كيف يتوافق الترشيح الكيميائي لمدخل الهواء EFEM مع متطلبات نظافة المعدات؟

يجب أن يتوافق الترشيح الكيميائي لمدخل الهواء EFEM في نفس الوقت مع متطلبات الجسيمات والغاز وتدفق الهواء للمعدات. يجب تأكيد مستويات الجسيمات ومسارات الهواء المحلية وأهداف AMC بشكل منفصل، ولا يمكن أن يمثل أداء مرشح واحد متطلبات النظافة لجميع المعدات. EFEM هي بيئة دقيقة لتحميل الرقائق ونقلها، ويتضمن التحكم في جودة الهواء مستويات متعددة.

1. تحديد الشروط من خلال واجهة الجهاز

من الضروري التحقق من حجم الهواء الداخل والمساحة والمواد والغازات الحساسة، والتأكد من وجود إطلاق داخلي بعد قسم المرشح. بيانات الغرفة لا تمثل بالضرورة البيئة الدقيقة.

تختلف ظروف تدفق الجسيمات والغاز والهواء داخل EFEM عنها في خلفية غرفة نظيفة. عادة ما تعطي الشركات المصنعة للمعدات مستوى الجسيمات ومتطلبات التحكم AMC داخل EFEM، ويجب تحديد كائنات الكشف وفقًا لهذه المتطلبات عند اختيار النماذج. وفي الوقت نفسه، فإن الحركة الميكانيكية والمواد الحاملة وعملية نقل الرقاقة داخل EFEM ستنتج أيضًا إصدارات، وقد تكون هناك مصادر جديدة للغاز بعد قسم المرشح. صناعة ايلي هيفي الحزمة النهائية لمعدات التصفية الكيميائية ، يتم تأكيد قسم الترشيح وفقًا لظروف مدخل EFEM والهيكل الداخلي.تعتبر المرشحات الكيميائية المسطحة مناسبة للسيناريوهات التي تكون فيها المساحة الداخلية لـ EFEM محدودة. يمكن العثور على العلاقة بين المستويات ومتطلبات التصفية فيمقارنة مستوى النظافة ISO。

2. تحقق من بنية المجموعة والتحقق منها

يجب أن يأخذ قسم المرشح الكيميائي وقسم مرشح الجسيمات في الاعتبار فقدان المسحوق، وإطلاق الغاز، والختم والمقاومة. يتم التحقق من تدفق الهواء والملوثات المرتبطة به بشكل فردي بعد التثبيت.

عادة ما يتم استخدام الترشيح الكيميائي لمدخل الهواء EFEM بالتزامن مع ترشيح الجسيمات. قد تنتج الوسائط الموجودة في قسم المرشح الكيميائي جزيئات، والتي تتطلب ترشيح الجسيمات في اتجاه مجرى النهر لاعتراضها. وفي الوقت نفسه، ستؤثر مقاومة قسم المرشح الكيميائي على حجم الهواء الداخلي لـ EFEM، والذي يجب فحصه باستخدام سعة مروحة FFU أو EFU. صناعة ايلي هيفي حزمة المرشح الكيميائي FFU ، تأكد من بنية المجموعة وفقًا للمساحة الداخلية وحجم الهواء EFEM.تتوفر المرشحات الكيميائية من النوع V كبديل عندما يكون العمق محدودًا. لمعرفة العلاقة بين هيكل المجموعة والتحقق، يرجى الرجوع إلىالأسئلة الشائعة حول HEPA ودليل الاختيار . يمكن استخدام المرشح الكيميائي FFU كوحدة تدوير مستقلة على جانب معدات EFEM لمعالجة الجسيمات والغازات في نفس الوقت.

3. أمثلة على حكم المشروع

عندما تكون هناك مادة جديدة داخل الجهاز، يمكن فحص ترشيح المدخل والمصادر الداخلية في نفس الوقت لتجنب زيادة سعة مادة مرشح المدخل فقط.

