低アウトガス化学フィルター媒体は繊細なプロセスにどのような影響を及ぼしますか?

低アウトガス化学フィルター材料は、フィルターセクション自体が敏感なプロセス汚染源になる可能性を減らすのに役立ちますが、低アウトガスという名前には、対応する対象、方法、および条件が必要です。材質の説明を、デバイス全体がリリースされていないことを直接証明するものとして解釈すべきではありません。低アウトガス化の意義は、対象ガスの処理能力を置き換えるのではなく、フィルターセクション自体の「二次汚染」のリスクを軽減することにあります。

1. 完全な材料システムを確認する

フィルター媒体に加えて、フレーム、接着剤、シール、パッケージも空気に影響を与える可能性があります。評価には、製品構成と実際の動作環境が含まれる必要があります。

ケミカルフィルターは濾材、フレーム、シール、接着剤で構成されています。フィルター素材自体のガス放出量は低いですが、フレームのコーティングやシーラントのガス放出量も低いというわけではありません。デリケートなプロセスでは、コンポーネントの放出が製品に影響を与える可能性があります。アイリ産業はケミカルフィルターの選択時に、完全な製品構成に従って材料放出を確認してください。箱型ケミカルフィルターの枠材やシール材はプロジェクトの環境条件に合わせて確認します。業界情報には、二次汚染のリスクを軽減するために、ケミカルフィルターはガス放出がなく、発塵が少ない特性を備えている必要があるとも記載されています。レベルとフィルタリング要件の関係は、次のとおりです。ISO清浄度レベルの比較。-2-16

2. 特定のプロセス目標を結びつける

異なるプロセスでは、異なる成分と濃度に焦点を当てます。どの放出物が保護区域に入ることが許可されていないのかを明確にし、下流地点で検証する必要があります。

フォトリソグラフィープロセスはフォトレジストに対するアルカリ性ガスの影響に焦点を当て、膜堆積は有機物の凝縮と金属汚染に焦点を当て、ディスプレイ製造はOLEDプロセスに対する有機ガスの放出の影響に焦点を当てます。低ガス放出フィルター材料の重要性は、特定のプロセスの敏感なコンポーネントに基づいて判断する必要があります。アイリ産業はFFU ケミカルフィルターを適合させる場合は、装置側のプロセス要件に従ってメディアの適合性を確認してください。平板ケミカルフィルターは、スペースが限られている敏感な機器内での使用に適しています。低アウトガスとプロセス保護の関係については、こちらを参照してください。HEPA FAQ と選択ガイド。ケミカルフィルターFFUは、通常のFFUにケミカルフィルター層を追加したものです。その物質放出は、ケミカルフィルター素材自体だけでなく、FFU ボックス素材と一緒に評価する必要があります。

3. 案件判断の例

装置の端でろ過した後でも関連する有機成分が見つかった場合は、吸入空気だけでなく、フィルターセクションの材質と装置の内部発生源を同時に調査できます。

ろ過セクション後のガス中にまだ有機成分が検出される場合、その原因はフィルターの材料、シーラント、フレームのコーティング、または内部機器の材料である可能性があります。低アウトガスフィルター媒体は、1 つの発生源の可能性を減らすだけで、他の発生源を排除することはできません。判断する際には、入口と出口だけを測定するのではなく、空気の流れの経路に沿ってサンプルを採取する必要があります。

4. 申請のチェックポイント

5. 検証とその後の使用

濾材は最終的には実際の構造物に組み込む必要があります。ガスの適合性を確認する際には、有効断面積、風量分布、材質の状態、シール性なども確認する必要があります。サンプルデータとフィールド条件の間に違いがある場合は、その違いを説明し、単一の数値だけを比較することを避けるために対応する検証を手配する必要があります。

アイリ産業はケミカルフィルタの製品情報には、フィルタ材質およびシール材質の情報が型式ごとに記載されております。V型ケミカルフィルタは集中システムに適しています。特定のリリース レベルは、対応する製品情報とオンサイト テストの対象となります。

6. 関連する質問と回答

低ガス放出フィルター素材はまったくガスを放出しないのでしょうか?
このままでは理解できません。低アウトガスは相対的な概念です。対応するテスト対象、方法、条件によって異なります。放出ゼロを絶対に保証するものではありません。

フィルター材はアウトガスが少ないのですが、フレームやシールにも注意が必要ですか？
必要。フレームのコーティング、接着剤、シールはすべて剥離される可能性があり、デリケートなプロセスでは完全な製品構成を確認する必要があります。

低アウトガスはガス濾過性能を置き換えることができますか?
できません。ガス放出量が少ないため、フィルターセクション自体の汚染のリスクが軽減されますが、対象ガスの処理能力は別途確認する必要があります。

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アイリ工業ではケミカルフィルターとクリーンエア供給装置の選定パッケージを提供しております。 FFUパッケージ、ボックスタイプ、フラットタイプ、Vシェイプ製品をガス組成、処理空気量、設置条件から比較できます。製造およびサポートシステムは、モーターとファン、制御システム、板金、エアフィルター、完全な機械の組み立ての独立した研究開発と生産をカバーしており、フィルターセクション、電力、構造条件を共同で確認することが容易です。特定のガスの影響、環境への適合性、耐用年数は、対応する構成データと実際の使用条件に基づいて検証する必要があります。

学ぶケミカルフィルタ製品シリーズは、プロジェクトの条件に応じて製品とエア供給のマッチングを確認してください。目的を明確にする→条件を確認する→効果を検証する→メンテナンスを手配する。