Химический фильтр шкафа временного хранения пластин следует выбирать в соответствии с требованиями защиты, целевым газом, объемом циркулирующего воздуха и выбросом материала в шкафу. Внешний вид шкафа или чистота помещения не могут заменить загазованность и воздухообмен микросреды. Шкаф временного хранения представляет собой небольшое пространство, и его логика фильтрации не совсем такая же, как в конфигурации на уровне комнаты.

Сначала определите, что необходимо защитить внутри шкафа.

Цель фильтрации шкафа временного хранения пластин зависит от того, что находится в шкафу, как долго оно хранится и как открывается дверца шкафа. Шкаф временного хранения может использоваться для кратковременного пребывания между процессами или для хранения в течение нескольких часов или даже дольше; в шкафу можно хранить только вафельные коробки или хранить как носители, так и упаковочные материалы. Эти различия влияют на целевые запасы газа и требования к мощности. Объект защиты должен быть четко определен: поверхность пластины, окружающая среда внутри коробки или воздух в шкафу, а затем должны быть определены точки обнаружения и положения фильтрации. Если мы просто говорим: «Внутри шкафа должно быть чисто», то не существует сопоставимой основы для выбора.

Путь воздуха в шкафу определяет положение секции фильтра.

Путь циркуляции воздуха в шкафу временного хранения обычно короче, чем в боксе для кондиционирования воздуха, а положение секции фильтра оказывает более непосредственное влияние на зону покрытия воздушного потока. Обычные схемы включают циркуляцию сверху шкафа, обратный возврат воздуха, боковую подачу воздуха и т. д. Секцию фильтра следует размещать там, где поток воздуха может охватывать зону хранения пластин, а не просто иметь дело с определенным углом шкафа. Если дверь шкафа часто открывается, то, может ли наружный воздух своевременно обрабатываться секцией циркуляционного фильтра после входа, также зависит от направления подачи воздуха и объема воздуха. О разнице между микросредой и условиями в помещении см.Какие молекулярные загрязнители необходимо оценить в зонах хранения FOUP?。

Объем циркулирующего воздуха и сопротивление секции фильтра должны совпадать.

Объем циркулирующего воздуха в шкафу обычно ограничен, а сопротивление секции фильтра напрямую влияет на эффект циркуляции. При небольшом объеме воздуха количество воздухообменов в шкафу недостаточно, и загрязняющие вещества могут накапливаться локально; когда сопротивление секции фильтра велико, мощность вентилятора недостаточна, в результате чего фактический объем циркуляции оказывается ниже расчетного значения. При выборе модели следует проверить объем циркулирующего воздуха в шкафу, сопротивление секции фильтра под этим объемом воздуха и может ли вентилятор обеспечить достаточное статическое давление. V-образная структура обеспечивает большую площадь фильтрации в ограниченном пространстве, помогая контролировать скорость и сопротивление поверхности при небольших объемах воздуха. Структурное сравнение в компактном пространстве см.MAU выбирает коробчатый или химический фильтр V-образного типа?。

Материалы корпуса и уплотнения также являются источниками выбросов.

Уплотнительные ленты, покрытия, пластиковые детали и этикеточные материалы внутри шкафа временного хранения сами могут выделять органические или кислотные компоненты. Пространство внутри шкафа небольшое, а количество воздухообменов невелико. Совокупный эффект от этих материалов может быть более очевидным, чем от окружающей среды в помещении. Помимо обращения внимания на внешний вход при выборе модели, вы также должны понимать ситуацию с выделением газов из материала корпуса. При необходимости контролируйте его путем циркуляционной фильтрации или замены материала в шкафу. По вопросам, связанным с материалами с низким выделением газов, см.Каковы последствия использования химических фильтрующих материалов с низким выделением газов для чувствительных процессов?。

Промышленное вспомогательное оборудование Aili

Для проектов микросреды, таких как шкафы временного хранения пластин, мы обычно сначала подтверждаем объем циркулирующего воздуха в шкафу, пространство для установки секции фильтра и объекты защиты, а затем сравниваем форму фильтрующего элемента и конфигурацию среды. Aili Industry может предоставить комплекты для химической фильтрации коробчатого, плоского и V-типа. Информацию о коробчатых упаковках MAU см.Химический фильтр коробчатого типа MAU , можно просмотреть серию продуктовАссортимент химических фильтров . Приложения на стороне устройства могут использоватьХимический фильтр типа FFU, встроенный химический адсорбционный слой сФильтрация частиц HEPA/ULPA , структура сначала химических веществ, а затем частиц, подходит для микросред, таких как шкафы временного хранения, которые требуют как AMC, так и частиц. Компактный фильтрующий элемент можно настроить в соответствии с размером шкафа и объемом циркулирующего воздуха. Производственная часть охватывает независимые исследования и разработки, а также производство двигателей и вентиляторов, систем управления, листового металла и полной сборки машин. Интерфейс и соответствие объема воздуха между секцией фильтра и циркуляционным вентилятором шкафа можно проверить в одном корпусе. Конкретное воздействие газа, применимая среда и цикл замены все еще необходимо проверять на основе соответствующих данных конфигурации и условий работы на месте. Фактические результаты зависят от результатов обнаружения утечек и газа на месте.

Связанные вопросы и ответы

Объем циркулирующего воздуха в шкафу временного хранения мал, может ли химический фильтр работать?
Да, но сопротивление секции фильтра и производительность вентилятора должны совпадать. Когда объем воздуха небольшой, следует выбрать конструкцию с низкой скоростью поверхности и умеренным сопротивлением, а количество воздухообменов в шкафу должно быть подтверждено в соответствии с требованиями.

В шкафу нет явного запаха, нужно ли еще устанавливать химический фильтр?
Запах – не единственное основание для суждения. Очень низкая концентрация некоторых чувствительных компонентов также может повлиять на пластину. Об этом следует судить на основе технологических требований и условий выделения газа из материалов в шкафу.

Может ли Aili Industrial изготовить нестандартные фильтрующие элементы в соответствии с пространством шкафа временного хранения?
Компактную конструкцию фильтрующего элемента можно проверить в зависимости от размера шкафа и объема циркулирующего воздуха, а форма химического фильтра FFU может объединять химическую фильтрацию и фильтрацию частиц. Конкретную конфигурацию необходимо подтвердить на основе информации о продукте и условий на месте.

Похожие статьи

• Как предотвратить попадание газовых загрязнений в зону переноса пластин?

• Можно ли контролировать остаточную дегазацию после очистки кассеты с пластинами с помощью фильтрации окружающей среды?

• Насколько химическая фильтрация приточного воздуха EFEM соответствует требованиям чистоты оборудования?

• Требует ли среда хранения масок химической фильтрации?

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле