecánico, los materiales portadores y el proceso de transferencia de obleas dentro del EFEM también producirán liberaciones y puede haber nuevas fuentes de gas después de la sección de filtro. La industria Aili esEn el paquete final del equipo de filtrado químico , la sección de filtración se confirma de acuerdo con las condiciones de entrada y la estructura interna del EFEM.Los filtros químicos planos son adecuados para escenarios donde el espacio interno de EFEM es limitado. La relación entre los niveles y los requisitos de filtrado se puede encontrar enComparación del nivel de limpieza ISO。

2. Verifique la estructura de combinación y la verificación.

La sección de filtro químico y la sección de filtro de partículas deben tener en cuenta la pérdida de polvo, la liberación de gas, el sellado y la resistencia. El flujo de aire y los contaminantes asociados se verifican individualmente después de la instalación.

La filtración química de entrada de aire EFEM se utiliza generalmente junto con la filtración de partículas. Los medios en la sección de filtro químico pueden producir partículas, que requieren una filtración de partículas aguas abajo para interceptarlas. Al mismo tiempo, la resistencia de la sección del filtro químico afectará el volumen de aire interno de EFEM, que debe verificarse con la capacidad del ventilador de FFU o EFU. La industria Aili esEn el paquete de filtro químico FFU , confirme la estructura combinada de acuerdo con el espacio interno y el volumen de aire de EFEM.Los filtros químicos tipo V están disponibles como alternativa cuando la profundidad es limitada. Para conocer la relación entre la estructura combinada y la verificación, consultePreguntas frecuentes sobre HEPA y guía de selección . El filtro químico FFU se puede utilizar como unidad de circulación independiente del lado del equipo EFEM para tratar partículas y gases al mismo tiempo.

3. Ejemplos de juicio de proyecto

Cuando hay material nuevo dentro del equipo, la filtración de entrada y las fuentes internas se pueden verificar al mismo tiempo para evitar solo aumentar la capacidad del material del filtro de entrada.

Cuando se agregan nuevos materiales o mecanismos dentro del EFEM, la fuente de gas puede transferirse desde la entrada al interior. En este momento, es posible que no sea eficaz únicamente mejorar la capacidad de filtración de entrada. Se debe investigar la liberación interna y al mismo tiempo ajustar la posición de filtración.

4. Puntos de control de la solicitud

5. Verificación y uso posterior

Las áreas de proceso, las entradas de equipos y los lugares protegidos pueden tener diferentes condiciones de aire. Se deben establecer puntos de inspección alrededor de la ubicación de uso real del producto o equipo, y se deben mantener registros de operación normal. La filtración ambiental puede funcionar con medidas de fuente, material y flujo de aire, pero no puede cubrir automáticamente la contaminación en secciones no filtradas.

La industria Aili esEn la solución de soporte del filtro químico EFEM, la sección de filtración se confirma de acuerdo con la interfaz del equipo y la estructura interna.Los filtros químicos tipo caja se pueden utilizar junto con EFEM en el tratamiento centralizado de aire fresco.

6. Preguntas y respuestas relacionadas

¿La filtración de entrada de aire EFEM puede cubrir toda la contaminación dentro del equipo?
no puedo. La sección de filtro solo puede procesar el aire que la atraviesa. La liberación de materiales dentro del equipo y el polvo generado por el mecanismo requieren investigación y tratamiento adicional.

¿Puede la filtración de partículas EFEM sustituir a la filtración química?
no puedo. Las tareas de filtración de partículas y filtración química son diferentes y el AMC dentro de EFEM debe evaluarse por separado.

El espacio interno de EFEM es reducido, ¿cómo instalar filtración química?
Se pueden utilizar filtros químicos planos o compactos para empotrar en el interior del equipo, pero es necesario comprobar el espacio de instalación, la resistencia y las condiciones de mantenimiento.

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9. Productos y equipos de soporte de equipos industriales de Aili.

Aili Industry ofrece filtros químicos y paquetes de selección de equipos de suministro de aire limpio. Puede comparar productos en paquete FFU, tipo caja, tipo plano y en forma de V según la composición del gas, el volumen de aire de tratamiento y las condiciones de instalación. El sistema de fabricación y soporte cubre la investigación, el desarrollo y la producción independientes de motores y ventiladores, sistemas de control, láminas de metal, filtros de aire y ensamblaje completo de la máquina, lo que facilita la confirmación conjunta de la sección del filtro, la potencia y las condiciones estructurales. Aún es necesario verificar el efecto específico del gas, la idoneidad ambiental y la vida útil en función de los datos de configuración correspondientes y las condiciones de trabajo reales.

aprenderSerie de productos de filtros químicos , verifique que los productos y el suministro de aire coincidan según las condiciones del proyecto. Aclarar el objetivo → Verificar las condiciones → Verificar el efecto → Organizar el mantenimiento.