Für welche geräteseitigen Anwendungen eignen sich staubarme Filtermaterialien?

Chemische Medien mit geringem Staubgehalt eignen sich für geräteseitige Anwendungen, bei denen die Partikelfreisetzung aus dem Filterbereich ein Problem darstellt, sollten jedoch in Verbindung mit spezifischen Partikelzielen, Luftstrom und anschließender Filterung bewertet werden. Eine geringe Staubentwicklung bedeutet nicht, dass keine Partikelfiltration erforderlich ist, noch ist sie ein Ersatz für Gaseignungsprüfungen. Bei der Auswahl der Ausrüstung ist die Pulverfallcharakteristik nur eine der Bedingungen.

Warum macht sich die Geräteseite mehr Sorgen darüber, dass der Staub vom Filtermaterial abfällt?

Der Geräteendraum ist in der Regel kompakter, das Filtermaterial befindet sich häufig unmittelbar hinter dem Wafer, den optischen Komponenten oder Präzisionsmechanismen und die Toleranz für die Partikelfreisetzung ist geringer als bei einer allgemeinen Raumzirkulation. Hinter der raumhohen Filtersektion befinden sich Zuluftkanäle und Endfilter als Puffer, während die geräteseitige chemische Filtersektion direkt vor dem Schutzobjekt angeordnet sein kann, ohne dass dazwischen zusätzliche Partikelfiltrationsmöglichkeiten bestehen. In diesem Fall wirken sich die Tendenz des Mediums selbst, Pulver zu verlieren, der Positionierungseffekt des Schutznetzes und der Dichtungszustand des Rahmens direkt auf die nachgeschaltete Partikelanzahl aus. Der Wert von staubarmem Filtermaterial kommt hier erstmals zum Ausdruck.

Welche geräteseitigen Szenarien verdienen eine vorrangige Bewertung?

Um festzustellen, ob staubarmes Filtermaterial erforderlich ist, kommt es darauf an, ob nach der Filterstrecke ein Partikelschutz vorhanden ist und wie empfindlich das zu schützende Objekt gegenüber Partikeln ist. Zu den häufigsten Szenarien gehören: in der Nähe des Lufteinlasses von Lithographiegeräten, der internen Zirkulation von EFEM, temporären Wafer-Lagerschränken, Maskenlagergeräten und lokalen Luftversorgungsabschnitten von Inspektions- oder Messgeräten. Diesen Standorten ist gemeinsam, dass der Abstand zwischen dem Gasfilterabschnitt und der empfindlichen Oberfläche kurz ist, die Luftströmungsorganisation relativ geschlossen ist und die Partikel nach ihrer Freisetzung nicht leicht verdünnt werden. Welche Felddaten für den Lufteinlass auf der Geräteseite erforderlich sind, erfahren Sie unterWelche Felddaten werden für die chemische Filterung des Lufteinlasses von Lithographiegeräten benötigt? . Befindet sich die chemische Filtersektion dagegen im Klimakasten und ist ein Partikelfilter der Güteklasse H13 oder höher nachgeschaltet, kann die Priorität der Staubarmut entsprechend herabgesetzt werden.

Eine geringe Staubentwicklung bedeutet nicht, dass auf eine Partikelfiltration verzichtet werden kann

Der geringe Staubgehalt beschreibt die Tendenz des Mediums zur Freisetzung, nicht seine Partikelfiltrationseffizienz. Es kann weder die Abfangwirkung von HEPA oder ULPA auf Aerosolpartikel ersetzen, noch bedeutet es, dass der gesamte Filterabschnitt einem bestimmten Reinheitsgrad entspricht. Ein gängiger geräteseitiger Ansatz ist die Kombination einer chemischen Filtersektion mit einer Partikelfiltersektion. Der chemische Bereich ist für das Zielgas verantwortlich und der Partikelbereich ist für die Sauberkeit der nachgeschalteten Geräte verantwortlich. Die Akzeptanzmethoden und -kriterien für beide sind unterschiedlich. Wenn die endständige Partikelfiltration aufgrund der Auswahl staubarmer Filtermedien entfällt, besteht die Gefahr, dass die Gasaufbereitung den Standard erreicht, die Partikelanzahl jedoch nicht den Anforderungen entspricht. Zu Fragen der Arbeitsteilung zwischen Partikel- und Gasfiltration wenden Sie sich bitte anBringen chemische Filtermaterialien die Partikelverschmutzung stromabwärts?。

