Wie soll verhindert werden, dass gasförmige Verunreinigungen in den Wafertransferbereich gelangen?

Um das Eindringen gasförmiger Kontaminationen in den Wafer-Transferbereich zu reduzieren, ist es notwendig, gleichzeitig die Quelle, den Türbereich und den Geräteluftstrom zu verwalten und anschließend eine geeignete chemische Filterung zu konfigurieren. Allein die Erhöhung der lokalen Filtermedienkapazität kann nicht alle offenen Grenzen oder unzumutbaren Luftwege ausgleichen. Das Problem im Übergabebereich ist oft nicht das Filterelement selbst, sondern woher die Luft kommt und wohin sie geht.

Identifizieren Sie zunächst die Eintragspfade der Kreuzkontamination

Der Eintrag gasförmiger Verunreinigungen in den Wafer-Transferbereich erfolgt normalerweise aus drei Richtungen: Luftinfiltration aus benachbarten Prozessbereichen, Freisetzung durch FOUP oder Träger sowie Ausgasung aus Materialien und Betriebsprozessen innerhalb der Anlage. Die Ausbreitungsmethoden dieser drei Arten von Quellen sind unterschiedlich, und auch die entsprechenden Kontrollpositionen sind unterschiedlich. Das Eindringen in angrenzende Bereiche hängt hauptsächlich mit der Druckdifferenz im Türbereich und dem Türöffnungszeitpunkt zusammen. der Träger folgt dem Transferweg der Waferkassette; Wenn die interne Gasfreisetzung des Geräts stromabwärts des Filterabschnitts erfolgt, kann dieser, egal wie stark die Einlassfiltration ist, diesen nicht abdecken. Bei der Untersuchung sollten zunächst Konzentrationsänderungen an Übertragungsknoten, angrenzenden Gebieten und Betriebszeiträumen verglichen werden, um den dominanten Pfad zu bestätigen, bevor über Maßnahmen entschieden wird. Informationen zur Unterscheidung, ob die Verschmutzung von außen oder von innen kommt, finden Sie unterWie kann man unterscheiden, ob die Verschmutzung in der Werkstatt von außen oder von innen kommt?。

Die Türfläche und die Pufferstruktur bestimmen, wie viel Luft einströmt

Die Türöffnungshäufigkeit, die Druckdifferenzstabilität und die Pufferraumeinstellungen zwischen dem Übertragungsbereich und angrenzenden Bereichen wirken sich direkt auf das Ausmaß der Quereinwirkung aus. Die Qualifizierung der Druckdifferenz bedeutet nicht, dass es unter dynamischen Arbeitsbedingungen keinen sofortigen Rückfluss gibt. Luftströmungsaustausch beim Öffnen der Tür, ständige Leckage des Logistikkanals und Abgasschwankungen können zu kurzfristigem Eintrag führen. Zu den gängigen Verbesserungsrichtungen gehören: Stabilisierung der Druckdifferenz im Türbereich, Einrichtung von Pufferabschnitten, Optimierung der Türöffnungssequenz und Aufrechterhaltung einer gerichteten Luftströmung an wichtigen Schnittstellen. Was diese Maßnahmen reduzieren, ist, „wie viel verschmutzte Luft eindringt“, während die chemische Filterung darauf abzielt, „ob das einströmende Gas behandelt wurde“. Die beiden können sich nicht gegenseitig ersetzen.

Eine lokale chemische Filterung sollte vor dem eigentlichen Schutzort angebracht werden

Die Position des chemischen Filterabschnitts sollte den tatsächlichen Luftweg abdecken, den der Wafer durchläuft, und nicht nur am Luftzufuhrauslass installiert werden. Innerhalb des Transferbereichs kann es mehrere Mikroumgebungen geben: EFEM-interne Zirkulation, Transferkammer, temporäre Lagerposition und Ladehafen, jeweils mit unterschiedlichen Luftquellen und Schutzobjekten. Wenn der Filterabschnitt nur die Raumluftzufuhr übernimmt und die Verunreinigung aus dem Inneren des Geräts oder beim Öffnen der Tür eindringt, entspricht der Auslasstest möglicherweise trotzdem nicht den Standards. Ein sinnvoller Ansatz besteht darin, zunächst ein Luftwegdiagramm zu zeichnen und die Knoten zu markieren, an denen Verschmutzungen eindringen können, und dann zu bestimmen, ob der Filterabschnitt am Einlass, am Zirkulationskreislauf oder an einer lokalen Schutzposition platziert werden soll. Informationen zum Zusammenhang zwischen EFEM-Lufteinlass- und Gerätereinheitsanforderungen finden Sie unterWie entspricht die chemische Lufteinlassfiltration von EFEM den Sauberkeitsanforderungen der Ausrüstung?。

