ウェハボックスの洗浄後の残留空気の放出を環境濾過によって制御できるかどうかには、ボックス内の発生源と室内の空気を区別する必要があります。 環境化学ろ過は、ろ過セクションを実際に通過する空気流のみを処理でき、容器内の残留物やすべての徐放性物質を自動的に除去することはできません。ボックスの問題はルームフィルターでは解決できません。

ガスの放出はボックスの内側または外側で発生しますか?

ウェーハカセットの洗浄後の残留ガス放出は、主に 2 つの場所で発生します。ボックス内のガスの発生は、洗浄後にボックス本体、ライニング、またはウェーハ表面に残った微量の化学物質に起因します。箱を閉めると徐々に蒸発し、箱内に濃度が蓄積する場合があります。ボックスの外へのガスの放出が発生し、残留揮発性物質が周囲の空気に入ります。ボックスが開けられるとき、ウェーハが取り出されるとき、またはボックスが開いたままになっているときに、環境ろ過は、後者のフィルターセクションを通過する空気の一部を処理し、密閉ボックス内の蓄積にはほとんど影響を与えません。環境濾過が役立つかどうかを判断するには、まず考えるべきことは、ガスの放出が主にどこで発生するのか、ボックスが最も長く留まるのはどの状態なのかということです。

環境フィルタリングの範囲には限界がある

室内循環や装置側化学濾過では、ファンによってフィルター部に送り込まれた空気のみを処理できます。 箱を密閉して保管すると、箱内の空気は外界と循環せず、フィルター部がどんなに大きくても箱内の揮発性物質を処理することができず、箱内の揮発性物質を処理することができません。ボックスを開ける操作中にボックス内の空気が機器の微小環境に放出され、その空気の一部がたまたまローカルフィルターセクションを通過する場合、濾過が効果的である可能性があります。したがって、ウェーハカセットのガス放出に対する環境フィルタの有効性は、フィルタ材料自体の能力ではなく、ガス放出が発生する場所を空気の経路がカバーしているかどうかによって決まります。局所濾過と室内濾過の分業についてはこちらをご覧ください。ケミカルフィルターは室内で単独で使用できますか?。

洗浄と乾燥のリンクを最初に確認する価値があります。

ウェハボックスからの残留ガスの発生源は洗浄および乾燥プロセスにあり、ここでも制御位置を優先する必要があります。 洗浄剤の選択、すすぎの回数、乾燥方法、乾燥後の放置時間はすべて残留物の量に影響します。洗浄後の残留物が多い場合、問題を取り除くためにバックエンドの環境ろ過に依存すると、多くの場合、労力が半分になります。より合理的な順序は、まず洗浄プロセスと乾燥条件が安定しているかどうかを確認し、次に保管と箱を開ける際の局所的な濾過要件を評価することです。洗浄剤データを使用して汚染を特定する方法については、以下を参照してください。ケミカルフィルターの選択に洗浄剤の安全データシートを使用できますか?。

部分濾過は箱の開口部と保管場所をカバーする必要があります

清掃後もかなりの量の空気が放出される場合は、室内の空気を一般的に処理するのではなく、開梱作業と保管プロセスに重点を置いて局所濾過を配置する必要があります。 保管キャビネット内の循環、ボックス開封ステーションでの局所空気供給、および EFEM 内の内部循環はすべて、ガス放出が発生する場所に近い構成ポイントです。これらの場所に共通する特徴は、スペースが狭く、空気量が限られていることです。フィルタエレメントの形状と風量のマッチングは実際の構造に合わせて確認する必要があります。ストレージリンクのフィルタリング設定については、以下を参照してください。ウェーハ保管キャビネット用のケミカルフィルターはどのように選択すればよいですか?。

Aili産業支援装置

ウェハボックスのガス抜けなどのトラブルについては、通常、アウトガスが主にボックスの閉状態で発生するのか、それともボックスの開封動作中に発生するのかをお客様に確認し、局所フィルタを保管庫に設置するのか、ボックス開封ステーションに設置するのか、EFEM循環部に設置するのかを決定します。アイリ工業では、ボックスタイプ、平板タイプ、Vタイプの化学ろ過製品の選択パッケージを提供できます。ボックスタイプのMAUパッケージについては、こちらをご覧ください。MAUボックス型ケミカルフィルター、製品シリーズをご覧いただけますケミカルフィルターの製品ラインナップ。装置側のアプリケーションでは、化学吸着層とHEPA/ULPA粒子濾過を統合した化学濾過FFUの形式を採用できます。化学第一粒子構造は、保管庫やEFEMなどの微小環境に適しています。コンパクトなフィルターエレメントはキャビネットのスペースや循環風量に合わせてカスタマイズが可能です。製造エンドには、モーター、ファン、制御システム、板金、完全な機械アセンブリが含まれます。フィルターセクションとキャビネット循環ファン間のインターフェースを同一パッケージ内に配置できます。特定のガスの影響、適用環境、および交換サイクルは、対応する構成データと現場の作業条件に基づいて検証する必要があります。実際の結果は、現場での漏れ検知およびガス検知の結果に左右されます。

関連する質問と回答

室内にはケミカルフィルターが設置されております。ウエハボックスから出るガスは別途処理する必要がありますか？
保管のために箱が閉じられているかどうかによって異なります。ボックス内の空気が部屋と循環していない場合、室内フィルターはボックス内の蓄積に対処できず、保管キャビネット内の循環またはボックス開封ステーションでの局所濾過が必要になる場合があります。

洗浄後のウェーハカセットの残留物は多くなっています。最初に洗浄する必要がありますか、それとも最初に濾過する必要がありますか?
ほとんどの場合、最初に洗浄剤、すすぎ、乾燥の条件を確認します。残留物の発生源が制御されれば、バックエンドの濾過圧力ははるかに小さくなります。

Aili Industrial はウェーハカセット保管中の濾過チェックを支援できますか?
保管庫の構造、循環風量、大気開放位置から局所ろ過モードを確認できます。具体的な構成については、製品情報や現場の状況に応じて確認する必要があります。

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