Насколько химическая фильтрация приточного воздуха EFEM соответствует требованиям чистоты оборудования?

Химическая фильтрация воздуха на входе EFEM должна одновременно соответствовать требованиям оборудования к частицам, газу и воздушному потоку. Уровни частиц, местные воздушные пути и цели AMC необходимо подтверждать отдельно, а производительность одного фильтра не может соответствовать требованиям чистоты всего оборудования. EFEM представляет собой микросреду для загрузки и транспортировки пластин, а контроль качества воздуха в ней включает несколько уровней.

1. Определите условия через интерфейс устройства.

Необходимо проверить объем входящего воздуха, пространство, материалы и чувствительные газы, а также убедиться в наличии внутреннего выброса после секции фильтра. Данные о помещении не обязательно отражают микросреду.

Условия частиц, газа и воздушного потока внутри EFEM отличаются от условий в чистой комнате. Производители оборудования обычно указывают требования к уровню частиц и контролю AMC в рамках EFEM, и объекты обнаружения должны определяться в соответствии с этими требованиями при выборе модели. В то же время механическое движение, материалы носителя и процесс переноса пластин внутри EFEM также будут вызывать выбросы, и после секции фильтра могут появиться новые источники газа. Айли ИндустрияВ конечном пакете оборудования для химической фильтрации секция фильтрации соответствует условиям на входе и внутренней структуре EFEM.Плоские химические фильтры подходят для случаев, когда внутреннее пространство EFEM ограничено. Взаимосвязь между уровнями и требованиями фильтрации можно найти вСравнение уровня чистоты ISO。

2. Проверьте структуру комбинации и проверку.

Секция химического фильтра и секция фильтра твердых частиц должны учитывать потери порошка, выделение газа, герметичность и сопротивление. Поток воздуха и наличие связанных с ним загрязнений проверяются индивидуально после установки.

Химическая фильтрация воздухозаборника EFEM обычно используется в сочетании с фильтрацией частиц. Среда в секции химического фильтра может выделять частицы, для улавливания которых требуется последующая фильтрация частиц. При этом сопротивление секции химического фильтра будет влиять на внутренний объем воздуха EFEM, что необходимо сверить с производительностью вентилятора FFU или EFU. Айли ИндустрияВ пакете химических фильтров FFU подтвердите структуру комбинации в соответствии с внутренним пространством EFEM и объемом воздуха.Химические фильтры типа V доступны в качестве альтернативы, когда глубина ограничена. Информацию о взаимосвязи между структурой комбинации и проверкой см.HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору . Химический фильтр FFU может использоваться как независимая циркуляционная установка на стороне оборудования EFEM для одновременной очистки частиц и газов.

3. Примеры оценки проекта

Когда внутри оборудования появляется новый материал, входную фильтрацию и внутренние источники можно проверить одновременно, чтобы избежать только увеличения емкости материала входного фильтра.

Когда внутри EFEM добавляются новые материалы или механизмы, источник газа может быть перенесен из входного отверстия внутрь. В настоящее время только улучшение производительности входной фильтрации может оказаться неэффективным. Необходимо проверить внутренний выпуск и одновременно отрегулировать положение фильтрации.

4. Контрольные точки приложения

5. Проверка и последующее использование

Технологические зоны, входы к оборудованию и защищенные помещения могут иметь разные условия воздуха. Вокруг места фактического использования продукта или оборудования должны быть установлены точки контроля, и следует вести записи о нормальной работе. Фильтрация окружающей среды может работать с источниками, материалами и потоками воздуха, но не может автоматически покрывать загрязнения в нефильтруемых секциях.

Айли ИндустрияВ поддерживающем решении химического фильтра EFEM секция фильтрации подтверждена в соответствии с интерфейсом оборудования и внутренней структурой.Химические фильтры коробчатого типа могут использоваться совместно с EFEM при централизованной очистке свежего воздуха.

6. Похожие вопросы и ответы

Может ли фильтрация приточного воздуха EFEM покрыть все загрязнения внутри оборудования?
не могу. Секция фильтра может обрабатывать только проходящий через нее воздух. Выбросы материалов внутри оборудования и пыль, образующаяся в механизме, требуют дополнительного расследования и лечения.

Может ли фильтрация частиц EFEM заменить химическую фильтрацию?
не могу. Задачи фильтрации частиц и химической фильтрации различны, и AMC в EFEM необходимо оценивать отдельно.

Внутреннее пространство EFEM маленькое, как установить химическую фильтрацию?
Плоские или компактные химические фильтры можно использовать для встраивания внутрь оборудования, однако необходимо проверить пространство для установки, устойчивость и условия обслуживания.

7. Статьи по теме

Серия химических фильтров

Химический фильтр ФФУ

Плоский химический фильтр

HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору

Что такое химический фильтр FFU? Основное отличие от обычного ФФУ?

8. Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

9. Aili Промышленная продукция и оборудование, вспомогательное оборудование

Aili Industry предоставляет химические фильтры и комплекты оборудования для подачи чистого воздуха. Он может сравнивать изделия FFU-упаковки, коробчатого типа, плоского типа и V-образной формы по составу газа, объему обрабатываемого воздуха и условиям установки. Система производства и поддержки охватывает независимые исследования, разработки и производство двигателей и вентиляторов, систем управления, листового металла, воздушных фильтров и полной сборки оборудования, что позволяет легко совместно проверять секцию фильтра, мощность и состояние конструкции. Удельное газовое воздействие, экологическая пригодность и срок службы все еще требуют проверки на основе соответствующих данных конфигурации и реальных условий работы.

учитьсяСерия химических фильтров . Проверьте соответствие продуктов и подачи воздуха условиям проекта. Уточнить цель → Проверить условия → Проверить эффект → Организовать техническое обслуживание.