Die Kapazität des Filtermaterials kann Mängel in der Luftstromorganisation nicht ausgleichen

Bei offenen Grenzen oder unkontrolliertem Luftstrom ist die Erhöhung der Anzahl der Medienschichten oder der Kapazität oft nur begrenzt erfolgreich. Die Luft im ungefilterten Bereich wird nicht aufbereitet, da das Filterelement größer wird und die quer einströmende Verschmutzung aufgrund der hohen Medienkapazität ihren Weg nicht ändert. Der Kontrollablauf des Transferbereichs ist in der Regel: Zuerst unkontrollierten Eintrag reduzieren (Türbereich, Puffer, Druckdifferenz), dann sicherstellen, dass der erforderliche Luftstrom durch den passenden Filterabschnitt strömt, und abschließend die Kapazität und den Austauschzyklus des Filtermaterials überprüfen. Wenn die Reihenfolge umgekehrt ist, kann es leicht passieren, dass „das Filterelement häufiger ausgetauscht wird, das Problem aber das gleiche bleibt.“ Zur Arbeitsteilung zwischen Ortsfiltration und Raumfiltration siehe bitteKann ein chemischer Filter allein in einem Raum verwendet werden?。

Aili industrielle unterstützende Ausrüstung

Bei Projekten wie dem Wafer-Transferbereich zeichnen wir normalerweise zunächst mit dem Kunden den Luftweg, um zu bestätigen, ob die Verschmutzung aus dem Türbereich, dem Träger oder dem Inneren der Ausrüstung stammt, und legen dann fest, wo der Filterabschnitt platziert werden soll. Wenn es sich um einen EFEM-Standort oder eine lokale Zirkulation auf der Geräteseite handelt, werden häufiger Kompaktfilterelemente und FFU verwendet; Handelt es sich um einen Raum- oder Pufferbereich, sind Kasten- oder V-förmige Konstruktionen besser geeignet. Aili Industry kann FFU-passende, kastenförmige, flache und V-förmige chemische Filterprodukte anbieten. Die kompakte Struktur des Geräts kann je nach Platzbedarf und Luftvolumen an nicht standardmäßige Konfigurationen angepasst werden. Sofern es sich bei der ursprünglichen Anlage um den Austausch importierter Filterelemente handelt, kann diese auch auf Schnittstellengröße und Medienbedarf geprüft werden. Die Fertigungsseite umfasst Motoren, Lüfter, Steuerungen, Bleche und die komplette Maschinenmontage. Die Schnittstellen zwischen dem Filterabschnitt und der Luftversorgungsstruktur können im selben Paket ausgerichtet werden. Produkte können besichtigt werdenAuf die Produktserienseite für chemische Filter , Box-Type-Matching, kann verwiesen werdenAls chemischer Kastenfilter von MAU kann auf die integrierte FFU-Konfiguration verwiesen werdenFFU-Seite für chemische Filter . Der spezifische Gaseffekt, die anwendbare Umgebung und der Austauschzyklus müssen noch anhand der entsprechenden Konfigurationsdaten und Arbeitsbedingungen vor Ort überprüft werden. Die tatsächlichen Ergebnisse unterliegen der Leckerkennung und den Gaserkennungsergebnissen vor Ort.

Verwandte Fragen und Antworten

Wenn der Druckunterschied im Übertragungsbereich qualifiziert ist, warum gibt es dann immer noch einen Gasübergang?
Der Druckunterschied bestimmt die durchschnittliche Strömungsrichtung und es kann zu kurzfristigen Eingaben im Moment des Öffnens der Tür, in Logistikkanälen und bei Abluftschwankungen kommen. Ein qualifizierter Druckunterschied bedeutet nicht, dass es unter dynamischen Arbeitsbedingungen keinen Übergang gibt. Es muss auf der Grundlage von Ereignisaufzeichnungen und Schlüsselpunkterkennung beurteilt werden.

Reicht es aus, nur einen chemischen Filter an der Luftzufuhröffnung anzubringen?
Es kommt darauf an, wo die Verschmutzung eindringt. Wenn die Kontamination aus dem Inneren des Geräts oder aus dem Moment stammt, in dem die Tür geöffnet wird, reicht die Behandlung nur der Luftzufuhr möglicherweise nicht aus, um sie abzudecken. Die Position des Filterabschnitts sollte anhand des tatsächlichen Luftwegs bestimmt werden.

Kann Aili Industrial bei der Auswahl der lokalen Filterung im Übertragungsbereich behilflich sein?
Anhand von Luftweg, Einbauraum und Zielgas kann die Position und Produktform der Filterstrecke überprüft werden. Die kompakte Struktur der Ausrüstung kann auf nicht standardmäßige Weise angepasst werden. Die spezifische Konfiguration muss anhand der entsprechenden Produktinformationen und der Bedingungen vor Ort bestätigt werden.

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