Можно ли контролировать выделение остаточного воздуха после очистки вафельной коробки с помощью фильтрации окружающей среды, необходимо различать источник в коробке и воздух в помещении. Экологическая химическая фильтрация может обрабатывать только поток воздуха, который фактически проходит через секцию фильтрации, и не может автоматически удалять остатки и все устойчивые выбросы внутри контейнера. Проблему в коробке не решить комнатным фильтром.

Выделение газов происходит внутри или снаружи коробки?

Остаточная дегазация после очистки кассеты пластин происходит в основном в двух местах. Выделение газов внутри коробки происходит из-за следовых количеств химикатов, остающихся на корпусе коробки, футеровке или поверхности пластины после очистки. Они постепенно испаряются после закрытия коробки, и концентрация может накапливаться внутри коробки. Выделение газов за пределы коробки происходит при открытии коробки, взятии в руки пластин или оставлении коробки открытой, а остаточные летучие вещества попадают в окружающий воздух. Экологическая фильтрация перерабатывает ту часть воздуха, которая проходит через секцию фильтра в последнем, и мало влияет на накопление в закрытом коробе. Чтобы определить, может ли помочь фильтрация окружающей среды, первое, что следует задаться вопросом: где в основном происходит газовыделение и в каком состоянии коробка остается дольше всего.

Объем фильтрации окружающей среды имеет границы

Циркуляция в помещении или химическая фильтрация на стороне оборудования могут обрабатывать только воздух, подаваемый в секцию фильтра вентилятором. Если ящик закрыт и хранится, воздух в ящике не циркулирует с внешним миром, и как бы велика ни была секция фильтра, он не может переработать летучие вещества в ящике; если воздух в боксе попадает в микроокружение оборудования во время операции открытия бокса и эта часть воздуха проходит через секцию местного фильтра, фильтрация может быть эффективной. Следовательно, эффективность фильтрации окружающей среды при дегазации пластинчатой ​​кассеты зависит от того, охватывает ли воздушный путь место, где происходит дегазация, а не от способности самого фильтрующего материала. Информацию о разделении труда между местной и комнатной фильтрацией см.Можно ли использовать химический фильтр в комнате отдельно?。

В первую очередь стоит проверить звенья очистки и сушки.

Источник остаточного газовыделения из вафельной коробки находится в процессе очистки и сушки, и здесь также следует отдать приоритет позиции управления. Выбор чистящего средства, количество полосканий, метод сушки и время выдержки после сушки — все это влияет на количество остатков. Если остатков после очистки слишком много, использование задней экологической фильтрации для «закрытия дна» часто приводит к вдвое меньшим усилиям. Более разумная последовательность действий такова: сначала убедитесь, что процесс очистки и условия сушки стабильны, а затем оцените местные требования к фильтрации при хранении и открытии коробки. Идеи о том, как данные о чистящем средстве можно использовать для выявления загрязнения, см.Можно ли использовать паспорта безопасности чистящих средств при выборе химического фильтра?。

Частичная фильтрация должна охватывать открытие ящика и хранение.

Если после очистки все еще наблюдается значительное выделение воздуха, то организация местной фильтрации должна быть сосредоточена на процессе распаковки и хранения, а не на общей очистке воздуха в помещении. Циркуляция в шкафу хранения, местная подача воздуха на станции открывания ящиков и внутренняя циркуляция в EFEM — все это точки конфигурации, расположенные ближе к месту, где происходит газовыделение. Общими характеристиками этих помещений являются небольшое пространство и ограниченный объем воздуха. Соответствие формы фильтрующего элемента и объема воздуха необходимо проверить в соответствии с фактической конструкцией. Информацию о конфигурации фильтрации ссылки на хранилище см.Как выбрать химические фильтры для вафельных шкафов?。

Промышленное вспомогательное оборудование Aili

В случае таких проблем, как выделение газа из вафельной коробки, мы обычно уточняем у клиента, происходит ли выделение газа в основном в закрытом состоянии коробки или во время операции открытия коробки, а затем определяем, следует ли размещать локальный фильтр в шкафу для хранения, на станции открытия коробки или в секции циркуляции EFEM. Aili Industry может предоставить комплекты для химической фильтрации коробчатого, плоского и V-типа. Информацию о коробчатых упаковках MAU см.Химический фильтр коробчатого типа MAU , можно просмотреть серию продуктовАссортимент химических фильтров . Приложения на стороне оборудования могут принимать форму химической фильтрации FFU, объединяющей слой химической адсорбции и фильтрацию частиц HEPA/ULPA. Структура химических частиц подходит для таких микросред, как шкафы для хранения и EFEM. Компактный фильтрующий элемент можно настроить в соответствии с размером шкафа и объемом циркулирующего воздуха. Производство охватывает двигатели, вентиляторы, системы управления, листовой металл и полную сборку машин. Интерфейсы между секцией фильтра и циркуляционным вентилятором шкафа могут быть объединены в одном корпусе. Конкретное воздействие газа, применимая среда и цикл замены все еще необходимо проверять на основе соответствующих данных конфигурации и условий работы на месте. Фактические результаты зависят от результатов обнаружения утечек и газа на месте.

Связанные вопросы и ответы

Помещение оборудовано химическим фильтром. Нужно ли отдельно обрабатывать газ, выделяющийся из вафельной коробки?
Зависит от того, закрыта ли коробка на хранение. Когда воздух в боксе не циркулирует по помещению, комнатный фильтр не может справиться с накоплением в боксе, и может потребоваться циркуляция в шкафу для хранения или местная фильтрация на станции открытия ящика.

Остаточное содержание кассеты с пластинами после очистки высокое. Нужно ли его сначала очистить или сначала отфильтровать?
В большинстве случаев сначала проверьте чистящее средство, условия полоскания и сушки. Если источник остатков контролируется, давление фильтрации на выходе будет намного меньше.

Может ли Aili Industrial помочь проверить фильтрацию во время хранения кассеты с пластинами?
Режим локальной фильтрации можно проверить по конструкции шкафа хранения, объему циркулирующего воздуха и положению выпуска воздуха. Конкретную конфигурацию необходимо подтвердить на основе информации о продукте и условий на месте.

Похожие статьи

• Какие молекулярные загрязнители необходимо оценить в зонах хранения FOUP?

• Насколько химическая фильтрация приточного воздуха EFEM соответствует требованиям чистоты оборудования?

• Как предотвратить попадание газовых загрязнений в зону переноса пластин?

• Какова связь между запотеванием маски и химическим загрязнением воздуха?

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле