Для каких применений на стороне оборудования подходят фильтрующие материалы с низким содержанием пыли?

Химические среды с низким содержанием пыли подходят для применений на стороне оборудования, где выброс частиц из секции фильтрации является проблемой, но их следует оценивать в сочетании с конкретными целями по частицам, воздушным потоком и последующей фильтрацией. Низкий уровень запыленности не означает, что не требуется фильтрация твердых частиц и не заменяет проверку пригодности газа. При выборе оборудования характеристика падения порошка является лишь одним из условий.

Почему сторона оборудования больше беспокоится о выпадении пыли из фильтрующего материала?

Концевое пространство оборудования обычно более компактно, фильтрующий материал часто находится непосредственно за пластиной, оптическими компонентами или точными механизмами, а допуск на выброс частиц ниже, чем при общей циркуляции в помещении. За комнатной фильтрующей секцией располагаются воздуховоды и торцевые фильтры в качестве буферов, а секцию химического фильтра со стороны оборудования можно расположить непосредственно перед защищаемым объектом, без дополнительных возможностей фильтрации частиц между ними. В этом случае тенденция самой среды к потере порошка, эффект позиционирования защитной сетки и состояние уплотнения рамы будут напрямую влиять на количество частиц на выходе. В этом положении в первую очередь отражается ценность материала фильтра с низким содержанием пыли.

Какие сценарии на стороне устройства заслуживают приоритетной оценки?

Чтобы определить, нужен ли фильтрующий материал с низким содержанием пыли, важно выяснить, имеется ли защита от частиц после секции фильтра, а также чувствительность защищаемого объекта к частицам. Общие сценарии включают в себя: рядом с воздухозаборником литографического оборудования, внутренней циркуляцией EFEM, шкафами временного хранения пластин, оборудованием для хранения масок и местными секциями подачи воздуха инспекционного или измерительного оборудования. Общим для этих мест является то, что расстояние между секцией газового фильтра и чувствительной поверхностью невелико, организация воздушного потока относительно закрыта, а частицы после высвобождения нелегко растворяются. Информация о том, какие полевые данные необходимы для воздухозаборника на стороне оборудования, см.Какие полевые данные необходимы для химической фильтрации воздуха на входе литографического оборудования? . И наоборот, если секция химического фильтра расположена в блоке кондиционирования воздуха и после него установлен сажевый фильтр класса H13 или выше, приоритет низкого уровня пыли можно соответствующим образом снизить.

Низкий уровень запыленности не означает, что можно обойтись без фильтрации частиц.

Низкий уровень пыли характеризует склонность материала к выделению частиц, а не его эффективность фильтрации частиц. Он не может заменить эффект улавливания аэрозольных частиц HEPA или ULPA и не означает, что вся секция фильтра соответствует определенному уровню чистоты. Распространенным подходом к оборудованию является объединение секции химического фильтра с секцией фильтра твердых частиц. Химическая секция отвечает за целевой газ, а секция частиц отвечает за чистоту на выходе. Методы и критерии приемки для них разные. Если оконечная фильтрация частиц отменена из-за выбора малопылевого фильтрующего материала, существует риск того, что очистка газа достигнет стандарта, но количество частиц не будет соответствовать требованиям. По вопросам разделения труда между частицами и фильтрации газа см.Принесут ли химические фильтрующие материалы загрязнение частицами вниз по течению?。

Комбинированная структура влияет на фактические потери порошка больше, чем сама среда.

Фактическое поведение частиц на выходе может отличаться после того, как одна и та же среда с низким содержанием пыли установлена ​​в разных рамах и уплотнительных конструкциях. Независимо от того, прочно ли установлен носитель, хорошо ли прилегает защитный экран, есть ли заусенцы на раме и есть ли какие-либо повреждения от сжатия во время транспортировки и установки, все это изменит результат потери порошка. Размер фильтрующего элемента на стороне оборудования обычно меньше, а плотность складок и сжатие прокладки более чувствительны к распределению воздушного потока. Когда установка не установлена, скорость местного ветра высока, что также может усугубить износ носителя. Поэтому при оценке фильтрующего материала с низким содержанием пыли вам следует обратить внимание на конструкцию и инструкции по установке всего продукта, а не просто смотреть на данные о потерях порошка образца материала.

Промышленное вспомогательное оборудование Aili

Что касается химической фильтрации на стороне оборудования, мы в большей степени подвержены двум типам потребностей: соответствующие фильтрующие элементы и компактные фильтрующие элементы. При выборе среды с низким содержанием пыли обычно необходимо подтвердить структуру рамы, форму защитной сетки и требования к частицам на выходе. Легко упустить из виду влияние установочной ссылки, глядя только на параметры носителя. Aili Industry может предоставить варианты конфигурации носителей для поддерживающих FFU, коробчатых, плоских и V-образных продуктов. Компактная конструкция оборудования может быть адаптирована к нестандартным требованиям в зависимости от пространства и объема воздуха. Если речь идет о замене импортированного фильтрующего элемента в исходной системе, его также можно проверить в соответствии с размером интерфейса и требованиями к среде. Производство охватывает двигатели, вентиляторы, системы управления, листовой металл и полную сборку машин. Интерфейсы между секцией фильтра и конструкцией подачи воздуха могут быть объединены в одном корпусе. Товары можно посмотретьНа странице серии химических фильтров можно узнать о типах сред, а также ознакомиться с интегрированной конфигурацией FFU.Страница химического фильтра FFU , см. блок питания системы подачи воздуха.Страница блока фильтров вентилятора FFU . Конкретное воздействие газа, производительность частиц и цикл замены еще необходимо проверить на основе соответствующих данных конфигурации и условий работы на месте. Фактические результаты зависят от результатов обнаружения утечек на месте и результатов испытаний на частицы.

Связанные вопросы и ответы

Неужели фильтрующий материал с низким содержанием пыли больше не нуждается в оборудовании HEPA?
нет. Низкая запыленность означает тенденцию среды к самовысвобождению и не может заменить эффективность улавливания сажевого фильтра. Необходимость фильтрации конечных частиц на стороне оборудования должна быть подтверждена отдельно в соответствии с требованиями к уровню чистоты.

Как определить, нужен ли фильтрующий материал с низким содержанием пыли на стороне оборудования?
Сначала проверьте, имеется ли защита от частиц после секции фильтра, чувствителен ли защищаемый объект к частицам и закрыт ли поток воздуха. Когда все три условия являются тяжелыми, приоритетной оценки заслуживают средства с низким содержанием пыли и структурная герметизация.

Может ли компания Aili Industrial предоставить фильтрующий материал с низким содержанием пыли, соответствующий размеру оборудования?
Среду и форму конструкции можно проверить на основе внутренних размеров оборудования, объема воздуха и требований к частицам на выходе, а компактные пространства можно адаптировать нестандартными способами. Конкретную конфигурацию необходимо подтвердить на основе соответствующей информации о продукте и условий на месте.

Похожие статьи

• Насколько химическая фильтрация приточного воздуха EFEM соответствует требованиям чистоты оборудования?

• Как выбрать химические фильтры для вафельных шкафов?

• Требует ли среда хранения масок химической фильтрации?

• Можно ли снять защитную сетку химического фильтра самостоятельно?

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле