Vật liệu lọc bụi thấp phù hợp với những ứng dụng nào của thiết bị?

Phương tiện hóa học ít bụi thích hợp cho các ứng dụng phía thiết bị trong đó việc giải phóng hạt khỏi phần lọc là mối quan tâm nhưng cần được đánh giá cùng với các mục tiêu hạt cụ thể, luồng không khí và quá trình lọc tiếp theo. Lượng bụi thấp không có nghĩa là không cần lọc hạt và cũng không thay thế cho việc kiểm tra tính phù hợp của khí. Khi lựa chọn thiết bị, đặc tính rơi bột chỉ là một trong những điều kiện.

Tại sao phía thiết bị lại quan tâm nhiều hơn đến bụi rơi ra từ vật liệu lọc?

Không gian cuối của thiết bị thường nhỏ gọn hơn, vật liệu lọc thường nằm ngay phía sau tấm bán dẫn, các bộ phận quang học hoặc cơ cấu chính xác và khả năng giải phóng hạt thấp hơn so với lưu thông trong phòng chung. Có các ống cấp khí và bộ lọc cuối phía sau phần bộ lọc cấp phòng làm bộ đệm, trong khi phần bộ lọc hóa học phía thiết bị có thể được đặt ngay phía trên đối tượng được bảo vệ, không có cơ hội lọc hạt bổ sung nào ở giữa. Trong trường hợp này, xu hướng môi trường bị mất bột, hiệu ứng định vị của lưới bảo vệ và trạng thái bịt kín của khung sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến số lượng hạt ở hạ lưu. Giá trị của vật liệu lọc bụi thấp được thể hiện đầu tiên ở vị trí này.

Kịch bản phía thiết bị nào xứng đáng được đánh giá ưu tiên?

Để xác định xem có cần vật liệu lọc ít bụi hay không, điều quan trọng là phải xem liệu có lớp bảo vệ hạt sau phần bộ lọc hay không và độ nhạy của vật thể được bảo vệ với các hạt. Các tình huống phổ biến bao gồm: gần cửa hút gió của thiết bị in thạch bản, tuần hoàn nội bộ EFEM, tủ lưu trữ tạm thời wafer, thiết bị lưu trữ mặt nạ và bộ phận cung cấp không khí cục bộ của thiết bị kiểm tra hoặc đo lường. Điểm chung của những vị trí này là khoảng cách giữa phần lọc khí và bề mặt nhạy cảm ngắn, tổ chức luồng không khí tương đối khép kín và các hạt không dễ bị pha loãng sau khi thoát ra ngoài. Về dữ liệu hiện trường cần thiết cho đầu vào không khí ở cuối thiết bị, vui lòng tham khảoDữ liệu hiện trường nào là cần thiết cho quá trình lọc hóa học đầu vào không khí của thiết bị in thạch bản? . Ngược lại, nếu phần lọc hóa chất nằm trong hộp điều hòa và có bộ lọc hạt cấp H13 trở lên ở hạ lưu thì có thể hạ mức độ ưu tiên của bụi thấp một cách thích hợp.

Lượng bụi thấp không có nghĩa là có thể loại bỏ quá trình lọc hạt

Lượng bụi thấp mô tả xu hướng phát tán của vật liệu chứ không phải hiệu quả lọc hạt của vật liệu. Nó không thể thay thế tác dụng chặn của HEPA hoặc ULPA đối với các hạt khí dung, cũng không có nghĩa là toàn bộ phần bộ lọc đáp ứng một mức độ sạch nhất định. Một cách tiếp cận phổ biến về phía thiết bị là kết hợp phần lọc hóa học với phần lọc hạt. Phần hóa học chịu trách nhiệm về khí mục tiêu và phần hạt chịu trách nhiệm làm sạch hạ lưu. Các phương pháp và tiêu chí chấp nhận cho cả hai là khác nhau. Nếu quá trình lọc hạt cuối cùng bị hủy do lựa chọn vật liệu lọc ít bụi thì nguy cơ xử lý khí đạt tiêu chuẩn nhưng số lượng hạt không đáp ứng yêu cầu. Đối với các vấn đề liên quan đến phân công lao động giữa các hạt và lọc khí, vui lòng tham khảoVật liệu lọc hóa học sẽ mang ô nhiễm hạt xuống hạ lưu?。

