Die AMC-Untersuchung der Luftversorgung rund um Ätzgeräte sollte auf relevanten Materialien, Gerätebetrieb, angrenzenden Bereichen und externen Frischluftquellen basieren. Aus der Bezeichnung des Ätzverfahrens lässt sich nicht auf alle Gase schließen, noch kann die Prozessabgaskontrolle durch saubere Luft ersetzt werden. Zusätzliche Luft ist ein Schutzmittel, kein Mittel zur Emissionsbehandlung.

Unterscheiden Sie zunächst zwischen Luftzufuhr und Prozessabluft

Die Funktion der Zusatzluft rund um die Ätzanlage besteht darin, den Luftzustand der Mikroumgebung oder des Betriebsbereichs der Anlage aufrechtzuerhalten, während Prozessabgase spezielle Absaug- und Aufbereitungssysteme erfordern. Die beiden werden oft gemeinsam besprochen. Der Filterbereich des Zusatzluftsystems kümmert sich um die Umgebungsluft, die in die Umgebung des Geräts gelangt. Das durch den Prozess entstehende Abgas sollte über das Abgasrohr abgeführt werden und nicht durch eine zusätzliche Luftfilterung „verdünnt“ werden. Bei unzureichender Abluft oder fehlenden Dichtungsmaßnahmen kann das Prozessgas in den Zusatzluftbereich gelangen. In diesem Fall muss zunächst das Abgasproblem gelöst werden, anstatt die zusätzliche Luftfilterung zu verstärken. Die Unterscheidung dieser beiden Systeme ist die Voraussetzung für die Untersuchung der Quelle von AMC.

Externe AMC, die zusätzliche Luft mit sich bringen kann

Handelt es sich bei der Zusatzluft um Frischluft oder kommt sie aus einem angrenzenden Bereich, kann es sein, dass externe AMC in die Umgebung des Gerätes eingebracht werden. Zu den Quellen gehören saure Gase und organische Emissionen in der Außenluft, flüchtige Stoffe aus angrenzenden Nassprozessen oder Reinigungsbereichen sowie andere Prozessfreisetzungen, die über Rückluftsysteme übertragen werden. Der Standort und die Medienkonfiguration des Zusatzluftfilterabschnitts sollten für diese externen Quellen ausgelegt sein. Wenn sich der Frischlufteinlass in der Nähe des Abluftauslasses oder der Verschmutzungsquelle befindet, kann die Belastung höher sein. Bei der Untersuchung sollten der Ort der Luftansaugung und die Umgebung erfasst werden, um den Anteil der Fremdeinträge an der Gesamtbelastung zu ermitteln. Informationen zur Methode zur Unterscheidung von äußerer und innerer Verschmutzung finden Sie unterWie kann man unterscheiden, ob die Verschmutzung in der Werkstatt von außen oder von innen kommt?。

Geräteoperationen und Materialfreigaben sind eine weitere Quelle

Wartungsarbeiten an der Ätzanlage selbst, das Öffnen der Kammer, der Austausch von Verbrauchsmaterialien und die Lagerung von Peripheriematerialien können zu kurzfristigen Freisetzungen führen. Diese Freisetzungen erfolgen im Gegensatz zu externen Zusatzlufteingängen in der Nähe des Geräts und können während bestimmter Betriebsperioden konzentriert sein. Wenn sich der Zusatzluftfilterabschnitt vor dem Gerät befindet und die Freisetzung stromabwärts erfolgt, deckt der Filterabschnitt diesen Teil der Verschmutzung nicht ab. Während der Untersuchung sollten die Betriebsaufzeichnungen des Geräts und der Zeitraum des Auftretens von Geruch oder Konzentration kombiniert werden, um den Beitrag der internen Freisetzung zu bestimmen. Informationen zur Filterkonfiguration der geräteseitigen Mikroumgebung finden Sie unterWie entspricht die chemische Lufteinlassfiltration von EFEM den Sauberkeitsanforderungen der Ausrüstung?。

