Aili 工業用化学フィルターは、MAU 外気処理、FFU 循環空気、および関連する清浄空気供給プロジェクトに合わせて選択できます。 具体的な適用性については、対象ガス、風量、環境、構造等により確認が必要です。製品シリーズ名だけで効果を判断することはできません。製品ラインの範囲はマッチングの開始点であり、モデル選択の結論ではありません。

MAU外気処理プロジェクトの支援拠点

MAU プロジェクトにおける化学濾過セクションの位置は、通常、外気汚染の原因と下流の保護対象物によって異なります。 外部の酸性ガスやアルカリ性ガス、または有機物の排出が主な問題である場合、フィルターセクションは通常、外気入口の後、表面冷却器の前の適切な場所に配置されます。室内戻り空気を混合した後もガス負荷が残る場合は、混合部または給気部で設定する必要があります。アイリ工業のボックス型ケミカルフィルターは、空調ボックスの機能部のサイズに合わせてご使用いただけます。平板構造とV字構造により、さまざまなスペースや抵抗条件に適しています。 MAU フィルター部追加後の残圧チェックについては、こちらをご参照ください。MAUに化学濾過セクションを追加した後、機械の外部の残圧を確認するにはどうすればよいですか? 。特定の場所では、高湿度のエリアや飛沫同伴エリアも避ける必要があります。

FFUループとデバイス側プロジェクトの形式のマッチング

FFU 関連プロジェクトでは、化学ろ過は通常 2 つの方法で行われます。1 つは FFU 循環セクションに化学吸着層が組み込まれ、2 つ目は装置端の局所空気供給セクションに化学フィルターが装備されています。 前者は室内循環空気の AMC 制御に焦点を当てており、後者は EFEM、リソグラフィ装置の吸気口、またはウェーハ保管キャビネットなどの微小環境のガス保護に焦点を当てています。 Aili Industrialは、化学吸着層とHEPA/ULPA粒子濾過を統合した化学濾過FFU形式を提供できます。最初に化学薬品、次に粒子の構造は、AMC 管理要件がある領域に適しています。装置のコンパクトな構造は、スペースや風量に応じて標準以外にも適応できます。装置側空気入口のデータ要件については、こちらをご参照ください。リソグラフィー装置の空気入口の化学ろ過にはどのようなフィールド データが必要ですか?。

交換および改修プロジェクトへの適応性

既存システムの輸入フィルターまたは他のブランドのフィルターエレメントを交換することは、Aili の工業用化学フィルターのマッチングにおける一般的な要件です。 このタイプのプロジェクトでは、必ずしもキャビネットやファンを変更する必要はありませんが、元のインターフェイスのサイズ、シール位置、メディア要件に従って確認する必要があります。ボックス型、フラット型、V型の製品は構造形状が異なります。交換時に元のフレームの状態や風の流れの方向を確認することができます。元のシステムにフレームの変形や密閉の問題があった場合、それらも評価されます。ブランド入れ替えを伴う検証方法については、こちらをご参照ください。ケミカルフィルターの銘柄を変更する場合、代替機種が使用可能かどうかはどのように確認すればよいですか?。

マルチガスおよび産業用途のシナリオ

さまざまな業界のガス対象は大きく異なります。サポートする場合、通常、すべてのシナリオをカバーする一連の構成ではなく、成分リストに従ってグループ化されます。 半導体 AMC プロジェクトは、酸、アルカリ、有機物、シロキサンに焦点を当てる場合があります。クリーンルームの新鮮な空気は、外部の酸性ガスと有機物の排出物によって支配されている可能性があります。装置端の微小環境は、特定のプロセスに敏感なオブジェクトと組み合わせる必要があります。アイリ工業では、ボックスタイプ、フラットタイプ、Vタイプの化学ろ過製品選択パッケージを提供できます。製品シリーズをご覧いただけますケミカルフィルター製品シリーズ、ボックスタイプMAUマッチングはこちらをご参照ください。MAUボックスケミカルフィルター。マルチガスの組み合わせのシーケンスと抵抗はサポート段階でチェックでき、プロジェクトの条件に応じて標準以外のシーケンスを調整できます。

サポート能力の境界

製品ラインの対応範囲と製造能力はインターフェースの橋渡しにはなりますが、対象ガスや現場での操作のデモンストレーションに代わるものではありません。 Aili の工業製造部門は、モーターとファン、制御システム、板金、エアフィルター、完全な機械組み立ての独立した研究開発と生産をカバーしています。これは、フィルターセクションの抵抗、ファンの動作点、およびフレーム構造を同じパッケージでチェックできることを意味し、メーカー間のドッキングにおける情報のブレークポイントを削減します。ただし、特定のガスの影響、適用環境、交換サイクルについては、対応する構成データと現場の作業条件に基づいて検証する必要があります。実際の結果は、現場での漏れ検知およびガス検知の結果に左右されます。

関連する質問と回答

MAU プロジェクトと FFU プロジェクトは同じケミカルフィルターエレメントを共有できますか?
不確かな。両者は風量、設置スペース、風の流れ方向が異なりますので、フィルタのエレメントサイズ、表面速度、構造形状を別途確認する必要があります。メディアの種類は似ている場合もありますが、通常は製品の形式が異なります。

Aili Industrial は、適合するファンなしでフィルターエレメントのみを提供できますか?
できる。フィルターエレメント、ボックス、および完全なマシンパッケージは、プロジェクトの範囲に応じて選択できます。既存のシステムを交換する場合、通常はインターフェイスとメディアの要件に従ってフィルター要素を確認するだけで済みます。

プロジェクトがボックスタイプとVタイプのどちらに適しているかを判断するにはどうすればよいですか?
空気量、利用可能なスペース、抵抗マージン、メンテナンスアクセスに関連します。 2 つの構造の抵抗、容量、交換方法は、同じガス対象と風量の下で比較する必要があります。

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