먼지가 적은 화학 매체는 여과 구역에서 입자 방출이 문제가 되는 장비측 응용 분야에 적합하지만 특정 입자 대상, 공기 흐름 및 후속 여과와 함께 평가해야 합니다. 먼지가 적다고 해서 미립자 여과가 필요하지 않으며 가스 적합성 검사를 대체할 수도 없습니다. 장비를 선택할 때, 분말 낙하 특성은 조건 중 하나일 뿐입니다.
장비 끝 공간은 일반적으로 더 작고, 필터 재료는 종종 웨이퍼, 광학 구성 요소 또는 정밀 메커니즘의 바로 하류에 있으며, 입자 방출에 대한 허용 오차는 일반 실내 순환의 허용 오차보다 낮습니다. 실내 레벨 필터 섹션 뒤에는 완충 역할을 하는 공기 공급 덕트와 최종 필터가 있으며, 장비 측 화학 필터 섹션은 그 사이에 추가 입자 여과 기회 없이 보호 대상의 바로 상류에 위치할 수 있습니다. 이 경우 매체 자체의 분말 손실 경향, 보호망의 위치 지정 효과 및 프레임의 밀봉 상태가 하류 입자 수에 직접적인 영향을 미칩니다. 이 위치에는 저먼지 필터 소재의 가치가 가장 먼저 반영됩니다.
저분진 필터 재료가 필요한지 여부를 결정하려면 필터 섹션 뒤에 입자 보호 장치가 있는지 여부와 입자에 대한 보호 대상의 민감도를 확인하는 것이 핵심입니다. 일반적인 시나리오에는 리소그래피 장비의 공기 흡입구 근처, EFEM 내부 순환, 웨이퍼 임시 보관 캐비닛, 마스크 보관 장비 및 검사 또는 측정 장비의 로컬 공기 공급 섹션이 포함됩니다. 이러한 위치의 공통점은 가스 필터 부분과 민감한 표면 사이의 거리가 짧고, 공기 흐름 조직이 상대적으로 닫혀 있으며, 일단 배출된 입자가 쉽게 희석되지 않는다는 것입니다. 장비 끝 부분의 공기 흡입구에 필요한 필드 데이터에 대해서는 다음을 참조하십시오.노광 장비 공기 흡입구의 화학적 여과를 위해 어떤 현장 데이터가 필요합니까? . 반대로, 케미컬 필터 부분이 공조 박스에 위치하고 하류에 H13 이상의 입자 필터가 있는 경우 저먼지 우선 순위를 적절하게 낮출 수 있습니다.
낮은 먼지는 입자 여과 효율이 아니라 매체의 방출 경향을 나타냅니다. 이는 에어로졸 입자에 대한 HEPA 또는 ULPA의 차단 효과를 대체할 수 없으며 전체 필터 섹션이 특정 청정도 수준을 충족한다는 의미도 아닙니다. 장비 측면의 일반적인 접근 방식은 화학 필터 섹션과 입자 필터 섹션을 결합하는 것입니다. 케미컬 섹션은 대상 가스를 담당하고, 입자 섹션은 다운스트림 청정도를 담당합니다. 둘의 합격방법과 기준은 서로 다릅니다. 먼지 필터 재료가 적기 때문에 최종 입자 여과가 취소되면 가스 처리는 표준에 도달하지만 입자 수가 요구 사항을 충족하지 못할 위험이 있습니다. 입자와 가스 여과 사이의 노동 분업과 관련된 문제는 다음을 참조하십시오.화학 필터 재료가 입자 오염을 하류로 가져오나요?。
실제 하류 입자 거동은 동일한 저분진 매체가 다른 프레임과 밀봉 구조에 설치된 후 다를 수 있습니다. 미디어가 단단히 고정되어 있는지, 보호 스크린이 잘 맞는지, 프레임에 버가 있는지, 운송 및 설치 중 압착 손상이 있는지 여부는 모두 파우더 손실의 결과를 변화시킵니다. 장비 끝에 있는 필터 요소의 크기는 일반적으로 더 작으며 주름 밀도와 개스킷 압축은 공기 흐름 분포에 더 민감합니다. 설치가 제 위치에 있지 않으면 국지적 풍속이 높아 미디어 마모가 악화될 수도 있습니다. 따라서 저분진 필터 여재를 평가할 때에는 단순히 여재 샘플의 분말 손실 데이터를 보는 것이 아닌 전체 제품의 구조와 설치 지침을 살펴보아야 합니다.