Benachbarte Regionen und die Ausbreitung über Regionen hinweg können nicht ignoriert werden

Die Peripherie von Ätzanlagen grenzt häufig an andere Prozesse. Säurenebel, alkalisches Gas oder organische Freisetzungen aus angrenzenden Bereichen können durch Türbereiche, Lücken oder die gemeinsame Rückluft eindringen. Die Ausbreitungswege dieser Quellen unterscheiden sich von Frischluftsystemen und die Filterkonfiguration muss den tatsächlichen Luftweg abdecken. Wenn eine überregionale Übertragung offensichtlich ist, kann es direkter sein, Trennwände, Druckunterschiede oder lokale Abluft zu verbessern, als zusätzliche Luftfilterabschnitte hinzuzufügen. Während der Untersuchung sollten die Konzentrations- und Zeitperiodenänderungen rund um das Gerät und angrenzende Bereiche verglichen werden, um den vorherrschenden Pfad zu bestätigen.

Aili industrielle unterstützende Ausrüstung

Für das Filterpaket der Zusatzluft um Ätzgeräte empfehlen wir in der Regel, dass Kunden zunächst den externen Eingang, die Gerätefreisetzung und die Übertragung im angrenzenden Bereich separat untersuchen und dann entscheiden, ob der Filterabschnitt am Zusatzlufteinlass, Zirkulationsabschnitt oder an einer lokalen Stelle am Geräteende platziert werden soll. Aili Industry kann Auswahlpakete für chemische Filterprodukte vom Kasten-, Flachplatten- und V-Typ anbieten. Informationen zu kastenförmigen MAU-Paketen finden Sie unterMAU chemischer Kastenfilter , Produktserien können besichtigt werdenProduktpalette chemischer Filter . Geräteseitige Anwendungen können verwendet werdenChemischer Filter FFU -Form, integrierte chemische Adsorptionsschicht mitHEPA/ULPA-Filter , Partikelfiltration, lokaler Luftversorgungsabschnitt kann je nach Geräteraum und Zielgas konfiguriert werden. Der Fertigungsbereich umfasst die unabhängige Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von Motoren und Lüftern, Steuerungssystemen, Blechen und der kompletten Maschinenmontage. Der Luftzufuhrweg, die Position des Filterabschnitts und der Betriebspunkt des Ventilators können im selben Paket überprüft werden, und nicht standardmäßige Strukturen können entsprechend der Geräteanordnung angepasst werden. Der spezifische Gaseffekt, die anwendbare Umgebung und der Austauschzyklus müssen noch anhand der entsprechenden Konfigurationsdaten und Arbeitsbedingungen vor Ort überprüft werden. Die tatsächlichen Ergebnisse unterliegen der Leckerkennung und den Gaserkennungsergebnissen vor Ort.

Verwandte Fragen und Antworten

Die Ätzanlage ist mit einem chemischen Filter zur Luftzufuhr ausgestattet. Muss die Prozessabgase noch behandelt werden?
brauchen. Die zusätzliche Luftfiltration bereitet die in die Geräteumgebung gelangende Umgebungsluft auf. Das Prozessabgas sollte getrennt durch die Abgas- und Aufbereitungssysteme aufbereitet werden. Die beiden können sich nicht gegenseitig ersetzen.

Hat die Position des zusätzlichen Lufteinlasses einen Einfluss auf die AMC?
einflussreich. Wenn sich der Lufteinlass in der Nähe des Abgasauslasses oder der Verschmutzungsquelle befindet, kann die Belastung höher sein. Während der Untersuchung sollten der Ort der Luftansaugung und die Umgebung erfasst werden.

Kann Aili Industrial bei der Auswahl einer zusätzlichen Luftfilterung für den Ätzbereich behilflich sein?
Die Position des Filterabschnitts und die Produktform können anhand des Luftzufuhrwegs, des Zielgases und des Geräteraums überprüft werden. Der konkrete Plan muss anhand der Produktdaten und der Arbeitsbedingungen vor Ort bestätigt werden.

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