Die kombinierte Struktur beeinflusst den tatsächlichen Pulververlust stärker als das Medium selbst

Das tatsächliche Verhalten der nachgeschalteten Partikel kann unterschiedlich sein, nachdem das gleiche staubarme Medium in verschiedene Rahmen und Dichtungsstrukturen eingebaut wurde. Ob das Medium fest sitzt, ob das Schutzsieb gut sitzt, ob Grate am Rahmen vorhanden sind und ob beim Transport und bei der Installation Quetschschäden vorliegen – all das beeinflusst das Ergebnis des Pulververlusts. Die Größe des Filterelements auf der Geräteseite ist normalerweise kleiner und die Faltendichte und die Dichtungskompression reagieren empfindlicher auf die Luftstromverteilung. Wenn die Installation nicht vorhanden ist, ist die lokale Windgeschwindigkeit hoch, was den Medienverschleiß ebenfalls verstärken kann. Daher sollten Sie bei der Bewertung von staubarmen Filtermedien den Aufbau und die Installationsanweisungen des gesamten Produkts betrachten und nicht nur die Pulververlustdaten der Medienprobe.

Aili industrielle unterstützende Ausrüstung

Bei der geräteseitigen chemischen Filterung sind wir stärker den beiden Arten von Anforderungen ausgesetzt: FFU-Anpassung und kompakte Filterelemente. Bei der Auswahl staubarmer Medien ist es in der Regel erforderlich, die Rahmenstruktur, die Form des Schutznetzes und die Anforderungen an nachgeschaltete Partikel zu bestätigen. Es ist leicht, die Auswirkungen des Installationslinks zu übersehen, wenn man sich nur die Medienparameter ansieht. Aili Industry kann Medienkonfigurationsoptionen für FFU-passende, kastenförmige, flache und V-förmige Produkte bereitstellen. Der kompakte Aufbau der Geräte lässt sich je nach Platzbedarf und Luftvolumen individuell anpassen. Sollte es um den Austausch des importierten Filterelements im Originalsystem gehen, kann dieser auch auf Schnittstellengröße und Medienbedarf geprüft werden. Die Fertigungsseite umfasst Motoren, Lüfter, Steuerungen, Bleche und die komplette Maschinenmontage. Die Schnittstellen zwischen dem Filterabschnitt und der Luftversorgungsstruktur können im selben Paket ausgerichtet werden. Produkte können besichtigt werdenAuf der Seite zur Produktreihe chemischer Filter erfahren Sie mehr über Medientypen und die integrierte FFU-KonfigurationAuf die FFU-Seite des Chemiefilters und das Luftversorgungsnetzteil kann verwiesen werdenSeite FFU-Lüfterfiltereinheit . Die spezifische Gaswirkung, die Partikelleistung und der Austauschzyklus müssen noch anhand der entsprechenden Konfigurationsdaten und Arbeitsbedingungen vor Ort überprüft werden. Die tatsächlichen Ergebnisse unterliegen der Leckerkennung vor Ort und den Ergebnissen der Partikeltests.

Verwandte Fragen und Antworten

Muss das staubarme Filtermaterial nicht mehr mit HEPA ausgestattet werden?
NEIN. Staubarm beschreibt die Tendenz des Mediums, sich freizusetzen und kann die Abscheideleistung des Partikelfilters nicht ersetzen. Ob eine endständige Partikelfiltration auf der Geräteseite erforderlich ist, sollte entsprechend den Reinheitsanforderungen separat bestätigt werden.

Wie lässt sich beurteilen, ob geräteseitig Filtermaterial mit geringem Staubgehalt erforderlich ist?
Prüfen Sie zunächst, ob nach der Filterstrecke ein Partikelschutz vorhanden ist, ob das zu schützende Objekt partikelempfindlich ist und ob der Luftstrom geschlossen ist. Wenn alle drei Bedingungen schwerwiegend sind, verdienen staubarme Medien und Strukturabdichtungen vorrangige Bewertung.

Kann Aili Industrial je nach Geräteraum passende Filtermaterialien mit geringem Staubgehalt anbieten?
Das Medium und die Strukturform können anhand der Innenabmessungen der Ausrüstung, des Luftvolumens und der nachgeschalteten Partikelanforderungen überprüft und kompakte Räume auf nicht standardmäßige Weise angepasst werden. Die spezifische Konfiguration muss anhand der entsprechenden Produktinformationen und der Bedingungen vor Ort bestätigt werden.

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