장비측 화학 여과와 관련하여 우리는 FFU 매칭과 컴팩트 필터 요소라는 두 가지 유형의 요구에 더 많이 노출되어 있습니다. 저분진 매체를 선택할 때 일반적으로 프레임 구조, 보호망 형태 및 하류 입자 요구 사항을 확인하는 것이 필요합니다. 미디어 매개변수만 보면 설치 링크의 영향을 놓치기 쉽습니다. Aili Industry는 FFU 매칭, 박스형, 평면형 및 V자형 제품에 대한 미디어 구성 옵션을 제공할 수 있습니다. 장비의 컴팩트한 구조는 공간 및 풍량에 따라 비표준으로 조정할 수 있습니다. 원래 시스템에서 가져온 필터 요소를 교체해야 하는 경우 인터페이스 크기 및 미디어 요구 사항에 따라 확인할 수도 있습니다. 제조 단계에는 모터, 팬, 제어 시스템, 판금 및 전체 기계 조립이 포함됩니다. 필터 섹션과 공기 공급 구조 사이의 인터페이스는 동일한 패키지에 정렬될 수 있습니다. 제품을 보실 수 있습니다미디어 유형에 대해 알아보려면 화학 필터 제품 시리즈 페이지, FFU 통합 구성을 참조하세요.화학 필터 FFU 페이지, 공기 공급 전원 패키지를 참조할 수 있습니다.FFU 팬 필터 장치 페이지. 특정 가스 효과, 입자 성능 및 교체 주기는 해당 구성 데이터 및 현장 작업 조건을 기반으로 여전히 검증되어야 합니다. 실제 결과는 현장 누출 감지 및 입자 테스트 결과에 따라 달라질 수 있습니다.
저먼지 필터재에는 더 이상 HEPA를 장착할 필요가 없나요?
아니요. 낮은 먼지는 매체가 스스로 방출되는 경향을 나타내며 입자 필터의 차단 효율성을 대체할 수 없습니다. 장비 끝에 최종 입자 여과가 필요한지 여부는 청결도 수준 요구 사항에 따라 별도로 확인해야 합니다.
장비 끝에 저먼지 필터 재료가 필요한지 어떻게 판단합니까?
먼저 필터 섹션 하류에 입자 보호 장치가 있는지, 보호 대상이 입자에 민감한지, 공기 흐름이 닫혀 있는지 확인하십시오. 세 가지 조건이 모두 심각할 경우 먼지가 적은 매체와 구조적 밀봉을 우선적으로 평가해야 합니다.
Aili Industrial은 장비 공간에 따라 저먼지 필터 재료 매칭을 제공할 수 있습니까?
장비의 내부 치수, 공기량 및 하류 입자 요구 사항을 기반으로 매체 및 구조 형태를 확인할 수 있으며, 컴팩트한 공간을 비표준 방식으로 조정할 수 있습니다. 구체적인 구성은 해당 제품 정보와 현장 조건을 바탕으로 확인해야 합니다.
확인항목 |
핵심사항 확인 |
확인항목 |
핵심사항 확인 |
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장치 대상 |
입자 한계 및 위치 식별 |
미디어 정보 |
릴리스 테스트 조건 확인 |
조합 순서 |
다운스트림 입자 보호 확인 |
구조적 상태 |
보호망 및 밀봉 확인 |
설치 품질 |
돌출 및 편향 방지 |
현장 검증 |
가스와 입자의 별도 감지 |