عند إضافة مواد أو آليات جديدة داخل EFEM، قد يتم نقل مصدر الغاز من المدخل إلى الداخل. في هذا الوقت، قد لا يكون تحسين قدرة ترشيح المدخل فعالاً. ينبغي التحقق من الإطلاق الداخلي وتعديل موضع الترشيح في نفس الوقت.

4. نقاط فحص التطبيق

5. التحقق والاستخدام اللاحق

قد تختلف ظروف الهواء في مناطق العمليات ومداخل المعدات والمواقع المحمية. يجب إنشاء نقاط التفتيش حول الموقع الفعلي لاستخدام المنتج أو الجهاز، ويجب الاحتفاظ بسجلات التشغيل العادية. يمكن أن يعمل الترشيح البيئي مع مقاييس المصدر والمواد وتدفق الهواء، ولكن لا يمكنه تغطية التلوث تلقائيًا في الأقسام غير المرشحة.

صناعة ايلي هيفي الحل الداعم للمرشح الكيميائي EFEM، يتم تأكيد قسم الترشيح وفقًا لواجهة المعدات والهيكل الداخلي.يمكن استخدام المرشحات الكيميائية من النوع الصندوقي مع EFEM في المعالجة المركزية للهواء النقي.

6. الأسئلة والأجوبة ذات الصلة

هل يمكن لترشيح مدخل الهواء EFEM تغطية جميع التلوث داخل المعدات؟
لا أستطيع. يمكن لقسم الفلتر معالجة الهواء الذي يمر عبره فقط. يتطلب إطلاق المواد داخل المعدات والغبار الناتج عن الآلية إجراء المزيد من التحقيق والمعالجة.

هل يمكن لترشيح الجسيمات EFEM أن يحل محل الترشيح الكيميائي؟
لا أستطيع. تختلف مهام ترشيح الجسيمات والترشيح الكيميائي، ويجب تقييم AMC داخل EFEM بشكل منفصل.

المساحة الداخلية لـ EFEM صغيرة، كيفية تركيب الترشيح الكيميائي؟
يمكن استخدام المرشحات الكيميائية المسطحة أو المدمجة ليتم دمجها داخل المعدات، ولكن يجب التحقق من مساحة التثبيت والمقاومة وظروف الصيانة.

7. المقالات ذات الصلة

سلسلة منتجات الفلتر الكيميائي

مرشح كيميائي FFU

مرشح كيميائي مسطح

الأسئلة الشائعة حول HEPA ودليل الاختيار

ما هو الفلتر الكيميائي FFU؟ الفرق الرئيسي من FFU العادي؟

8. النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

9. ايلي المنتجات الصناعية والمعدات المساندة

توفر Aili Industry المرشحات الكيميائية وحزم اختيار معدات إمداد الهواء النظيف. يمكنها مقارنة منتجات FFU ونوع الصندوق والنوع المسطح والمنتجات على شكل حرف V وفقًا لتركيبة الغاز وحجم الهواء المعالج وظروف التثبيت. يغطي نظام التصنيع والدعم البحث المستقل والتطوير والإنتاج للمحركات والمراوح وأنظمة التحكم والصفائح المعدنية ومرشحات الهواء وتجميع الماكينة بالكامل، مما يجعل من السهل التأكد بشكل مشترك من قسم المرشح والطاقة والظروف الهيكلية. لا يزال يتعين التحقق من تأثير الغاز المحدد والملاءمة البيئية وعمر الخدمة بناءً على بيانات التكوين المقابلة وظروف العمل الفعلية.

يتعلمسلسلة منتجات الفلتر الكيميائي ، تحقق من مطابقة المنتجات وإمدادات الهواء وفقًا لظروف المشروع. قم بتوضيح الهدف → التحقق من الشروط → التحقق من التأثير → ترتيب الصيانة.