Cấu trúc kết hợp ảnh hưởng đến sự mất bột thực tế nhiều hơn chính môi trường

Hành vi thực tế của hạt ở hạ lưu có thể khác sau khi cùng một môi trường ít bụi được lắp đặt trong các khung và cấu trúc bịt kín khác nhau. Liệu vật liệu in có được định vị chắc chắn hay không, màn hình bảo vệ có vừa vặn hay không, có gờ trên khung hay không và liệu có bất kỳ hư hỏng do lực ép nào trong quá trình vận chuyển và lắp đặt hay không, tất cả đều sẽ thay đổi kết quả mất bột. Kích thước của phần tử lọc ở đầu thiết bị thường nhỏ hơn và mật độ nếp gấp cũng như độ nén của miếng đệm nhạy cảm hơn với sự phân bổ luồng không khí. Khi không lắp đặt đúng vị trí, tốc độ gió cục bộ cao, điều này cũng có thể làm trầm trọng thêm tình trạng hao mòn vật liệu. Vì vậy, khi đánh giá vật liệu lọc ít bụi, bạn nên xem cấu trúc và hướng dẫn lắp đặt của toàn bộ sản phẩm, thay vì chỉ nhìn vào dữ liệu thất thoát bột của mẫu vật liệu.

Thiết bị hỗ trợ công nghiệp Aili

Về lọc hóa học phía thiết bị, chúng tôi tiếp xúc nhiều hơn với hai loại nhu cầu: FFU phù hợp và các phần tử lọc nhỏ gọn. Khi lựa chọn phương tiện có ít bụi, thường cần phải xác nhận cấu trúc khung, dạng lưới bảo vệ và các yêu cầu về hạt phía sau. Rất dễ bỏ lỡ tác động của liên kết cài đặt nếu chỉ nhìn vào các thông số phương tiện. Aili Industry có thể cung cấp các tùy chọn cấu hình phương tiện cho các sản phẩm khớp FFU, loại hộp, loại phẳng và hình chữ V. Cấu trúc nhỏ gọn của thiết bị có thể được điều chỉnh không chuẩn theo không gian và thể tích không khí. Nếu nó liên quan đến việc thay thế phần tử bộ lọc đã nhập trong hệ thống ban đầu, nó cũng có thể được kiểm tra theo kích thước giao diện và yêu cầu phương tiện. Đầu cuối sản xuất bao gồm động cơ, quạt, hệ thống điều khiển, tấm kim loại và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Các giao diện giữa phần bộ lọc và cấu trúc cung cấp không khí có thể được căn chỉnh trong cùng một gói. Có thể xem sản phẩmTrang loạt sản phẩm bộ lọc hóa học để tìm hiểu về các loại phương tiện, có thể tham khảo cấu hình tích hợp FFUTrang FFU bộ lọc hóa học , gói nguồn cung cấp không khí có thể được tham khảoTrang bộ lọc quạt FFU . Hiệu ứng khí cụ thể, hiệu suất hạt và chu trình thay thế vẫn cần được xác minh dựa trên dữ liệu cấu hình tương ứng và điều kiện làm việc tại chỗ. Kết quả thực tế tùy thuộc vào kết quả phát hiện rò rỉ tại chỗ và kiểm tra hạt.

Câu hỏi và câu trả lời liên quan

Vật liệu lọc bụi thấp không cần trang bị HEPA nữa?
KHÔNG. Bụi thấp mô tả xu hướng môi trường tự giải phóng và không thể thay thế hiệu suất chặn của bộ lọc hạt. Việc lọc hạt cuối cùng có cần thiết ở đầu thiết bị hay không phải được xác nhận riêng theo yêu cầu về mức độ sạch.

Làm thế nào để đánh giá liệu thiết bị có cần vật liệu lọc bụi thấp hay không?
Trước tiên, hãy kiểm tra xem có lớp bảo vệ hạt ở phía hạ lưu của phần bộ lọc hay không, liệu vật thể được bảo vệ có nhạy cảm với các hạt hay không và liệu luồng không khí có bị đóng hay không. Khi cả ba điều kiện đều nghiêm trọng, vật liệu ít bụi và kết cấu bịt kín xứng đáng được ưu tiên đánh giá.

Aili Industrial có thể cung cấp vật liệu lọc bụi thấp phù hợp với không gian thiết bị không?
Hình dạng trung bình và cấu trúc có thể được kiểm tra dựa trên kích thước bên trong của thiết bị, thể tích không khí và yêu cầu về hạt ở hạ lưu, đồng thời không gian nhỏ gọn có thể được điều chỉnh theo những cách không chuẩn. Cấu hình cụ thể cần được xác nhận dựa trên thông tin sản phẩm tương ứng và điều kiện tại chỗ.

Bài viết liên quan

• Lọc hóa học đầu vào không khí của EFEM tương ứng với yêu cầu về độ sạch của thiết bị như thế nào?

• Làm thế nào để chọn bộ lọc hóa học cho tủ lưu trữ wafer?

• Môi trường bảo quản khẩu trang có cần lọc hóa chất không?

• Lưới bảo vệ bộ lọc hóa chất có thể tự mình tháo ra được không?

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận