Si la liberación de aire residual después de la limpieza de la caja de oblea puede controlarse mediante filtración ambiental requiere distinguir entre la fuente en la caja y el aire en la habitación. La filtración química ambiental solo puede procesar el flujo de aire que realmente pasa a través de la sección de filtración y no puede eliminar automáticamente los residuos y todas las liberaciones sostenidas dentro del contenedor. El problema de la caja no se puede solucionar con el filtro de la habitación.

¿Se produce desgasificación dentro o fuera de la caja?

La desgasificación residual tras la limpieza del casete de oblea se produce principalmente en dos lugares. La desgasificación dentro de la caja proviene de trazas de productos químicos que quedan en el cuerpo de la caja, el revestimiento o la superficie de la oblea después de la limpieza. Se evaporan gradualmente una vez cerrada la caja y la concentración puede acumularse dentro de la caja. La desgasificación fuera de la caja ocurre cuando se abre la caja, se recogen las obleas o se deja la caja abierta y los volátiles residuales ingresan al aire circundante. La filtración ambiental procesa la parte del aire que pasa a través de la sección de filtrado en esta última, y ​​tiene poco efecto sobre la acumulación en la caja cerrada. Para determinar si la filtración ambiental puede ayudar, lo primero que hay que preguntarse es: dónde se produce principalmente la desgasificación y en qué estado permanece la caja por más tiempo.

El alcance del filtrado ambiental tiene límites.

La circulación de la habitación o la filtración química del lado del equipo solo pueden procesar el aire enviado a la sección de filtrado por el ventilador. Si la caja está cerrada y almacenada, el aire dentro de la caja no circula con el mundo exterior y no importa cuán grande sea la sección del filtro, no puede manejar la materia volátil en la caja; Si el aire de la caja se libera al microambiente del equipo durante la operación de apertura de la caja, y esta parte del aire pasa a través de la sección de filtro local, la filtración puede ser efectiva. Por lo tanto, la eficacia de la filtración ambiental en la desgasificación del casete de oblea depende de si el recorrido del aire cubre el lugar donde se produce la desgasificación, en lugar de la capacidad del material del filtro en sí. Con respecto a la división del trabajo entre filtración local y filtración de habitación, consulte¿Se puede utilizar un filtro químico solo en una habitación?。

Vale la pena comprobar primero los enlaces de limpieza y secado.

La fuente de desgasificación residual de la caja de oblea se encuentra en el proceso de limpieza y secado, y aquí también se debe dar prioridad a la posición de control. La elección del agente de limpieza, la cantidad de enjuagues, el método de secado y el tiempo de reposo después del secado afectarán la cantidad de residuos. Si el residuo después de la limpieza es demasiado alto, confiar en la filtración ambiental final para 'cubrir el fondo' a menudo logrará la mitad del resultado con el doble de esfuerzo. Una secuencia más razonable es: primero confirmar si el proceso de limpieza y las condiciones de secado son estables y luego evaluar los requisitos de filtración locales para el almacenamiento y la apertura de la caja. Para obtener ideas sobre cómo se pueden utilizar los datos de los agentes de limpieza para identificar la contaminación, consulte¿Se pueden utilizar las hojas de datos de seguridad de los agentes de limpieza para la selección de filtros químicos?。

La filtración parcial debe cubrir la apertura y el almacenamiento de la caja.

Si después de la limpieza todavía se libera una cantidad considerable de aire, la disposición de la filtración local debería centrarse en la operación de desembalaje y el proceso de almacenamiento, en lugar de tratar el aire de la habitación en general. La circulación en el gabinete de almacenamiento, el suministro de aire local en la estación de apertura de cajas y la circulación interna en el EFEM son puntos de configuración más cercanos al lugar donde ocurre la desgasificación. Las características comunes de estos lugares son el espacio reducido y el volumen de aire limitado. Es necesario verificar la coincidencia entre la forma del elemento filtrante y el volumen de aire de acuerdo con la estructura real. Con respecto a la configuración de filtrado del enlace de almacenamiento, consulte¿Cómo elegir filtros químicos para armarios de almacenamiento de obleas?。

Equipos de soporte industrial Aili

Para problemas como la desgasificación de la caja de oblea, generalmente confirmamos con el cliente si la desgasificación ocurre principalmente en el estado cerrado de la caja o durante la operación de apertura de la caja, y luego determinamos si el filtro local debe colocarse en el gabinete de almacenamiento, la estación de apertura de la caja o la sección de circulación EFEM. Aili Industry puede proporcionar paquetes de selección para productos de filtración química tipo caja, placa plana y tipo V. Para paquetes MAU tipo caja, consulteFiltro químico tipo caja MAU , se puede ver la serie de productosGama de productos de filtros químicos . Las aplicaciones del lado del equipo pueden adoptar la forma de filtración química FFU, integrando una capa de adsorción química y filtración de partículas HEPA/ULPA. La estructura de primera partícula química es adecuada para microambientes como armarios de almacenamiento y EFEM. El elemento filtrante compacto se puede personalizar según el espacio del gabinete y el volumen de aire circulante. La parte de fabricación abarca motores, ventiladores, sistemas de control, chapa y montaje completo de máquinas. Las interfaces entre la sección del filtro y el ventilador de circulación del gabinete se pueden alinear en el mismo paquete. El efecto específico del gas, el entorno aplicable y el ciclo de reemplazo aún deben verificarse en función de los datos de configuración correspondientes y las condiciones de trabajo en el sitio. Los resultados reales están sujetos a los resultados de la detección de fugas y de gas en el sitio.

Preguntas y respuestas relacionadas

La habitación está equipada con un filtro químico. ¿Es necesario tratar por separado el gas liberado de la caja de oblea?
Depende de si la caja está cerrada para guardarla. Cuando el aire de la caja no circula con la habitación, el filtro de la habitación no puede soportar la acumulación en la caja y es posible que se requiera circulación en el gabinete de almacenamiento o filtración local en la estación de apertura de la caja.

El contenido residual del casete de oblea es elevado después de la limpieza. ¿Se debe limpiar primero o filtrar primero?
En la mayoría de los casos, verifique primero las condiciones del agente de limpieza, enjuague y secado. Si se controla la fuente de residuos, la presión de filtración final será mucho menor.

¿Puede Aili Industrial ayudar a comprobar la filtración durante el almacenamiento del casete de oblea?
El modo de filtración local se puede verificar según la estructura del gabinete de almacenamiento, el volumen de aire circulante y la posición de liberación de aire. La configuración específica debe confirmarse según la información del producto y las condiciones del sitio.

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