Lọc hóa học đầu vào không khí của EFEM tương ứng với yêu cầu về độ sạch của thiết bị như thế nào?

Lọc hóa học đầu vào không khí của EFEM phải đồng thời tương ứng với các yêu cầu về hạt, khí và luồng không khí của thiết bị. Mức độ hạt, đường dẫn khí cục bộ và mục tiêu AMC cần phải được xác nhận riêng biệt và hiệu suất của một bộ lọc không thể đại diện cho yêu cầu về độ sạch của tất cả các thiết bị. EFEM là một môi trường vi mô để tải và vận chuyển tấm bán dẫn, đồng thời việc kiểm soát chất lượng không khí của nó bao gồm nhiều cấp độ.

1. Xác định điều kiện thông qua giao diện thiết bị

Cần kiểm tra thể tích không khí vào, không gian, vật liệu và các loại khí nhạy cảm, đồng thời xác nhận xem có sự thoát ra bên trong sau phần bộ lọc hay không. Dữ liệu phòng không nhất thiết phải đại diện cho môi trường vi mô.

Các điều kiện về hạt, khí và dòng chảy bên trong EFEM khác với trong nền phòng sạch. Các nhà sản xuất thiết bị thường đưa ra các yêu cầu về mức độ hạt và kiểm soát AMC trong EFEM và các đối tượng phát hiện phải được xác định theo các yêu cầu này khi lựa chọn kiểu máy. Đồng thời, chuyển động cơ học, vật liệu mang và quá trình chuyển wafer bên trong EFEM cũng sẽ tạo ra sự thoát ra và có thể có những nguồn khí mới sau phần lọc. Công nghiệp Aili làTrong gói cuối cùng của thiết bị lọc hóa học , phần lọc được xác nhận theo các điều kiện đầu vào và cấu trúc bên trong của EFEM.Bộ lọc hóa học phẳng phù hợp với các tình huống mà không gian bên trong của EFEM bị hạn chế. Mối quan hệ giữa các cấp độ và yêu cầu lọc có thể được tìm thấy trongSo sánh mức độ sạch ISO。

2. Kiểm tra cấu trúc kết hợp và xác minh

Phần lọc hóa học và phần lọc hạt phải tính đến tổn thất bột, thoát khí, bịt kín và cản trở. Luồng khí và các chất gây ô nhiễm liên quan được xác minh riêng lẻ sau khi lắp đặt.

Lọc hóa học đầu vào không khí EFEM thường được sử dụng kết hợp với lọc hạt. Môi trường trong phần lọc hóa học có thể tạo ra các hạt, cần phải lọc hạt ở cuối dòng để chặn chúng. Đồng thời, điện trở của phần lọc hóa chất sẽ ảnh hưởng đến lượng không khí bên trong của EFEM, cần kiểm tra bằng công suất quạt FFU hoặc EFU. Công nghiệp Aili làTrong gói bộ lọc hóa học FFU , xác nhận cấu trúc kết hợp theo không gian bên trong EFEM và thể tích không khí.Bộ lọc hóa học loại V có sẵn để thay thế khi độ sâu bị hạn chế. Để biết mối quan hệ giữa cấu trúc kết hợp và xác minh, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp về HEPA và Hướng dẫn lựa chọn . Bộ lọc hóa học FFU có thể được sử dụng như một bộ phận tuần hoàn độc lập về phía thiết bị EFEM để xử lý các hạt và khí cùng một lúc.

3. Ví dụ về đánh giá dự án

Khi có vật liệu mới bên trong thiết bị, có thể kiểm tra đồng thời quá trình lọc đầu vào và nguồn bên trong để tránh chỉ tăng công suất vật liệu lọc đầu vào.

Khi các vật liệu hoặc cơ chế mới được thêm vào bên trong EFEM, nguồn khí có thể được chuyển từ đầu vào vào bên trong. Lúc này, chỉ cải thiện khả năng lọc đầu vào có thể không hiệu quả. Việc phát hành bên trong cần được điều tra và điều chỉnh vị trí lọc cùng một lúc.

4. Điểm kiểm tra hồ sơ

5. Xác minh và sử dụng tiếp theo

Khu vực xử lý, lối vào thiết bị và vị trí được bảo vệ có thể có điều kiện không khí khác nhau. Các điểm kiểm tra phải được thiết lập xung quanh vị trí sử dụng sản phẩm hoặc thiết bị thực tế và phải lưu giữ hồ sơ hoạt động bình thường. Lọc môi trường có thể hoạt động với các biện pháp nguồn, vật liệu và luồng không khí, nhưng không thể tự động che phủ ô nhiễm ở những phần chưa được lọc.

Công nghiệp Aili làTrong giải pháp hỗ trợ bộ lọc hóa học EFEM, phần lọc được xác nhận theo giao diện thiết bị và cấu trúc bên trong.Bộ lọc hóa học dạng hộp có thể được sử dụng kết hợp với EFEM trong xử lý không khí trong lành tập trung.

6. Câu hỏi và đáp án liên quan

Bộ lọc khí vào của EFEM có thể xử lý được mọi ô nhiễm bên trong thiết bị không?
không thể. Phần bộ lọc chỉ có thể xử lý không khí đi qua nó. Việc giải phóng vật liệu bên trong thiết bị và bụi do cơ chế tạo ra cần được điều tra và xử lý bổ sung.

Lọc hạt EFEM có thể thay thế lọc hóa học?
không thể. Nhiệm vụ lọc hạt và lọc hóa học là khác nhau và AMC trong EFEM cần được đánh giá riêng.

Không gian bên trong của EFEM nhỏ, lắp đặt bộ lọc hóa học như thế nào?
Các bộ lọc hóa học phẳng hoặc nhỏ gọn có thể được sử dụng để nhúng bên trong thiết bị, nhưng cần phải kiểm tra không gian lắp đặt, điện trở và điều kiện bảo trì.

7. Các bài viết liên quan

Dòng sản phẩm lọc hóa chất

Bộ lọc hóa học FFU

Bộ lọc hóa học phẳng

Các câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA

Bộ lọc hóa học FFU là gì? Sự khác biệt chính so với FFU thông thường?

8. Những điểm chính trong việc lựa chọn và nghiệm thu

9. Sản phẩm công nghiệp Aili và thiết bị hỗ trợ

Aili Industry cung cấp các bộ lọc hóa học và các gói lựa chọn thiết bị cung cấp không khí sạch. Nó có thể so sánh gói FFU, loại hộp, loại phẳng và sản phẩm hình chữ V theo thành phần khí, thể tích không khí xử lý và điều kiện lắp đặt. Hệ thống sản xuất và hỗ trợ bao gồm nghiên cứu, phát triển và sản xuất độc lập động cơ và quạt, hệ thống điều khiển, tấm kim loại, bộ lọc không khí và lắp ráp máy hoàn chỉnh, giúp dễ dàng xác nhận chung phần bộ lọc, nguồn điện và các điều kiện kết cấu. Hiệu ứng khí cụ thể, sự phù hợp với môi trường và tuổi thọ sử dụng vẫn cần được xác minh dựa trên dữ liệu cấu hình tương ứng và điều kiện làm việc thực tế.

học hỏiDòng sản phẩm lọc hóa học , kiểm tra sản phẩm và nguồn cung cấp không khí phù hợp theo điều kiện của dự án. Làm rõ mục tiêu → Kiểm tra điều kiện → Xác minh hiệu quả → Sắp xếp bảo trì.